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초고주파 프로브

  • 기술번호 : KST2015179816
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초고주파 프로브를 제공한다. 이 초고주파 프로브는 플라즈마 내부에 삽입되어 주파수를 스캔하는 초고주파를 방사하는 막대 형상의 방사 안테나; 및 플라즈마 내부에 삽입되고 방사 안테나의 주위를 감싸는 루프 형상으로 방사 안테나가 방사하는 전자기파를 수신하는 수신 안테나를 포함한다.
Int. CL H05H 1/46 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) H05H 1/00 (2006.01)
CPC H05H 1/0081(2013.01) H05H 1/0081(2013.01) H05H 1/0081(2013.01) H05H 1/0081(2013.01)
출원번호/일자 1020110071352 (2011.07.19)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1225010-0000 (2013.01.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130122) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.07.19)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유신재 대한민국 대전광역시 유성구
2 김정형 대한민국 대전광역시 동구
3 김대웅 대한민국 대전광역시 유성구
4 성대진 대한민국 충청남도 공주시
5 신용현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0554651-68
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0363768-57
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0589344-00
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0589342-19
5 등록결정서
Decision to grant
2012.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0788892-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
7 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2014-0437742-62
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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플라즈마 내부에 삽입되어 주파수를 스캔하는 초고주파를 방사하는 막대 형상의 방사 안테나; 상기 플라즈마 내부에 삽입되고 상기 방사 안테나의 주위를 감싸는 루프 형상으로 상기 방사 안테나가 방사하는 전자기파를 수신하는 수신 안테나;상기 방사 안테나에 연결된 주파수를 변경할 수 있는 초고주파 발생기;상기 방사 안테나 및 상기 초고주파 발생기 사이에 배치되어 상기 방사 안테나를 고정하고 초고주파 전력을 공급하는 제1 연결부;상기 수신 안테나의 수신된 초고주파 신호를 검출하는 투과파 검출부; 및 상기 수신 안테나와 상기 초고주파 검출부 사이에 배치되어 상기 수신 안테나를 고정하고 초고주파 신호를 가이드하는 제2 연결부;를 포함하고,상기 초고주파 발생기 및 초고주파 검출부는 일체형으로 네트워크 분석기인 것을 특징으로 초고주파 프로브
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플라즈마 내부에 삽입되어 주파수를 스캔하는 초고주파를 방사하는 막대 형상의 방사 안테나; 상기 플라즈마 내부에 삽입되고 상기 방사 안테나의 주위를 감싸는 루프 형상으로 상기 방사 안테나가 방사하는 전자기파를 수신하는 수신 안테나;상기 방사 안테나에 연결된 주파수를 변경할 수 있는 초고주파 발생기;상기 방사 안테나 및 상기 초고주파 발생기 사이에 배치되어 상기 방사 안테나를 고정하고 초고주파 전력을 공급하는 제1 연결부;상기 수신 안테나의 수신된 초고주파 신호를 검출하는 투과파 검출부; 및 상기 수신 안테나와 상기 초고주파 검출부 사이에 배치되어 상기 수신 안테나를 고정하고 초고주파 신호를 가이드하는 제2 연결부;를 포함하고,상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부는:내부 도선;상기 내부 도선을 감싸는 절연체; 및 상기 절연체를 감싸는 외부 도선을 포함하고상기 내부 도선은 상기 방사 안테나 또는 수신 안테나에 연결되고,상기 외부 도선은 접지되는 것을 특징으로 하는 초고주파 프로브
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삭제
4 4
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 450mm 장비 플라즈마 공정 해석용 고신뢰성 시뮬레이터 개발
2 교육과학기술부 한국표준과학연구원 신기술융합형성장동력사업 우주 환경 모사 신소재 / 공정 기술 개발