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플라즈마 내부에 삽입되어 주파수를 스캔하는 초고주파를 방사하는 방사 안테나;상기 플라즈마 내부에 삽입되어 상기 방사 안테나에서 방사된 전자기파를 수신하는 수신 안테나; 및상기 방사 안테나 및 상기 수신 안테나의 주위에 배치되어 상기 전자기파와 공진하는 도전성 물질로 형성된 공진 구조체를 포함하고,상기 공진 구조체는 공진 주파수를 제공하는 것을 특징으로 하는 초고주파 프로브
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제1 항에 있어서,상기 공진 구조체는 그물 망 또는 평판 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 프로브
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제1 항에 있어서,상기 공진 구조체는 상기 방사 안테나 및 상기 수신 안테나를 감싸는 실린더 형태인 것을 특징으로 하는 초고주파 프로브
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제1 항에 있어서,상기 방사 안테나와 상기 수신 안테나와 나란히 연장되는 막대 형태인 것을 특징으로 하는 초고주파 프로브
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제1 항에 있어서,상기 방사 안테나에 연결된 주파수를 변경할 수 있는 초고주파 발생기;상기 방사 안테나 및 상기 초고주파 발생기 사이에 배치되어 상기 방사 안테나를 고정하고 초고주파 전력을 공급하는 제1 연결부;상기 초고주파 발생기에 연결되어 상기 방사 안테나 방향의 출력 임피던스를 측정하는 임피던스 측정부;상기 수신 안테나의 수신된 초고주파 신호를 검출하는 투과파 검출부; 및 상기 수신 안테나와 상기 초고주파 검출부 사이에 배치되어 상기 수신 안테나를 고정하고 초고주파 신호를 가이드하는 제2 연결부를 중에서 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 프로브
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제6 항에 있어서,상기 초고주파 발생기, 임피던스 측정부, 및 초고주파 검출부는 일체형으로 네트워크 분석기인 것을 특징으로 초고주파 프로브
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제6 항에 있어서,상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부는:내부 도선;상기 내부 도선을 감싸는 절연체; 및 상기 절연체를 감싸는 외부 도선을 포함하고상기 내부 도선은 상기 방사 안테나 또는 수신 안테나에 연결되고,상기 외부 도선은 접지되는 것을 특징으로 하는 초고주파 프로브
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플라즈마 내부에 삽입되어 주파수 스캐닝하는 초고주파를 방사하는 방사 안테나; 상기 플라즈마 내부에 삽입되어 상기 방사 안테나에서 방사된 전자기파를 수신하는 수신 안테나; 및 상기 방사 안테나 및 상기 수신 안테나의 주위에 배치되어 상기 전자기파와 공진하는 도전성 물질로 형성된 공진 구조체를 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 프로브의 동작 방법에 있어서,진공 용기에 플라즈마가 없는 진공 상태에서 상기 공진 구조체에 기인한 제1 공진 주파수를 측정하는 단계;상기 진공 용기에 플라즈마를 생성한 상태에 상기 공진 구조체에 기인한 제2 공진 주파수를 측정하는 단계; 및상기 제1 공진 주파수 및 제2 공진 주파수의 차이를 이용하여 플라즈마 밀도를 산출하는 단계를 포함하고,제1 공진 주파수 및 제2 공진 주파수는 상기 공진 구조체에 형성되고 상기 방사 안테나 방향을 바라본 출력 임피던스의 허수부가 영(zero)을 지나는 지점인 것을 특징으로 하는 초고주파 프로브
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제9 항에 있어서,상기 플라즈마를 생성한 상태에서 컷오프에 의한 플라즈마 주파수를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 프로브
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