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배플을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치

  • 기술번호 : KST2015179829
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 입사창 및 출사창의 표면오염을 방지할 수 있는 배플 및 음파발생기를 포함하여 분석 신뢰성을 보다 향상할 수 있는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치에 관한 것이다.
Int. CL G01N 21/15 (2006.01) G01N 21/47 (2006.01) G01N 15/14 (2006.01)
CPC G01N 21/53(2013.01) G01N 21/53(2013.01) G01N 21/53(2013.01) G01N 21/53(2013.01) G01N 21/53(2013.01)
출원번호/일자 1020110122787 (2011.11.23)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1286100-0000 (2013.07.09)
공개번호/일자 10-2013-0057055 (2013.05.31) 문서열기
공고번호/일자 (20130723) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.23)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강상우 대한민국 대전 유성구
2 윤주영 대한민국 서울특별시 양천구
3 조승현 대한민국 대전광역시 유성구
4 임종연 대한민국 대전시 유성구
5 전기문 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0927743-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.11.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2012-0091233-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0780170-80
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0156621-43
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.02.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0156615-79
7 등록결정서
Decision to grant
2013.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0402167-11
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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내부가 진공상태로 된 챔버(10) 내부에서 발생된 입자 및 부산물이 배기되는 배기관(11); 상기 배기관(11)과 체결되어 배기관(11)의 일정 영역을 형성하되, 둘레의 일정 영역이 각각 중공된 제1중공부 및 제2중공부가 형성되며, 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 전측 내부 둘레가 오목하게 형성되는 안착홈(21)이 형성된 몸체(20); 상기 몸체(20)의 제1중공부를 통해 내부로 빔이 입사되는 입사창(30); 상기 입사창(30)으로 입사된 빔이 입자 및 부산물에 의해 굴절 또는 산란되고, 굴절 또는 산란된 빔이 상기 몸체(20)의 제2중공부를 통해 외부로 출사되는 출사창(40); 상기 입사창(30)에 빔을 입사하는 광학발생부(50); 상기 광학발생부(50)에 의해 배기관(11) 내부로 입사되어 출사된 빔을 검출하는 검출기(60); 및 상기 안착홈(21)에 대응되는 단차부(81)을 포함하며, 상기 입자 및 부산물 진행방향을 기준으로, 상기 몸체(20)의 전측에서 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)측으로 삽입되고, 상기 몸체(20) 내주연의 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)이 형성된 일정영역에 상기 몸체(20) 길이 방향으로 일정 길이(L)를 갖도록 형성되며, 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 점차 두께(D)가 증가되거나 상기 입자 및 부산물 진행방향으로 단부에 상기 몸체(20) 내측으로 돌출되는 돌출부(82)가 형성되어 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)의 오염을 방지하는 배플(80); 을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치는,상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 음파를 발생하는 음파발생기(71)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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제6항에 있어서, 상기 음파발생기(71)로부터 발생된 음파가 상기 입사창(30) 및 출사창(40) 내부 전체 또는 내부 표면 부위로 전달되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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제7항에 있어서, 상기 음파발생기(71)는 상기 입사창(30) 또는 출사창(40) 전체에 대응되는 크기로 형성되되, 중앙 영역에 상기 광학발생부(50)로부터 조사되는 빔 또는 배기관(11) 내부에서 굴절 또는 산란된 빔이 통과가능한 통로(71a)가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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제7항에 있어서, 상기 음파발생기(71)는 하면이 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접하며 상기 음파발생기(71)를 경사지게 지지하는 형태로 형성되는 웨지부(72)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.