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제1기판상에 다수의 탄소나노튜브를 성장시켜 탄소나노튜브층을 형성하는 단계;상기 탄소나노튜브층의 일측면에 접착 부재를 부착시킨 후, 상기 접착 부재를 잡아당겨 탄소나노튜브시트를 형성하는 단계;상기 탄소나노튜브시트를 제2기판에 고정하는 단계; 및상기 제2기판에 고정된 탄소나노튜브시트를 에칭하는 단계를 포함하되,상기 탄소나노튜브시트를 에칭하는 단계는,상기 탄소나노튜브시트 상면에 폴리머를 코팅한 후, 상기 탄소나노튜브시트를 구성하는 탄소나노튜브의 일부가 찢어져 그라핀 리본 형상으로 변형되는 깊이까지 상기 탄소나노튜브시트를 플라즈마 에칭하는 탄소나노튜브시트 구조물 제조방법
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제1항에 있어서, 탄소나노튜브층을 형성하는 단계는,상기 다수의 탄소나노튜브를 상기 제1기판에 수직하게 성장시키는 탄소나노튜브시트 구조물 제조방법
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제1항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 단일, 이중 및 다중벽 탄소나노튜브 중 어느 하나 이상인 탄소나노튜브시트 구조물 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브시트를 형성하는 단계에서,상기 접착 부재를 잡아당기는 방향은 수평면을 기준으로 1~60°인 탄소나노튜브시트 구조물 제조방법
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제4항에 있어서,상기 접착 부재를 잡아당기는 속도는 0
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삭제
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삭제
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 의해 제조된 탄소나노튜브시트 구조물
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다수 개의 탄소나노튜브가 방향성을 갖고 배열되고, 적어도 표면 일부분에는 상기 탄소나노튜브가 찢어져 형성된 그라핀 리본 형상을 갖는 탄소나노튜브시트를 포함하는 탄소나노튜브시트 구조물
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제9항에 있어서,상기 탄소나노튜브시트는 기판상에 형성된 탄소나노튜브시트 구조물
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제9항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 단일, 이중 및 다중벽 탄소나노튜브 중 어느 하나 이상인 탄소나노튜브시트 구조물
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