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광을 조사하는 발광부;상기 발광부의 광을 반사시키는 반사 부재;상기 발광부와 상기 반사 부재의 사이에 광의 진행 방향을 가로지르는 방향으로 이동하도록 배치되며, 이동 방향을 따라 일정한 피치로 배치되는 회절 격자를 구비하는 이동 부재; 및상기 이동 부재에 대하여 상기 발광부와 같은 방향에 배치되며 상기 반사 부재에 의해 반사되어 상기 회절 격자에 의해 회절된 광의 적어도 일부가 간섭하는 광을 수광하는 제1 수광부;를 구비하는 광학식 엔코더
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제1 항에 있어서,상기 이동 부재는 중앙에 마련된 회전축을 중심으로 회전하는 회전 디스크인 광학식 엔코더
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제1 항에 있어서,상기 발광부와 상기 이동 부재 사이에 개재되며, 상기 발광부에서 조사된 광을 평행광으로 만드는 렌즈를 더 구비하는 광학식 엔코더
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제1 항에 있어서,상기 제1 수광부에서 얻어진 간섭광으로부터 상대 변위를 산출하는 제1 신호 처리부를 더 구비하는 광학식 엔코더
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제1 항에 있어서, 상기 제1 수광부는 상기 회절 격자를 투과하면서 회절된 광의 적어도 일부가 만나서 간섭을 일으키는 지점에 대응되도록 배치되는 광학식 엔코더
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제1 항에 있어서,상기 제1 수광부는 복수 개인 광학식 엔코더
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제1 항에 있어서,상기 반사 부재는 상기 이동 부재의 일면에 부착되도록 배치된 광학식 엔코더
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제1 항에 있어서,상기 반사 부재와 상기 이동 부재는 수평인 광학식 엔코더
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제1 항에 있어서,상기 반사 부재와 상기 이동 부재는 경사를 이루는 광학식 엔코더
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제1 항에 있어서,상기 회절 격자는 각 구간별로 식별 가능한 코드를 이루도록 서로 다른 두 개의 값 중에 어느 하나의 값에 해당하는 폭을 갖는 광 투과부를 구비하는 광학식 엔코더
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11
제10 항에 있어서,상기 광 투과부의 폭은 상기 회절 격자의 피치의 1/3 또는 2/3인 광학식 엔코더
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12
제10 항 또는 제11 항에 있어서, 상기 발광부로부터 조사된 광이 상기 회절 격자의 표면에서 반사된 광을 수광하는 제2 수광부를 더 구비하는 광학식 엔코더
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13
제12 항에 있어서,상기 제2 수광부에서 얻어진 반사광으로부터 절대 변위를 산출하는 제2신호 처리부를 더 구비하는 광학식 엔코더
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이동 방향을 따라 일정한 피치로 배치되는 회절 격자를 구비하는 이동 부재에 광을 조사하는 단계;상기 회절 격자에 입사된 광이 회절되어 반사 부재에 의해 반사되어, 상기 회절 격자를 통과하며 회절된 광의 적어도 일부가 만나서 형성하는 간섭광을 수광하는 단계; 및상기 간섭광으로부터 상기 이동 부재의 상대 변위를 산출하는 단계;를 포함하는 변위 측정 방법
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제14 항에 있어서,상기 이동 부재는 중앙에 마련된 회전축을 중심으로 회전하는 회전 디스크인 변위 측정 방법
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제14 항에 있어서,상기 회절 격자는 각 구간별로 식별 가능한 코드를 이루도록 서로 다른 두 개의 값 중에 어느 하나의 값에 해당하는 폭을 갖는 광 투과부를 구비하는 변위 측정 방법
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제14 항에 있어서,상기 광 투과부의 폭은 상기 회절 격자의 피치의 1/3 또는 2/3인 변위 측정 방법
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제16 항 또는 제17 항에 있어서,상기 회절 격자의 표면에서 반사된 광을 수광하는 단계; 및상기 수광된 광의 신호로부터 절대 변위를 산출하는 단계;를 더 포함하는 변위 측정 방법
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제18 항에 있어서,상기 상대 변위와 상기 절대 변위를 조합하는 단계를 더 포함하는 변위 측정 방법
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제 14항에 있어서,상기 반사 부재의 상기 이동 부재에 대한 거리 또는 각도를 조절하여 상기 회절된 광이 만나서 간섭광을 형성하는 위치를 조절하는 변위 측정 방법
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