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내부가 진공상태로 된 챔버(10) 내부에서 발생된 입자 및 부산물을 배기하되, 마주보는 위치에 일정 영역이 중공된 제1중공부(21a) 및 제2중공부(21b)가 형성된 배기관(20); 상기 배기관(20)의 제1중공부(21a)를 통해 내부로 빔이 입사되는 입사영역과, 상기 입사영역의 둘레가 상기 배기관(20)에 의해 지지되는 제1지지영역을 포함하는 입사창(30); 상기 입사창(30)으로 입사된 빔이 입자 및 부산물에 의해 굴절 또는 산란되고, 굴절 또는 산란된 빔이 상기 배기관(20)의 제2중공부(21b)를 통해 외부로 출사되는 출사영역과, 상기 출사영역의 둘레가 상기 배기관(20)에 의해 지지되는 제2지지영역을 포함하는 출사창(40); 상기 입사창(30)에 빔을 입사하는 광학발생부(50); 상기 광학발생부(50)에 의해 배기관(20) 내부로 입사되어 출사된 빔을 검출하는 검출기(60); 및상기 입사창(30) 및 출사창(40)에 음파를 발생하는 음파발생기(71)와, 상기 입사창(30)의 제1지지영역과 배기관(20) 사이 및 상기 출사창(40)의 제2지지영역과 배기관(20) 사이에 압착되어 실링하되 상기 음파발생기(71)에 의한 입사창(30) 및 출사창(40)의 움직임이 가능하도록 구비되는 실링부재(72)를 포함하는 표면오염방지부; 로 이루어진 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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제1항에 있어서, 상기 배기관(20)은 상기 입사창(30)의 제1지지영역이 안착되도록 상기 제1중공부(21a)의 둘레에 형성되는 제1안착부(22a), 상기 출사창(40)의 제2지지영역이 안착되도록 상기 제2중공부(21b)의 둘레에 형성되는 제2안착부(22b)를 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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제2항에 있어서, 상기 배기관(20)은 상기 제1안착부(22a)에 실링부재(72)가 구비되도록 오목한 제1홈부(23a) 및 상기 제2안착부(22b)에 실링부재(72)가 구비되도록 오목한 제2홈부(23b)가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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제3항에 있어서, 상기 실링부재(72)는 상기 배기관(20)의 제1홈부(23a) 또는 제2홈부(23b)에 안착되는 지지부(72a); 상기 지지부(72a)의 일정영역이 수직하게 연장형성되어 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접촉되는 높이형성부(72b);를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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제4항에 있어서, 상기 실링부재(72)는 상기 높이형성부(72b) 내부가 빈 공간부(72c)가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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제1항 내지 제5항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서, 상기 음파발생기(71)로부터 발생된 음파가 상기 입사창(30) 및 출사창(40) 내부 전체 또는 내부 표면 부위로 전달되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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제6항에 있어서, 상기 음파발생기(71)는 상기 입사창(30) 또는 출사창(40) 전체에 대응되는 크기로 형성되되, 중앙 영역에 상기 광학발생부(50)로부터 조사되는 빔 또는 배기관(10) 내부에서 굴절 또는 산란된 빔이 통과가능한 통로(71a)가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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제6항에 있어서, 상기 표면오염방지부는 하면이 상기 입사창(30) 또는 출사창(40)과 접하며 상기 음파발생기(71)를 경사지게 지지하는 형태로 형성되는 웨지부(74)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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제6항에 있어서, 상기 음파발생기(71)는 가진기, 압전 초음파 소자, 자기 변형 트랜스듀서, 음성 코일 구동기(voice cole actuator)로부터 선택되는 어느 하나로 된 것을 특징으로 하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치
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