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1
박막, 상기 박막 상에 형성되는 발열부, 상기 발열부를 중심으로 상, 하류 측에 열전쌍들을 직렬로 연결한 제1 및 제2 열전퇴로 구성된 열량형 질량유량계 센서에 있어서,상기 제1 및 제2 열전퇴는 상기 발열부와 각각의 열전쌍과의 간격을 불균일하게 형성하여 유량 범위에 구속되지 않고 측정 감도를 향상시키는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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2
청구항 1에 있어서, 상기 제1 및 제2 열전퇴는 유량 범위를 고려하여 상기 발열부와의 간격을 다르게 배치한 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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3
청구항 1에 있어서, 상기 제1 및 제2 열전퇴는 열전쌍들의 크기를 다르게 형성한 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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4
청구항 1에 있어서, 상기 제1 및 제2 열전퇴는 중심에서 간격을 좁게 배치하여 대유량에서의 측정 감도를 높이고, 가장자리로 갈수록 간격을 넓게 배치해서 저유량에서의 측정 감도를 높이는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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| 5 |
5
청구항 1에 있어서, 상기 제1 및 제2 열전퇴는 상기 발열부와의 하나의 간격에 대해서 적어도 하나 이상의 열전쌍이 배치되는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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| 6 |
6
청구항 1에 있어서, 상기 제1 및 제2 열전퇴는 발열부와의 간격을 사인파와 같이 반복되는 형태로 열전쌍들을 배치한 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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| 7 |
7
박막, 상기 박막 상에 형성되는 발열부, 상기 발열부를 중심으로 상, 하류측에 열전쌍들을 직렬로 연결한 제1 및 제2 열전퇴로 구성된 열량형 질량유량계 센서에 있어서,상기 발열부는 상기 제1 및 제2 열전퇴의 각각의 열전쌍과의 간격이 불균일하게 형성된 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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8
청구항 7에 있어서, 상기 발열부는 중심에서 열전쌍과의 간격을 좁게 형성하고, 가장자리로 갈수록 간격을 넓게 형성한 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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| 9 |
9
청구항 7에 있어서, 상기 발열부는 다단의 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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10
박막, 상기 박막 상에 형성되는 발열부, 상기 발열부를 중심으로 상, 하류측에 열전쌍을 직렬로 연결한 제1 및 제2 열전퇴로 구성된 열량형 질량유량계 센서에 있어서,상기 발열부를 중심으로 상류측에 형성된 상기 제1 열전퇴는 상기 발열부와 각각의 열전쌍과의 간격을 불균일하게 형성하여 유량 범위에 구속되지 않고 측정 감도를 향상시키는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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| 11 |
11
청구항 10에 있어서, 상기 제1 및 제2 열전퇴는 상기 발열부를 중심으로 비대칭적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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| 12 |
12
청구항 10에 있어서, 상기 제1 열전퇴는 중심에서 간격을 좁게 배치하여 대유량에서의 측정 감도를 높이고, 가장자리로 갈수록 간격을 넓게 배치해서 저유량에서의 측정 감도를 높이는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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13
청구항 10에 있어서, 상기 제2 열전퇴는 열전쌍들의 크기를 동일하게 형성하고, 상기 제1 열전퇴는 열전쌍들의 크기를 다르게 형성한 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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14
청구항 10에 있어서, 상기 제1 열전퇴는 발열부와의 간격이 사인파 형상이 되도록 열전쌍들을 배치한 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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15
박막, 상기 박막 상에 형성되는 발열부, 상기 발열부를 중심으로 상, 하류측에 열전쌍을 직렬로 연결한 제1 및 제2 열전퇴로 구성된 열량형 질량유량계 센서에 있어서,상기 발열부를 중심으로 하류측에 형성된 상기 제2 열전퇴는 상기 발열부와 각각의 열전쌍과의 간격을 불균일하게 형성하여 유량 범위에 구속되지 않고 측정 감도를 향상시키는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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16
청구항 15에 있어서, 상기 제1 및 제2 열전퇴는 상기 발열부를 중심으로 비대칭적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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17
청구항 15에 있어서, 상기 제2 열전퇴는 중심에서 간격을 좁게 배치하여 대유량에서의 측정 감도를 높이고, 가장자리로 갈수록 간격을 넓게 배치해서 저유량에서의 측정 감도를 높이는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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18
청구항 15에 있어서, 상기 제1 열전퇴는 열전쌍들의 크기가 동일하게 형성하고, 상기 제2 열전퇴는 열전쌍들의 크기를 다르게 형성한 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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19
청구항 15에 있어서, 상기 제2 열전퇴는 발열부와의 간격이 사인파 형상이 되도록 열전쌍들을 배치한 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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20
박막, 상기 박막 상에 형성되는 발열부, 상기 발열부를 중심으로 상, 하류측에 열전쌍을 직렬로 연결한 제1 및 제2 열전퇴로 구성된 열량형 질량유량계 센서에 있어서,상기 발열부는 상기 제1 열전퇴의 각각의 열전쌍과의 간격이 불균일하게 형성된 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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21
청구항 20에 있어서, 상기 발열부는 중심에서 제1 열전퇴의 열전쌍과의 간격을 좁게 형성하고, 가장자리로 갈수록 간격을 넓게 형성한 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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22
청구항 20에 있어서, 상기 발열부는 다단의 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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청구항 20에 있어서, 상기 제1 및 제2 열전퇴는 상기 발열부를 중심으로 대칭적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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박막, 상기 박막 상에 형성되는 발열부, 상기 발열부를 중심으로 상, 하류측에 열전쌍을 직렬로 연결한 제1 및 제2 열전퇴로 구성된 열량형 질량유량계 센서에 있어서,상기 발열부는 상기 제2 열전퇴의 각각의 열전쌍과의 간격이 불균일하게 형성된 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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청구항 24에 있어서, 상기 발열부는 중심에서 제2 열전퇴의 열전쌍과의 간격을 좁게 형성하고, 가장자리로 갈수록 간격을 넓게 형성한 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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청구항 24에 있어서, 상기 발열부는 다단의 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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청구항 24에 있어서, 상기 제1 및 제2 열전퇴는 상기 발열부를 중심으로 대칭적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 열량형 질량유량계 센서
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