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전구체의 증기압 측정장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015179889
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 전구체 시료가 담겨있고 양측에 히터를 구비하고 있는 시료용기(300); 상기 시료용기(300)내에 연결되어 압력을 측정하는 압력 측정부(400); 유로에 의해 시료용기(300)와 연결되는 화학증착챔버(100); 상기 화학증착챔버(100)에 연결된 압력 조절부(200); 및상기 유로에 설치되는 제1밸브(500) 및 제2밸브(600)를 포함하는 전구체 증기압 측정장치에 관한 것이다. 또한 전구체 증기압 측정 장치를 이용하여 전구체 증기압을 측정하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01N 7/14(2013.01) G01N 7/14(2013.01)
출원번호/일자 1020120047540 (2012.05.04)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1323885-0000 (2013.10.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131030) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 서울 양천구
2 김진태 대한민국 대전 유성구
3 강상우 대한민국 대전 유성구
4 신용현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-0358499-16
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0382865-21
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.04.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0023397-88
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0249013-09
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0521814-10
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.06.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0521823-21
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0667796-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
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전구체 시료가 담겨있고, 온도센서 및 양측에 히터를 구비하고 있는 시료용기(300), 상기 시료용기(300)내에 연결되어 압력을 측정하는 압력 측정부(400), 유로에 의해 시료용기(300)와 연결되는 화학증착챔버(100), 상기 화학증착챔버(100)에 연결된 압력 조절부(200) 및 상기 유로에 설치되는 제1밸브(500)와 제2밸브(600)를 포함하는 전구체 증기압 측정장치에 있어서,상기 전구체 시료를 용기에 담은 후 압력 측정부로 압력을 고정시킨 후 상기히터를 가동하는 단계; 및상기 온도센서로 끓는점을 측정하여 증기압을 확인하는 단계; 를 포함하며,상기 제1밸브 및 제2밸브는 샘플 교체시 개폐하는 것을 특징으로 하는 전구체의 증기압 측정 방법
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제6항에 있어서,상기 압력은 0
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제6항에 있어서,상기 압력은 변화시키면서 연속적으로 끓는점을 측정하는 것을 특징으로 하는 전구체의 증기압 측정 방법
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제6항에 있어서,상기 시료용기(300)는 끓는점을 관찰할 수 있도록 투명 용기인 것을 특징으로 하는 전구체의 증기압 측정 방법
11 11
제6항에 있어서,상기 화학증착챔버(100)는 진공버퍼인 것을 특징으로 하는 전구체의 증기압 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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1 지경부 대구경북과학기술원 소재원천기술개발사업 염료감응태양전지 유기염료의 광흡수영역확장기술