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수직 방향으로 연장되는 외부 용기;상기 외부 용기의 내부에 삽입되어 액체 냉매를 수납하고 상판을 포함하는 금속성 재질의 내부 용기;상기 외부 용기의 하부면과 상기 내부 용기의 하부면 사이에 배치된 SQUID 센서 모듈;일단은 상기 내부 용기의 하부면에 연결되고, 타단은 상기 SQUID 센서 모듈에 직접 또는 간접적으로 연결되어 상기 SQUID 센서 모듈을 냉각하는 열전달 기둥;상기 내부 용기에서 발생하는 열잡음 및 자기 잡음이 상기 SQUID 센서 모듈에 전달되는 것을 억제하도록 상기 SQUID 센서 모듈의 상부면을 감싸는 초전도체로 형성된 자기 차폐부; 및상기 열전달 기둥의 타단에 열적으로 접촉하고 상기 자기 차폐부의 상부면에 적층되는 열전도판을 포함하고,상기 내부 용기는 상기 외부 용기와 이격된 공간을 가지고, 상기 내부 용기와 상기 외부 용기 사이의 공간은 진공 상태인 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제1 항에 있어서,상기 SQUID 센서 모듈의 하부면을 감싸는 보조 열전달층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제2 항에 있어서,상기 보조 열전달층은 구리 메쉬(mesh)로 형성되고,상기 구리 메쉬의 씨줄과 날줄은 서로 전기적으로 절연된 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제2 항에 있어서,상기 보조 열전달층은:에폭시 층; 및상기 에폭시 층에 적층되고 일정한 간격을 가지고 나란히 연장되는 구리 도선들을 포함하는 것을 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제2 항에 있어서,상기 보조 열전달층을 상기 내부 용기의 하부면에 고정하는 도전체로 형성된 고정 링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제1 항에 있어서,상기 열전달 기둥에 열전달을 위하여 상기 내부 용기의 하부면에 고정된 구리 재질의 고정 블록;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제1 항에 있어서,상기 외부 용기는:상부 외부 원통;상기 상부 외부 원통의 하부면에 연결된 와셔 형상의 외부 중간판;상기 외부 중간판의 내 측면에 접촉하여 연장되는 하부 외부 원통; 및상기 하부 외부 원통의 하부면에 배치된 외부 바닥판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제1 항에 있어서,상기 내부 용기는:상기 상판의 중심에 형성된 관통홀의 내측면에 연결되고 수직으로 연장되는 목부;상기 목부의 하부면에서 연결되고, 중심에 관통홀을 가지는 와셔 형상의 내부 중간판;상기 내부 중간판의 외측면에서 수직으로 연장되는 원통 형상의 내부 몸체부; 및상기 내부 몸체부의 하부면에 배치되는 내부 바닥판을 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제1 항에 있어서,상기 SQUID 센서 모듈은:유전체 재질의 센서 결합판; 상기 센서 결합판의 하부면에 장착된 센서 고정 블록들;및상기 센서 고정 블록에 결합하는 SQUID 센서들을 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제1 항에 있어서,상기 자기 차폐부는 납(Pb) 또는 니오듐(Nb)인 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제1 항에 있어서,상기 열전도판 및 상기 열전달 기둥은 무산소 구리 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제1 항에 있어서,상기 자기 차폐부는 상기 SQUID 센서 모듈을 감싸도록 수직 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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제1 항에 있어서,상기 내부 용기의 외측면에 결합되고 제1 직경을 가지고 외주면에 형성된 제1 열 엥커(Thermal achor)를 포함하는 도전성 재질의 제1 지지판;상기 제1 지지판으로부터 수직으로 이격되어 상기 내부 용기의 외측면에 결합되고 상기 제1 직경보다 작은 제2 직경을 가지고 외주면에 형성된 제2 열 엥커를 포함하는 도전성 재질의 제2 지지판; 상기 제2 지지판으로부터 수직으로 이격되어 상기 내부 용기의 외측면에 결합되고 상기 제2 직경보다 작은 제3 직경을 가지고 외주면에 형성된 제3 열 엥커를 포함하는 도전성 재질의 제3 지지판;상기 제1 열 엥커에 결합하고 수직으로 연장되는 제1 열 차폐부;상기 제2 열 엥커에 결합하고 수직으로 연장되는 제2 열 차폐부; 및상기 제3 열 엥커에 결합하고 수직으로 연장되는 제3 열 차폐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 장치
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수직 방향으로 연장되는 외부 용기 및 상기 외부 용기의 내부에 삽입되어 액체 냉매를 수납하고 상판을 포함하는 금속성 재질의 내부 용기를 제공하는 단계; 상기 내부 용기와 상기 외부 용기 사이의 공간은 진공 상태이고, 상기 외부 용기의 하부면과 상기 내부 용기의 하부면 사이에 배치된 SQUID 센서 모듈을 제공하는 단계;일단은 상기 내부 용기의 하부면에 연결되고, 타단은 상기 SQUID 센서 모듈에 직접 또는 간접적으로 연결되어 상기 SQUID 센서 모듈을 냉각하는 열전달 기둥을 제공하는 단계;상기 내부 용기에서 발생하는 열잡음 및 자기 잡음이 상기 SQUID 센서 모듈에 전달되는 것을 억제하도록 상기 SQUID 센서 모듈의 일부를 감싸는 초전도체로 자기 차폐를 제공하는 단계; 및상기 열전달 기둥의 타단에 열적으로 접촉하고 상기 초전도체를 냉각하는 열전도판을 제공하는 단계를 포함하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 방법
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제 14항에 있어서,상기 열전달 기둥, 상기 초전도체, 및 상기 SQUID 센서 모듈을 냉각하도록 상기 SQUID 센서 모듈의 하부면을 감싸는 보조 열전달층을 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 양자 간섭 소자의 간접 냉각 방법
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