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후방면에 다수의 홈이 형성된 광학 거울을 지지하기 위해 상기 광학 거울의 측면 일측에 결합되는 플렉셔 마운트에 있어서, 상기 광학거울의 측면 일측에 접합되는 제1프레임;내부로 상기 제1프레임이 삽입되어 체결부재에 의해 상기 제1프레임과 결합되는 제2프레임;일측이 지지부와 특정 경사각을 갖고 연결되며 타측은 상기 제2프레임의 하단부 일단에 연결되는 복수의 인바; 및특정두께를 갖고, 상기 제1프레임과 상기 제2프레임 사이에 구비되어, 상기 제2프레임에 삽입되어지는 상기 제1프레임의 삽입깊이를 조절하는 심을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트
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제 1항에 있어서, 복수의 상기 인바 각각의 길이방향 축이 교차되는 점은 상기 광학거울의 무게중심면 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트
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제 1항에 있어서, 상기 제1프레임의 단면은 사각형이고, 양측면과 하부면이 상기 제1프레임의내면과 접촉되는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트
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제 3항에 있어서, 상기 심은 상기 제1프레임의 하부면과 상기 제1프레임의 내면 사이에 구비되는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트
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제 1항에 있어서, 상기 인바는 2개가 서로 대칭 구조로 각각의 일측이 지지부와 특정 경사각을 갖고 연결되며 타측은 상기 제2프레임의 하단부 일단에 연결되며, 2개의 상기 인바 각각의 길이방향 축의 교차점은 상기 광학거울의 무게중심면 상에 존재하는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트
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제 1항의 플렉셔 마운트의 제조방법에 있어서, 광학거울의 측면 일측에 접합되는 제1프레임을 제작하는 단계; 내부로 상기 제1프레임이 삽입되어 지는 제2프레임과 일측이 지지부와 특정 경사각을 갖고 연결되며 타측은 상기 제2프레임의 하단부 일단에 연결되는 복수의 인바를 일체로 제작하는 단계; 상기 제1프레임과 상기 제2프레임 사이에 특정두께를 갖는 심이 구비되도록, 상기 제1프레임을 상기 제2프레임의 내부로 삽입시키는 단계; 체결부재에 의해 상기 제1프레임과 상기 제2프레임을 체결하는 단계; 및 상기 제1프레임을 상기 광학거울의 측면 일측에 결합시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트의 제조방법
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제 6항에 있어서, 상기 일체로 제작하는 단계는 와이어 커팅 공정으로 상기 인바와 상기 제2프레임 및 상기 지지부를 일체로 제작하는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트의 제조방법
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제 6항에 있어서, 상기 체결부재를 해체하여 상기 심의 특정두께와 다른 두께를 갖는 심으로 교체하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트의 제조방법
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후방면에 다수의 홈이 형성된 광학 거울을 지지하기 위해 상기 광학 거울의 측면 일측에 결합되는 플렉셔 마운트에 있어서, 내면 각각에 상기 광학거울의 측면과 접합되는 접착면을 갖는 결합부를 갖고, 내면 각각의 모서리에는 특정곡률을 갖는 만곡부가 형성된 제1프레임;내부로 상기 제1프레임이 삽입되어 체결부재에 의해 상기 제1프레임과 결합되는 제2프레임;일측이 지지부와 특정 경사각을 갖고 연결되며 타측은 상기 제2프레임의 하단부 일단에 연결되는 복수의 인바; 및특정두께를 갖고, 상기 제1프레임과 상기 제2프레임 사이에 구비되어, 상기 제2프레임에 삽입되어지는 상기 제1프레임의 삽입깊이를 조절하는 심을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트
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제 9항에 있어서, 상기 광학거울의 측면에는 다수의 돌출부가 형성되어 있고, 상기 제1프레임은 중앙에 홈을 구비하여 상기 홈이 상기 돌출부에 삽입되며, 상기 홈의 내측면 각각에 상기 결합부가 형성되어 상기 돌출부의 외측면이 상기 결합부의 접착면에 접착되는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트
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제 10항에 있어서, 상기 결합부의 단면크기는 상기 접착면에서 상기 홈의 내측면 측으로 갈수록 감소되는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트
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제 9항에 있어서, 상기 인바는 2개가 서로 대칭 구조인 바이파드 형태로 각각의 일측이 지지부와 특정 경사각을 갖고 연결되며 타측은 상기 제2프레임의 하단부 일단에 연결되며, 2개의 상기 인바 각각의 길이방향 축의 교차점은 상기 광학거울의 무게중심면 상에 존재하는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트
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제 9항에 있어서, 상기 돌출부는 3개이고, 상기 각각의 돌출부에 상기 제1프레임이 삽입되어 결합되는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트
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제 9항에 있어서, 상기 체결부재는 핀볼트 인 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트
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제 9항의 플렉셔 마운트의 제조방법에 있어서, 내면 각각에 광학거울의 측면과 접합되는 접착면을 갖는 결합부를 갖고, 내면 각각의 모서리에는 특정곡률을 갖는 만곡부가 형성되도록 제1프레임을 제작하는 단계;내부로 상기 제1프레임이 삽입되어 지는 제2프레임과 일측이 지지부와 특정 경사각을 갖고 연결되며 타측은 상기 제2프레임의 하단부 일단에 연결되는 복수의 인바를 일체로 제작하는 단계; 상기 제1프레임과 상기 제2프레임 사이에 특정두께를 갖는 심이 구비되도록, 상기 제1프레임을 상기 제2프레임의 내부로 삽입시키는 단계; 체결부재에 의해 상기 제1프레임과 상기 제2프레임을 체결하는 단계; 및 상기 제1프레임을 상기 광학거울의 측면 일측에 결합시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트의 제조방법
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제 15항에 있어서, 상기 광학거울의 측면 일측에 결합시키는 단계는, 상기 광학거울의 측면에 형성된 다수의 돌출부에 상기 제1프레임 중앙에 구비된 홈을 삽입시켜, 상기 돌출부의 외측면이 상기 홈의 내측면 각각에 구비된 상기 결합부의 접착면에 접착되어 결합되는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트의 제조방법
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제 16항에 있어서, 상기 결합부의 단면크기가 상기 접착면에서 상기 홈의 내측면 측으로 갈수록 감소되도록 와이어 커팅 공정으로 상기 결합부를 제작하는 것을 특징으로 하는 플렉셔 마운트의 제조방법
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도넛 형태의 광학 거울;상기 광학거울을 지지하기 위해 상기 광학 거울의 측면에 결합되는 복수의 제 1항 내지 제 5항 및 제9항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 따른 플렉셔 마운트;상기 플렉셔 마운트 각각의 지지부가 결합되는 지지대; 상기 광학거울의 중심축과 수직인 회전축을 기준으로 상기 지지대 회전시키는 회전장치; 상기 광학거울과 특정간격 이격되어 설치되는 렌즈; 및상기 광학거울을 분석하기 위한 분석장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학거울 분석 시스템
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광학거울 분석 방법에 있어서, 복수의 제 1항 내지 제 5항 및 제9항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 따른 플렉셔 마운트 각각을 광학거울의 측면 일측에 결합시키는 단계; 상기 플렉셔 마운트 각각의 지지부를 지지대에 결합시키는 단계; 회전장치에 의해 상기 광학거울의 중심축과 수직인 회전축을 기준으로 상기 지지대 회전시켜 상기 광학거울의 중심축을 지면과 평행하게 되도록 상기 광학거울을 회전시키는 단계; 및상기 광학거울과 특정간격 이격되어 설치된 렌즈에 투과된 상기 광학거울의 반사광을 분석수단이 측정하여 상기 광학거울의 표면에러를 분석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학거울의 분석방법
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