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초음파 신호를 이용하여 피측정체의 비선형 파라미터(nonlinear parameter)를 측정하는 장치로서,상기 피측정체의 일측에 연결되어 상기 피측정체로 상기 초음파 신호를 입사시키는 초음파 버퍼부;톤-버스트(tone-burst)를 발생시켜 상기 초음파 신호를 생성하는 초음파 생성부;상기 초음파 버퍼부에 연결되고, 상기 초음파 생성부에서 생성된 상기 초음파 신호를 상기 초음파 버퍼부에 입사시키는 탐촉자;상기 초음파 버퍼부에 레이저를 조사하여 상기 피측정체로 입사되는 상기 초음파 신호를 측정하는 입력 초음파 신호 측정부;상기 피측정체의 타측에 레이저를 조사하여 상기 피측정체로부터 출력되는 상기 초음파 신호를 측정하는 출력 초음파 신호 측정부; 및상기 입력 초음파 신호 측정부 및 출력 초음파 신호 측정부에서 측정된 상기 초음파 신호에 기초하여 상기 피측정체의 비선형 파라미터를 산출하는 비선형 파라미터 산출부를 포함하는, 비선형 파라미터 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 초음파 버퍼부는,상기 초음파 신호를 상기 피측정체에 평면파(plane wave)로 입사시키고, 상기 입력 초음파 신호 측정부로부터 조사된 레이저를 투과시키는, 비선형 파라미터 측정 장치
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제2항에 있어서,상기 초음파 버퍼부는,상기 초음파 신호 및 상기 입력 초음파 신호 측정부로부터 입사된 레이저를 상기 피측정체의 입사면에 수직하게 입사시키는, 비선형 파라미터 측정 장치
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제2항에 있어서,상기 초음파 버퍼부는,상기 초음파 신호 및 상기 입력 초음파 신호 측정부로부터 입사된 레이저를 상기 피측정체의 입사면에 경사지게 입사시키는, 비선형 파라미터 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 피측정체로 입사되는 상기 초음파 신호는,상기 초음파 신호의 기본 주파수 성분 및 입사 고조파 성분을 포함하는, 비선형 파라미터 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 입력 초음파 신호 측정부는,상기 초음파 신호가 상기 피측정체로 입사되는 면의 변위를 레이저로 측정하여 상기 피측정체로 입사되는 상기 초음파 신호를 측정하는, 비선형 파라미터 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 피측정체로부터 출력되는 상기 초음파 신호는,상기 피측정체로부터 출력되는 상기 초음파 신호의 기본 주파수 성분, 상기 기본 주파수 성분에 대한 2차 고조파 성분, 상기 초음파 신호의 입사 고조파 성분 및 상기 입사 고조파 성분에 대한 2 차 고조파 성분을 포함하는, 비선형 파라미터 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 출력 초음파 신호 측정부는,상기 초음파 신호가 상기 피측정체로부터 출력되는 면의 변위를 레이저로 측정하여 상기 피측정체로부터 출력되는 상기 초음파 신호를 측정하는, 비선형 파라미터 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 비선형 파라미터 산출부는,상기 입력 초음파 신호 측정부에서 측정된 상기 피측정체로 입사되는 상기 초음파 신호의 입사 고조파 성분을 고려하여 상기 피측정체의 비선형 파라미터를 산출하는, 비선형 파라미터 측정 장치
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초음파 신호를 이용하여 피측정체의 비선형 파라미터(nonlinear parameter)를 측정하는 방법으로,톤-버스트(tone-burst)를 발생시켜 상기 초음파 신호를 생성하는 단계;상기 피측정체의 일측에 연결된 초음파 버퍼부에 상기 초음파 신호를 입사시키는 단계; 상기 초음파 버퍼부에 레이저를 조사하여 상기 피측정체로 입사되는 상기 초음파 신호를 측정하는 단계;상기 피측정체의 타측에 레이저를 조사하여 상기 피측정체로부터 출력되는 상기 초음파 신호를 측정하는 단계; 및측정된 상기 피측정체로 입사되는 초음파 신호 및 측정된 상기 피측정체로부터 출력되는 초음파 신호에 기초하여 상기 피측정체의 비선형 파라미터를 산출하는 단계를 포함하는, 비선형 파라미터 측정 방법
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제10항에 있어서,상기 피측정체로 입사되는 상기 초음파 신호는,평면파(plane wave)로 입사되는, 비선형 파라미터 측정 방법
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제10항에 있어서,상기 초음파 신호 및 상기 레이저는,상기 피측정체의 입사면에 수직하게 입사되는, 비선형 파라미터 측정 방법
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제10항에 있어서,상기 피측정체로 입사되는 상기 초음파 신호는,상기 초음파 신호의 기본 주파수 성분 및 입사 고조파 성분을 포함하는, 비선형 파라미터 측정 방법
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제10항에 있어서,상기 초음파 버퍼부에 레이저를 조사하여 상기 피측정체로 입사되는 상기 초음파 신호를 측정하는 단계는,상기 초음파 신호가 상기 피측정체로 입사되는 면의 변위를 레이저로 측정하여 상기 피측정체로 입사되는 상기 초음파 신호를 측정하는, 비선형 파라미터 측정 방법
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제10항에 있어서,상기 피측정체로부터 출력되는 상기 초음파 신호는,상기 초음파 신호의 기본 주파수 성분, 상기 기본 주파수 성분에 대한 2차 고조파 성분, 상기 초음파 신호의 입사 고조파 성분 및 상기 입사 고조파 성분에 대한 2 차 고조파 성분을 포함하는, 비선형 파라미터 측정 방법
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제10항에 있어서,상기 피측정체의 타측에 레이저를 조사하여 상기 피측정체로부터 출력되는 상기 초음파 신호를 측정하는 단계는,상기 초음파 신호가 상기 피측정체로부터 출력되는 면의 변위를 레이저로 측정하여 상기 피측정체로부터 출력되는 상기 초음파 신호를 측정하는, 비선형 파라미터 측정 방법
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제10항에 있어서,상기 측정된 상기 피측정체로 입사되는 초음파 신호 및 측정된 상기 피측정체로부터 출력되는 초음파 신호에 기초하여 상기 피측정체의 비선형 파라미터를 산출하는 단계는,상기 피측정체로 입사되는 상기 초음파 신호의 입사 고조파 성분을 고려하여 상기 피측정체의 비선형 파라미터를 산출하는, 비선형 파라미터 측정 방법
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