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일면은 경량화 패턴을 포함하고 타면은 연마되는 경량화 처리된 거울;상기 거울이 삽입되어 걸치는 제1 깊이의 제1 홈을 포함하고, 상기 제1 홈의 하부면에 상기 제1 깊이보다 큰 제2 깊이의 제2 홈을 포함하는 금속 재질의 고정 블록;상기 거울의 측면과 상기 제1 홈의 측벽 사이에 삽입되어 유체를 밀폐시키는 밀폐 부재;상기 유체를 제공받아 상기 제2 홈에 제공하고, 상기 제2 홈의 압력을 일정하게 제공하는 유체 압력 조절부; 및상기 유체 압력 조절부에 상기 유체를 제공하는 유체 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 거울 연마 장치
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제1 항에 있어서,상기 밀폐 부재는 상온경화실리콘 (room-temperature vulcanizing silicon, RTV)인 것을 특징으로 하는 거울 연마 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 홈은 테이퍼진 것을 특징으로 하는 거울 연마 장치
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제1 항에 있어서,상기 제2 홈의 압력은 주위의 대기압보다 0
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제1 항에 있어서,상기 유체 압력 조절부는:상기 고정 블록에 장착되어 상기 제2 홈에 저장된 유체를 배기하는 배기 밸브;상기 고정 블록에 장착되어 상기 제2 홈의 압력을 측정하는 압력 센서;상기 제2 홈에 제공되는 상기 유체의 유량을 조절하는 제어 밸브; 및상기 압력 센서에서 출력된 압력 신호를 제공받아 상기 제어 밸브 및 상기 배기 밸브를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 거울 연마 장치
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거울의 일면에 경량화 패턴을 형성하여 경량화하는 단계;경량화된 거울을 고정 블록에 밀폐 부재를 사용하여 고정하는 단계;상기 고정 블록의 내부에 유체를 제공하는 단계; 및상기 고정 블록의 내부에 제공된 유체의 압력을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 거울 연마 방법
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제6항에 있어서,상기 고정 블록의 내부에 제공된 유체의 압력을 제어하는 단계는:상기 고정 블록 내부의 압력이 소정의 목표 압력이면 상기 거울의 타면을 연마하는 단계;상기 고정 블록 내부의 압력이 소정의 목표 압력을 초과하면, 상기 고정 블록에 장착된 배기 밸브를 열고 제어 밸브를 닫는 단계;상기 고정 블록 내부의 압력이 소정의 목표 압력 미만이면, 상기 제어 밸브를 열고 상기 배기 밸브를 닫는 단계; 및상기 고정 블록 내부의 압력이 임계 압력 이상이면 상기 배기 밸브를 개방하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 거울 연마 방법
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제6항에 있어서,상기 고정 블록의 내부에 제공된 유체 압력을 일정하게 제어하는 단계는:상기 고정 블록의 압력이 목표 압력에 도달하도록 배기 밸브를 여는 단계;상기 거울의 타면을 연마하는 단계; 및 상기 고정 블록의 압력이 임계 압력을 초과하면 상기 배기 밸브를 여는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 거울 연마 방법
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