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웨이퍼 면방위 측정용 홀더 및 이를 포함하는 측정 장치

  • 기술번호 : KST2015179920
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼의 면방위 측정을 위한 홀더 및 이를 포함하는 측정 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼의 면방위 측정 시 웨이퍼의 측정 기준면을 웨이퍼의 표면으로 하고, 웨이퍼의 표면 수직축과 웨이퍼를 회전시키는 측정 장비 회전축의 편심을 고려하여 보다 정밀한 웨이퍼의 면방위 측정이 가능한 웨이퍼 면방위 측정용 홀더 및 이를 포함하는 측정 장치에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01N 23/20025(2013.01) G01N 23/20025(2013.01)
출원번호/일자 1020120128253 (2012.11.13)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1318934-0000 (2013.10.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.13)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김창수 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 유병윤 대한민국 대전광역시 유성구
3 빈석민 대한민국 대전광역시 중구
4 김주황 대한민국 대전광역시 유성구
5 전현구 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0932849-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.07.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0063793-82
4 등록결정서
Decision to grant		 2013.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0645369-14
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
판상으로 둘레 중 일부가 직선으로 되는 앳지부가 형성되는 웨이퍼의 면방위 측정용 홀더에 있어서,하면에 상기 웨이퍼의 측정 표면이 맞닿도록 상기 웨이퍼가 배치되며, 상기 앳지부에 대응되도록 둘레에 직선으로 되는 제1 기준앳지가 형성되는 상부홀더;회전축과, 상기 회전축의 상측에 형성되며, 상면에 상기 상부홀더가 거치되는 거치대를 포함하는 하부홀더; 를 포함하며,상기 웨이퍼의 앳지부가 상기 제1 기준앳지에 대응되도록 상기 상부홀더에 배치된 상태에서, 상기 웨이퍼를 상기 회전축을 기준으로 일정각도 회전하여 상기 상부홀더에 재배치 시 상기 상부홀더에는, 상기 앳지부에 대응되도록 둘레에 직선으로 형성되는 제2 기준앳지가 형성되는, 웨이퍼 면방위 측정용 홀더
2 2
제 1항에 있어서,상기 상부홀더에는,X선의 기준선 조정을 위해 상기 X선 조사 방향을 따라 상기 상부홀더의 하면에 함몰 형성되며, 상기 제1 기준앳지에 평행한 제1 조사홈; 및상기 X선 조사 방향을 따라 상기 상부홀더의 하면에 함몰 형성되며, 상기 제2 기준앳지에 평행한 제2 조사홈; 이 더 형성되는, 웨이퍼 면방위 측정용 홀더
3 3
제 1항에 있어서,상기 웨이퍼 면방위 측정용 홀더는,상기 상부홀더의 상측에 결합되는 덮개홀더를 더 포함하며, 상기 덮개홀더에는,상기 웨이퍼의 앳지부와 상기 제1 기준앳지 또는, 상기 웨이퍼의 앳지부와 상기 제2 기준앳지가 일치하여 상기 웨이퍼가 상기 상부홀더에 결합되도록, 상기 덮개홀더의 둘레면 하측에서 하방으로 연장 형성되는 가이드 돌기가 형성되는, 웨이퍼 면방위 측정용 홀더
4 4
제 3항에 있어서,상기 덮개홀더의 가이드 돌기는,하면이 상기 거치대의 상면에 맞닿고, 측면에 상기 웨이퍼의 앳지부 측면과 상기 제1 기준앳지 또는 상기 앳지부 측면과 상기 제2 기준앳지의 측면에 맞닿는 고정면이 형성되는, 웨이퍼 면방위 측정용 홀더
5 5
제 3항에 있어서,상기 웨이퍼 면방위 측정용 홀더는,상기 상부홀더 및 상기 하부홀더의 상하 이동 없이 웨이퍼의 면방위 측정이 가능하도록, 상기 상부홀더의 중심을 관통하는 홀더홀 및 상기 홀더홀에 대응되도록 상기 덮개홀더의 중심에 형성되는 홀더홈을 더 포함하는, 웨이퍼 면방위 측정용 홀더
6 6
제 5항에 있어서,상기 덮개홀더의 내주면 둘레에는,상기 홀더홀의 외주면에 끼워지도록 상기 홀더홈의 하면 하방으로 연장 형성되는 홀더고정돌기를 포함하며, 상기 홀더고정돌기의 돌출길이는 상기 홀더홀의 깊이와 대응되고,상기 홀더고정돌기의 하단에는 상기 가이드돌기의 고정면에 평행한 제3 조사홈이 형성되며, 상기 제3 조사홈은, 상기 상부홀더의 제1 조사홈 또는 제2 조사홈과 X선의 진행방향이 일치하도록 배치되는, 웨이퍼 면방위 측정용 홀더
7 7
제 1항에 있어서,상기 상부홀더에는,상기 상부홀더의 하면에 상기 웨이퍼의 측정 표면이 진공 흡착되도록 진공흡착연결부가 더 구비되는, 웨이퍼 면방위 측정용 홀더
8 8
제 1항에 있어서,상기 웨이퍼 면방위 측정용 홀더에는,상기 웨이퍼가 상기 상부홀더에 배치 시 상기 하부홀더의 거치대 상면에서 상방으로 소정거리 이격되어 배치되도록, 상단이 상기 상부홀더의 하면에 맞닿으며, 하단이 상기 거치대의 상면에 맞닿고, 소정의 길이를 갖는 스페이서가 복수 개 구비되는, 웨이퍼 면방위 측정용 홀더
9 9
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 따른 웨이퍼 면방위 측정용 홀더;상기 웨이퍼에 X선을 조사하는 X선 조사기;상기 X선의 X선량을 검출하는 검출기; 및상기 회전축을 축 방향으로 회전시키는 회전 수단;을 포함하는, 웨이퍼 면방위 측정용 홀더를 포함하는 측정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국표준과학연구원 한국표준과학연구원연구운영비지원 전략소재 첨단측정 기술개발(일반)
2 지식경제부 (주)사파이어테크놀로지 산업소재원천기술개발(R＆D) 300mm a-축 사파이어 단결정 성장기술