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고분해능 X-선 로킹 커브 측정을 이용한 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법

  • 기술번호 : KST2015179931
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고분해능 X-선의 회절법의 로킹 커브 측정을 이용하여 웨이퍼의 표면각과, 표면각의 방향을 결정하며, 측정 장비의 회전축과 웨이퍼의 표면수직축이 이루는 편심 각도와 방향까지 측정 가능한 고분해능 X-선 로킹 커브 측정을 이용한 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120130433 (2012.11.16)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1360906-0000 (2014.02.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140211) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.16)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김창수 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 빈석민 대한민국 대전광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0946052-03
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.07.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0063416-95
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.09.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0640879-26
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.11.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1033500-55
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2013-1033511-57
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0062385-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
단결정 결정면 수직축과 웨이퍼의 표면수직축이 이루는 면방위를 결정하는 측정방법에 있어서,상기 웨이퍼의 표면수직축을 중심으로 상기 웨이퍼를 일정 회전각도()로 회전시켜 브래그(Bragg) 회절조건 하에서 선택한 회절 평면의 고분해능 X-선의 로킹 커브를 측정하고, 상기 로킹 커브의 최대 피크가 나타나는 위치()는 하기 식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는, 고분해능 X-선 로킹 커브 측정을 이용한 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼의 표면수직축의 경사()는 하기 식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는, 고분해능 X-선 로킹 커브 측정을 이용한 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 회전각도 일 때 상기 로킹 커브의 최대 피크가 나타나는 위치()는 하기 식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는, 고분해능 X-선 로킹 커브 측정을 이용한 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 회절 평면 상에서 함수를 갖는 결정면축과 회전축과의 각도()는 하기 식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는, 고분해능 X-선 로킹 커브 측정을 이용한 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 웨이퍼의 회전시키는 회전축의 편심을 고려할 때, 상기 로킹 커브의 최대 피크가 나타나는 위치()는 하기 식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는, 고분해능 X-선 로킹 커브 측정을 이용한 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법
6 6
제 5항에 있어서,상기 웨이퍼의 표면각()과, 상기 표면각이 나타나는 방향()은 하기 식에 의해 결정되며,(는 웨이퍼 홀더 설계 시 적용된 위상 변화 값, 는 상기 에 따라 각각 측정된 로킹 커브의 피크의 각도 차)상기 회전각도() 함수에 따른 웨이퍼 면방위의 변위()는 하기 식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는, 고분해능 X-선 로킹 커브 측정을 이용한 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법
7 7
제 6항에 있어서,상기 로킹 커브는, 일 때와, 일 때 두 번 측정되며, 상기 는 하기 식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는, 고분해능 X-선 로킹 커브 측정을 이용한 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법
8 8
제 6항에 있어서,상기 회전각도() 함수에 따른 회전축으로부터 표면수직축의 경사 변위()는 하기 식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는, 고분해능 X-선 로킹 커브 측정을 이용한 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법
9 9
제 6항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 웨이퍼에 대하여 0~180° 방향에 따른 면방위의 각도 성분()은 하기 식에 의해 결정되며,상기 웨이퍼에 대하여 90~270° 방향에 따른 면방의 각도 성분()은 하기 식에 의해 결정되고,의 두 개의 샘플 방위 각각을 90°간격으로 두 번 측정하는 4번의 로킹 커프 측정만으로 단결정 웨이퍼의 면방위 측정이 가능한 것을 특징으로 하는, 고분해능 X-선 로킹 커브 측정을 이용한 단결정 웨이퍼의 면방위 측정 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN104798188 CN 중국 FAMILY
2 JP06153623 JP 일본 FAMILY
3 JP28505816 JP 일본 FAMILY
4 US09678023 US 미국 FAMILY
5 US20150330918 US 미국 FAMILY
6 WO2014077480 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN104798188 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN104798188 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 JP2016505816 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP6153623 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 US2015330918 US 미국 DOCDBFAMILY
6 US9678023 US 미국 DOCDBFAMILY
7 WO2014077480 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국표준과학연구원 한국표준과학연구원연구운영비지원 전략소재 첨단측정 기술개발(일반)
2 지식경제부 (주)사파이어테크놀로지 산업소재원천기술개발(R＆D) 300mm a-축 사파이어 단결정 성장기술