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선형 3축 및 회전 3축 방향의 측정을 수행하는 6축 진동 센서(500)를 교정하는 교정 장치(100)로서,조화 함수(sine function) 신호를 발생시키는 조화 함수 발생기(111) 및 상기 조화 함수 발생기(111)에서 발생된 조화 함수 신호를 증폭하여 출력하는 출력 증폭기(112)를 포함하여 이루어져 진동 신호를 인가하는 인가부(110);상기 6축 진동 센서(500)가 구비되며, 상기 인가부(110)로부터 인가된 진동 신호에 따라 회전 진동을 발생시켜 상기 6축 진동 센서(500)로 전달하는 회전 가진기(120);상기 회전 가진기(120)에 구비되며, 상기 회전 가진기(120)의 축 회전 운동을 측정하는 정밀 회전 엔코더(131) 및 상기 회전 가진기(120)의 축 회전 각도를 측정하는 위치 카운터(132)를 포함하여 이루어지는 측정부(130);상기 6축 진동 센서(500)와 연결되어, 상기 회전 가진기(120)에 의하여 발생된 진동 신호가 상기 6축 진동 센서(500)에서 측정 및 출력되는 값을 전달받아 증폭하는 신호 증폭기(141) 및 상기 신호 증폭기(141)에서 전달받은 아날로그 신호를 디지털 분석 가능하도록 디지털 신호 형태로 변환하는 AD 컨버터(142)를 포함하여 이루어지는 변환부(140);상기 인가부(110)에서 발생시키고자 하는 진동의 주파수 및 진폭을 포함하는 진동 특성을 상기 인가부(110)로 입력하고, 상기 측정부(130)에서 측정된 값 및 상기 변환부(140)에서 출력된 값을 전달받아 비교 분석하여 상기 6축 진동 센서(500)의 동적 성능을 평가하는 제어부(150);를 포함하여 이루어지며,상기 제어부(150)는상기 회전 가진기(120)로 인가된 진동 신호와 상기 6축 진동 센서(500)에서 출력된 측정 신호를 비교하여 상기 6축 진동 센서(500)의 선형 3축 및 회전 3축에 대한 감도를 산출함으로써 상기 6축 진동 센서(500)의 동적 성능을 평가하는 것을 특징으로 하는 주기적 회전 진동을 이용한 6축 진동 센서의 교정 장치
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제 1항에 의한 6축 진동 센서의 교정 장치(100)를 이용한 6축 진동 센서의 교정 방법에 있어서,상기 회전 가진기(120)로 인가된 진동 신호와 상기 6축 진동 센서(500)에서 출력된 측정 신호가 상기 제어부(150)에 의하여 비교되는 단계를 각 축 측정 단계라 할 때,A) 상기 회전 가진기(120)의 회전축이 x축, y축, z축 각각에 정렬되고 상기 각 축 측정 단계가 수행되는 단계;B) 상기 A) 단계에서 축을 달리하며 상기 각 축 측정 단계가 총 3번 수행된 후 얻어진 결과 값이 상기 제어부(150)에 의하여 취합 및 분석되어 상기 6축 진동 센서(500)의 동적 성능을 평가하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 주기적 회전 진동을 이용한 6축 진동 센서의 교정 방법
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제 2항에 있어서, 상기 각 축 측정 단계는a) 상기 제어부(150)에 의하여 미리 결정된 주파수 및 진폭을 포함하는 진동 특성이 상기 인가부(110)로 입력되는 단계;b) 상기 인가부(110)에 의하여 상기 제어부(150)로부터 입력된 진동 신호가 상기 회전 가진기(120)로 인가되는 단계;c) 상기 회전 가진기(120)에 의하여 상기 6축 진동 센서(500)로 진동이 전달되는 단계;d) 상기 측정부(130)에 의하여 상기 회전 가진기(120)의 축 회전 운동 및 회전 각도가 측정되어 상기 제어부(150)로 전달되며,상기 변환부(140)에 의하여 상기 6축 진동 센서(500)가 측정한 진동 신호의 출력값이 변환되어 상기 제어부(150)로 전달되는 단계;e) 상기 제어부(150)에 의하여, 상기 d) 단계에서 상기 측정부(130)에 의하여 측정된 값 및 상기 변환부(140)에 의하여 출력된 값이 비교 분석되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 주기적 회전 진동을 이용한 6축 진동 센서의 교정 방법
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제 3항에 있어서, 상기 제어부(150)는하기의 식 1을 사용하여 상기 6축 진동 센서(500)의 출력 전압 감도(Sij) 값을 산출함으로써 상기 6축 진동 센서(500)의 동적 성능을 평가하는 것을 특징으로 하는 주기적 회전 진동을 이용한 6축 진동 센서의 교정 방법
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제 4항에 있어서, 상기 제어부(150)는상기 e) 단계에서, 산출된 출력 전압 감도(Sij) 값 중Sii(i = 1, 2, 3) 값을 각 축의 선형 가속도의 공칭 감도(nominal sensitivity) 값으로,Sij(i ≠ j, i, j = 1, 2, 3) 값을 축간 선형 가속도의 횡 감도(transverse sensitivity) 값으로,Sii(i = 4, 5, 6) 값을 각 축의 회전 각속도의 공칭 감도 값으로,Sij(i ≠ j, i, j = 4, 5, 6) 값을 축간 회전 각속도의 횡 감도 값으로 분류하는 것을 특징으로 하는 주기적 회전 진동을 이용한 6축 진동 센서의 교정 방법
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제 4항에 있어서, 상기 제어부(150)는상기 교정 장치(100)에서 상기 회전 가진기(120)의 회전축과 상기 6축 진동 센서(500)의 중심축 간의 이격 거리가 0일 경우,상기 회전 가진기(120)의 회전축의 주기적 회전 운동에 의하여 상기 6축 진동 센서(500)의 선형 가속도계에 인가되는 법선 가속도(AN(k)) 및 접선 가속도(AT(k)) 값을 사용하여, 상기 식 1을 하기의 식 2로 풀어 계산함으로써 상기 6축 진동 센서(500)의 출력 전압 감도(Sij) 값을 산출하는 것을 특징으로 하는 주기적 회전 진동을 이용한 6축 진동 센서의 교정 방법
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제 4항에 있어서, 상기 제어부(150)는상기 교정 장치(100)에서 상기 회전 가진기(120)의 회전축과 상기 6축 진동 센서(500)의 중심축 간의 이격 거리가 0이 아닐 경우,상기 회전 가진기(120)의 회전축의 주기적 회전 운동에 의하여 상기 6축 진동 센서(500)의 선형 가속도계에 인가되는 법선 가속도(AN(k)) 및 접선 가속도(AT(k)) 값을 사용하여, 상기 식 1을 하기의 식 2로 풀어 계산하되,(식 2)이격 거리에 따라 상기 식 2에 하기의 식 3과 같은 추가되는 법선 및 접선 가속도 성분을 더하여 계산함으로써 상기 6축 진동 센서(500)의 출력 전압 감도(Sij) 값을 산출하는 것을 특징으로 하는 주기적 회전 진동을 이용한 6축 진동 센서의 교정 방법
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