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후방면에 다수의 홈이 형성된 광학 거울의 연마시, 상기 광학거울을 부양시키기 위한 공압시스템에 적용되는 중력보상장치에 있어서, 상기 광학거울의 외주면을 둘러싸도록 설치된 공압외부마개의 외주면 일측에 구비되는 특정무게를 갖는 적어도 하나의 무게추; 및상기 무게추를 상기 광학거울의 무게중심면과 수직방향으로 이동시키는 이동수단;을 포함하고, 상기 무게중심면은 상기 광학거울의 평면방향이 중력방향과 평행이 되도록 상기 광학거울을 위치하였을 때를 기준으로 무게 중심이 되는 상기 평면방향과 평행인 가상의 면인 것을 특징으로 하는 광학거울의 공압시스템에 적용되는 중력보상장치
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제 1항에 있어서, 상기 무게추는 복수로 구비되어 서로 동일한 간격으로 이격되어 상기 공압외부마개의 외주면에 설치되는 것을 특징으로 하는 광학거울의 공압시스템에 적용되는 중력보상장치
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제 2항에 있어서, 상기 무게추의 내주면은 상기 공압외부마개의 외주면과 형상맞춤되어 지는 것을 특징으로 하는 광학거울의 공압시스템에 적용되는 중력보상장치
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제 1항에 있어서, 상기 이동수단은, 길이방향이 상기 무게중심면과 수직이고 상기 무게추에 관통되어 설치되는 이동축, 일단은 상기 이동축의 상부 끝단과 결합되고 타단은 결합부재에 의해 상기 공압외부마개의 상부면 일측에 결합되는 지지바 및 상기 무게추를 상기 이동축의 길이방향을 기준으로 이동시키는 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학거울의 공압시스템에 적용되는 중력보상장치
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광학거울의 표면형상왜곡을 보상시키기 위한 방법에 있어서, 상기 광학거울의 외주면에 공압외부마개를 설치하고, 상기 공압외부마개의 외주면으로 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 중력보상장치를 설치하는 단계; 및상기 광학거울의 표면형상왜곡값을 기반으로 상기 중력보상장치의 이동수단에 의해 상기 무게추를 상기 광학거울의 무게중심면과 수직방향으로 이동시켜 상기 표면형상왜곡을 보상하는 단계;를 포함하고,상기 무게중심면은 상기 광학거울의 평면방향이 중력방향과 평행이 되도록 상기 광학거울을 위치하였을 때를 기준으로 무게 중심이 되는 상기 평면방향과 평행인 가상의 면이며, 상기 보상하는 단계는, 상기 무게추의 상부면과 상기 공압외부마개의 상부면의 이격거리인 무게추 거리와 상기 표면형상왜곡값과의 관계에 의해, 상기 무게추 거리를 조정하여 상기 표면형상왜곡을 보상하는 것을 특징으로 하는 광학거울의 표면형상왜곡 보상방법
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제 5항에 있어서, 상기 무게추 거리를 0으로 하고, 상기 광학거울의 무게중심면이 중력방향과 일치되도록 상기 광학거울을 세워 분석장치에 의해 상기 광학거울의 표면형상왜곡값을 측정하는 단계; 상기 무게추 거리를 기 설정된 특정거리로 하고, 상기 광학거울의 무게중심면이 중력방향과 일치되도록 상기 광학거울을 세워 분석장치에 의해 상기 광학거울의 표면형상왜곡값을 측정하는 단계; 연산수단이 상기 표면형상왜곡값과 상기 무게추 거리의 대응관계를 연산하는 단계; 및상기 광학거울의 전방면을 연삭 가공한 후, 상기 광학거울의 무게중심면이 중력방향과 일치되도록 상기 광학거울을 세워 분석장치에 의해 상기 광학거울의 표면형상왜곡값을 측정하여, 상기 연산수단에 의해 연산된 연산데이터를 기반으로, 상기 무게추 거리를 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학거울의 표면형상왜곡 보상방법
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광학거울의 공압시스템에 있어서, 후방면에 다수의 홈이 형성된 광학 거울의 후방면과 특정공간을 갖도록 후방면 측에 결합되는 공압하우징;내주면이 상기 광학거울의 외주면과 형상맞춤되도록 상기 광학거울과 상기 공압하우징 사이에 구비되어 상기 특정공간을 밀폐시키는 공압외부마개; 상기 특정공간을 가압하여 상기 광학거울을 부양시키는 압력가압수단; 및 상기 광학거울의 외주면을 둘러싸도록 설치된 공압외부마개의 외주면 일측에 구비되는 특정무게를 갖는 적어도 하나의 무게추와, 상기 무게추를 상기 광학거울의 무게중심면과 수직방향으로 이동시키는 이동수단을 구비한 중력보상장치;를 포함하고, 상기 무게중심면은 상기 광학거울의 평면방향이 중력방향과 평행이 되도록 상기 광학거울을 위치하였을 때를 기준으로 무게 중심이 되는 상기 평면방향과 평행인 가상의 면인 것을 특징으로 하는 중력보상장치를 갖는 광학거울의 공압시스템
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제 7항에 있어서, 상기 광학거울은 중앙홀을 갖는 도넛 형태이고, 상기 특정공간을 밀폐시키기 위해 상기 중앙홀에 설치되는 공압내부마개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 중력보상장치를 갖는 광학거울의 공압시스템
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제 8항에 있어서, 상기 공압외부마개와 상기 광학거울 사이에 구비되며 탄성력을 갖는 재질로 구성되는 공압외부씰링부재; 및상기 공압내부마개와 상기 광학거울 사이에 구비되며 탄성력을 갖는 재질로 구성되는 공압내부씰링부재 중 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 중력보상장치를 갖는 광학거울의 공압시스템
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광학거울의 표면형상왜곡을 분석하고 보상하기 위한 시스템에 있어서, 후방면에 다수의 홈이 형성된 광학 거울의 후방면과 특정공간을 갖도록 후방면 측에 결합되는 공압하우징;내주면이 상기 광학거울의 외주면과 형상맞춤되도록 상기 광학거울과 상기 공압하우징 사이에 구비되어 상기 특정공간을 밀폐시키는 공압외부마개; 상기 특정공간을 가압하여 상기 광학거울을 부양시키는 압력가압수단; 및 상기 광학거울의 외주면을 둘러싸도록 설치된 공압외부마개의 외주면 일측에 구비되는 특정무게를 갖는 적어도 하나의 무게추와, 상기 무게추를 상기 광학거울의 무게중심면과 수직방향으로 이동시키는 이동수단을 구비한 중력보상장치;상기 광학거울의 무게중심면이 중력방향과 수직이 되도록 상기 광학거울을 세운 상태에서, 상기 광학거울의 중심축을 기준으로 상기 광학거울을 회전시키는 회전장치;상기 광학거울이 세워진 상태에서 상기 광학거울과 특정간격 이격되어 설치되는 렌즈; 및상기 광학거울의 표면형상왜곡을 측정하는 분석장치;를 포함하고, 상기 무게중심면은 상기 광학거울의 평면방향이 중력방향과 평행이 되도록 상기 광학거울을 위치하였을 때를 기준으로 무게 중심이 되는 상기 평면방향과 평행인 가상의 면인 것을 특징으로 하는 광학거울의 표면형상왜곡 분석 시스템
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제 10항에 따른 광학거울의 표면형상왜곡 분석 시스템을 이용하여 광학거울의 표면형상왜곡을 분석하고 보상하는 방법에 있어서, 상기 광학거울에 공압외부마개와 공압하우징을 설치하고, 상기 공압외부마개의 외주면으로 중력보상장치를 설치하고 상기 광학거울의 후방면과 상기 공압하우징 사이의 특정공간으로 압력을 가하여 상기 광학거울을 부양시키는 단계; 및무게추의 상부면과 상기 공압외부마개의 상부면 사이의 거리인 무게추 거리를 0으로 하고, 상기 광학거울의 무게중심면이 중력방향과 일치되도록 상기 광학거울을 세워, 분석장치에 의해 상기 광학거울의 표면형상왜곡값을 측정하는 단계; 상기 무게추 거리를 기 설정된 특정거리로 하고, 상기 광학거울의 무게중심면이 중력방향과 일치되도록 상기 광학거울을 세워 분석장치에 의해 상기 광학거울의 표면형상왜곡값을 측정하는 단계; 연산수단이 상기 표면형상왜곡값과 상기 무게추 거리의 대응관계를 연산하는 단계; 및상기 광학거울의 전방면을 연삭 가공한 후, 상기 광학거울의 무게중심면이 중력방향과 일치되도록 상기 광학거울을 세워, 분석장치에 의해 상기 광학거울의 표면형상왜곡값을 측정하고, 상기 연산수단에 의해 연산된 연산데이터를 기반으로, 상기 무게추 거리를 조정하여 표면형상왜곡을 보상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학거울의 표면형상왜곡 분석 및 보상 방법
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