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경량화가공부를 포함하는 대구경미러의 자동에칭장치 및 그 대구경미러의 자동에칭방법

  • 기술번호 : KST2015179969
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 주로 대형광학계에 사용되는 경량화가공부가 형성된 대구경미러에 존재하는 크랙을 제거하기 위한 대구경미러를 자동으로 에칭하기 위한 자동에칭장치 및 자동에칭방법에 대한 것이다. 본 발명의 일례에 따른 경량화가공부가 복수로 형성되어 있는 대구경미러의 자동에칭장치에 있어서, 상기 자동에칭장치는 에칭액이 주입 또는 배출되는 다이아그램펌프; 상기 다이아그램펌프를 통해 주입된 에칭액을 저장하고, 내부에 상기 대구경미러를 배치시켜 상기 저장된 에칭액에 의해 상기 대구경미러가 침지되도록 하는 에칭탱크; 상기 복수의 경량화가공부 각각에 삽입되고, 길이 방향 축을 중심으로 회전 가능한 회전 막대; 상기 회전막대의 상측에 연결된 제 1 모터; 상기 제 1 모터의 구동을 이용하여 상기 회전막대가 길이 방향 축을 중심으로 회전하는 경우, 상기 대구경미러의 적어도 일부에서 발생된 슬러지를 제거하기 위한 브러쉬 부재; 상기 대구경미러의 에칭 두께를 확인하기 위한 고노게이지; 상기 대구경미러의 에칭 두께가 기 설정된 두께 이하인 경우, 상기 다이아그램펌프를 이용하여 상기 에칭탱크 내에 남아있는 에칭액을 배출시키는 제어부; 상기 대구경미러 내부의 잔류 에칭액을 흡입하는 에어흡입부재; 및 상기 제어부의 제어에 따라 상기 잔류 에칭액을 제거하는 에어블로잉부재;를 포함할 수 있다.
Int. CL C03C 15/00 (2006.01) G02B 5/00 (2006.01)
CPC C03C 15/00(2013.01) C03C 15/00(2013.01) C03C 15/00(2013.01) C03C 15/00(2013.01)
출원번호/일자 1020130101157 (2013.08.26)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1515408-0000 (2015.04.21)
공개번호/일자 10-2015-0024483 (2015.03.09) 문서열기
공고번호/일자 (20150507) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.08.26)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전병혁 대한민국 대전광역시 대덕구
2 이혁교 대한민국 서울특별시 마포구
3 양호순 대한민국 대전 유성구
4 이윤우 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 아이퍼스 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0775002-09
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0062331-79
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0673482-12
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.11.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1115758-52
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-1115757-17
8 등록결정서
Decision to grant
2015.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0070336-67
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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경량화가공부가 복수로 형성되어 있는 대구경미러의 자동에칭장치에 있어서,에칭액이 주입 또는 배출되는 다이아그램펌프;상기 다이아그램펌프를 통해 주입된 에칭액을 저장하고, 내부에 상기 대구경미러를 배치시켜 상기 저장된 에칭액에 의해 상기 대구경미러가 침지되도록 하는 에칭탱크;상기 복수의 경량화가공부 각각에 삽입되고, 길이 방향 축을 중심으로 회전 가능한 회전 막대;상기 회전막대의 상측에 연결된 제 1 모터;상기 제 1 모터의 구동을 이용하여 상기 회전막대가 길이 방향 축을 중심으로 회전하는 경우, 상기 대구경미러의 적어도 일부에서 발생된 슬러지를 제거하기 위한 브러쉬 부재;상기 대구경미러의 에칭 두께를 확인하기 위한 고노게이지;상기 대구경미러의 에칭 두께가 기 설정된 두께 이하인 경우, 상기 다이아그램펌프를 이용하여 상기 에칭탱크 내에 남아있는 에칭액을 배출시키는 제어부;상기 대구경미러 내부의 잔류 에칭액을 흡입하는 에어흡입부재 및상기 제어부의 제어에 따라 상기 잔류 에칭액을 제거하는 에어블로잉부재를 포함하되,상기 브러쉬부재, 에어블로잉부재 및 고노게이지는 상기 에칭액에 반응하지 않는 제 1 재질로 구성되고,상기 제 1 재질은 플라스틱 폴리에틸렌(PE), 세라믹 및 테프론을 포함하며,상기 회전막대의 상부측에 결합되어 상기 회전막대를 상하이동시키는 1축 스테이지를 더 포함하고,상기 제어부는, 상기 제 1 모터를 제어하여 상기 회전막대의 회전속도를 조절하고,상기 1축 스테이지를 상하 이동시켜 상기 회전막대와 상기 복수의 경량화가공부 간의 거리 또는 상기 회전막대와 상기 대구경미러 간의 거리를 조절하며,상기 1축 스테이지의 상부 측에 연결된 제2모터;를 더 포함하고,상기 제어부는, 상기 제2모터를 제어하여 상기 1축 스테이지의 회전속도를 조절하는 것을 특징으로 하는, 자동에칭장치
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제1항에 따른 자동에칭장치에 의해 제조된 대형광학계
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경량화가공부가 복수로 형성되어 있는 대구경미러의 자동에칭방법에 있어서,에칭탱크 내에 상기 대구경미러를 구비시키는 단계;다이아그램펌프로부터 에칭액이 투입되어 상기 에칭탱크 내에 저장되는 단계;상기 에칭탱크 내에 저장된 상기 에칭액에 의해 상기 대구경미러가 침지되는 단계;상기 복수의 경량화가공부 각각에 회전막대를 삽입시키는 단계;상기 회전막대의 상측에 연결된 제 1 모터의 구동을 이용하여, 상기 회전막대를 길이 방향 축을 중심으로 회전시키는 단계;상기 회전막대에 구비된 브러쉬 부재를 이용하여 대형광학계의 적어도 일부에서 발생된 슬러지를 제거하는 단계;상기 대형광학계의 에칭 두께를 고노게이지를 이용하여 확인하는 단계;상기 대형광학계의 에칭 두께가 기 설정된 두께 이상인 경우, 상기 다이아그램펌프를 이용하여 상기 에칭탱크 내에 남아있는 에칭액을 배출시키는 단계;에어흡입기를 이용하여, 상기 대형광학계 내부의 잔류 에칭액을 진공흡입하는 단계;에어블로잉을 이용하여, 상기 잔류 에칭액을 제거하는 단계; 및상기 대형광학계를 세척하는 단계;를 포함하되,상기 브러쉬부재, 에어블로잉부재 및 고노게이지 는 상기 에칭액에 반응하지 않는 제 1 재질로 구성되고,상기 제 1 재질은 플라스틱 폴리에틸렌(PE), 세라믹 및 테프론을 포함하며,상기 회전막대의 상부측에 결합된 1축 스테이지를 이용하여 상기 회전막대가 상하 이동되는 단계;를 더 포함하고,상기 제 1 모터를 제어하여 상기 회전막대의 회전속도가 조절되며,상기 1축 스테이지를 상하이동시켜 상기 회전막대와 상기 복수의 경량화가공부 간의 거리 또는 상기 회전막대와 상기 대형광학계 간의 거리가 조절되고,상기 1축 스테이지의 상부 측에 연결된 제2모터를 제어하여 상기 1축 스테이지의 회전속도가 조절되며,상기 대형광학계의 에칭 두께가 기 설정된 두께 이상이고, 상기 대형광학계가 상기 고노게이지를 통과하지 않은 경우, 상기 브러쉬 부재를 이용하여 상기 대형광학계의 적어도 일부에서 발생된 슬러지를 제거하는 단계가 다시 진행되고,상기 자동에칭방법의 적어도 일부 과정에서 유리와 불산의 화학적 반응에 의해 발생되는 유해가스를 기 설정된 기준치 이하로 처리하는 단계; 및상기 처리된 유해가스를 스크러버장치를 통해 외부로 배출하여 지정폐기물 처리통에 저장하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동에칭방법
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제6항에 따른 자동에칭방법에 의해 제조된 대형광학계
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.