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입자빔의 방출 이미지 획득 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015179971
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 입자빔 소스로부터 방출되는 입자빔을 수신하여 2차전자를 방출하는 마이크로채널 플레이트; 상기 마이크로채널 플레이트로부터 생성된 2차전자를 수신하여 이를 광신호로 변환하는 형광스크린; 상기 형광스크린으로부터 방출되는 광 데이터를 수집하는 영상수집장치; 및 공간영역의 저주파 통과필터를 포함하여 이루이지며, 상기 영상수집장치로부터 얻어지는 데이타를 처리하여 영상화하는 영상처리장치;를 포함하는, 입자빔의 방출 이미지 획득 장치 및 이를 이용하여 입자빔의 방출 이미지를 획득하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL H01J 37/147 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01) H01J 37/22 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130080447 (2013.07.09)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1413287-0000 (2014.06.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140701) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.09)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한철수 대한민국 경기도 수원시 팔달구
2 조복래 대한민국 대전광역시 유성구
3 박인용 대한민국 대전 유성구
4 안상정 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 맹성재 대한민국 대전광역시 서구 청사로 *** (둔산동) 수협빌딩 *층(RnD특허법률사무소)
2 이시근 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, ***호(역삼동, 평화빌딩)(특허법인공간(서울분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2013-0617676-89
2 [서류송달대표자선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Representative for Transmittal of Document] Report on Agent (Representative)		 2013.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-1137651-46
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.02.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.03.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0019690-46
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0222034-15
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2014-0360299-53
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.04.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0360311-14
9 등록결정서
Decision to grant		 2014.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0371036-67
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2014.12.22 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2014-1240874-49
11 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2014.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0237153-37
12 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document		 2015.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0007879-23
13 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0013564-43
14 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2015.01.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0004260-51
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
금속팁을 포함하는 입자빔 소스로부터 방출되는 입자빔을 수신하여 2차전자를 방출하는 마이크로채널 플레이트;상기 마이크로채널 플레이트로부터 생성된 2차전자를 수신하여 이를 광신호로 변환하는 형광스크린;상기 형광스크린으로부터 방출되는 광 데이터를 수집하는 영상수집장치; 및 상기 영상수집장치로부터 얻어지는 데이터를 처리하여 영상화하며, 상기 마이크로채널 플레이트로부터 기인하는 잡음을 제거하기 위해 공간 영역(spatial domain)에서 구현되는 저주파 통과필터(low pass filter)를 포함하여 이루어지는 영상처리장치;를 포함하는, 입자빔의 방출 이미지 획득 장치
2 2
금속팁을 포함하는 입자빔 소스; 상기 입자빔 소스로부터 집속된 입자빔을 수신하고, 이로부터 2차전자를 방출하는 마이크로채널 플레이트;상기 마이크로채널 플레이트로부터 생성된 2차전자를 수신하고 이를 광신호로 변환하는 형광스크린;상기 형광스크린으로부터 방출되는 광 데이터를 수집하는 영상수집장치; 및 상기 영상수집장치로부터 얻어지는 데이터를 처리하여 영상화하며, 상기 마이크로채널 플레이트로부터 기인하는 잡음을 제거하기 위해 공간 영역(spatial domain)에서 구현되는 저주파 통과필터(low pass filter)를 포함하여 이루어지는 영상처리장치;를 포함하는, 입자빔의 방출 이미지 획득 장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 입자빔 소스와 마이크로채널 플레이트사이에는 상기 입자빔 소스로부터 방출되는 입자빔이 집속되도록 하는 집속렌즈가 구비되는 것을 특징으로 하는, 입자빔의 방출 이미지 획득 장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 집속렌즈와 마이크로채널 플레이트사이에는 상기 집속렌즈로부터 방출되는 입자빔이 통과하며, 입자빔의 경로를 바꿔줌으로써 시료 표면의 탐색기능을 하는 빔 컬럼이 추가로 구비되는 것을 특징으로 하는, 입자빔의 방출 이미지 획득 장치
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 빔 컬럼과 마이크로채널 플레이트사이에는 상기 빔 컬럼으로부터 방출되는 입자빔을 집속하여 마이크로채널 플레이트에 모아주는 대물렌즈가 추가로 구비되는 것을 특징으로 하는, 입자빔의 방출 이미지 획득 장치
6 6
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입자빔은 이온빔 또는 전자빔인 것을 특징으로 하는 입자빔의 방출 이미지 획득 장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 입자빔은 이온빔이고, 입자빔 소스는 텅스텐 팁인 것을 특징으로 하는 입자빔의 방출 이미지 획득 장치
8 8
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 영상처리장치는 소정의 마스크(mask) 값이 설정된 저주파 통과필터(low pass filter)에 의해 상기 영상수집장치로부터 얻어지는 광 데이타에 포함된 잡음정보가 제거되는 것을 특징으로 하는 입자빔의 방출 이미지 획득 장치
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 잡음이 제거된 영상정보에 영상데이타의 반전기능 및/또는 히스토그램 평활화(histogram equalization) 기능을 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 입자빔의 방출 이미지 획득 장치
10 10
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 영상처리장치내 저주파 통과필터(low pass filter)는 하드웨어 또는 소프트웨어에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 입자빔의 방출 이미지 획득 장치
11 11
제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입자빔 소스, 마이크로채널 플레이트 및 형광스크린은 동일한 진공챔버내에서 위치하는 것을 특징으로 하는, 입자빔의 방출 이미지 획득 장치
12 12
제1항 또는 제2항에 기재된 입자빔의 방출 이미지 획득 장치를 이용하여 입자빔의 방출 이미지를 획득하는 방법으로서, 금속팁을 포함하는 입자빔 소스로부터 입자빔을 방출시키는 단계;상기 방출된 입자빔에 의해 마이크로채널 플레이트에서 2차전자가 유발되어 형광스크린으로 방출되는 단계;상기 방출된 2차전자가 형광스크린에서 광신호로 변환되는 단계; 상기 형광스크린에서 변환된 광신호를 영상수집장치에서 수집하는 단계; 및 상기 마이크로채널 플레이트로부터 기인하는 잡음을 제거하기 위해, 상기 영상수집장치로부터 수집된 데이터를 공간영역에서 구현되는 저주파 통과필터를 이용하여, 마스크를 설정하여 잡음(Noise)을 제거하는 단계;를 포함하는, 입자빔의 방출 이미지를 획득하는 방법
13 13
제 12 항에 있어서,상기 저주파 통과필터(low pass filter)는 하드웨어 또는 소프트웨어에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 입자빔의 방출 이미지를 획득하는 방법
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