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초고진공에서의 미세팁의 클리닝 방법

  • 기술번호 : KST2015179972
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초진공하에서 입자빔용 소스 또는 주사탐침 현미경용 프루브로서 사용되는 금속팁의 클리닝 방법으로서, a) 금속팁을 포함하는 챔버내의 압력이 10-7 mbar 이하의 진공을 유지하는 단계; b) 상기 챔버내에 질소가스를 도입하는 단계; 및 c) 상기 질소가스가 도입된 챔버내의 금속팁에 양의 전압을 걸어주는 단계;를 포함하는 금속팁의 클리닝 방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01) H01J 37/252 (2006.01)
CPC H01J 37/252(2013.01) H01J 37/252(2013.01) H01J 37/252(2013.01) H01J 37/252(2013.01)
출원번호/일자 1020130090248 (2013.07.30)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1448199-0000 (2014.09.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141008) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.30)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박인용 대한민국 대전 유성구
2 안상정 대한민국 대전 유성구
3 조복래 대한민국 대전광역시 유성구
4 한철수 대한민국 경기도 수원시 팔달구
5 박창준 대한민국 대전 유성구
6 김주황 대한민국 대전 서구
7 허인혜 대한민국 부산광역시 부산진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 공간 대한민국 대전광역시 서구 둔산서로 ***, *층(둔산 *동, 산업은행B/D)
2 맹성재 대한민국 대전광역시 서구 청사로 *** (둔산동) 수협빌딩 *층(RnD특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0691512-24
2 [서류송달대표자선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Representative for Transmittal of Document] Report on Agent (Representative)		 2013.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-1137701-31
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.03.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.04.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0028272-86
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0446657-36
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.08.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0769595-99
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0769592-52
9 등록결정서
Decision to grant		 2014.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0655100-75
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
초고진공하에서 사용되는 금속팁의 클리닝 방법으로서, a) 금속팁을 포함하는 챔버내의 압력이 10-7 mbar 이하의 진공을 유지하는 단계;b) 상기 챔버내에 부분압력이 10-6 mbar 내지 10-8 mbar의 범위를 갖도록 질소가스를 도입하는 단계; 및c) 상기 질소가스가 도입된 챔버내의 금속팁에 6kV 내지 11kV 범위의 양의 전압을 걸어주는 단계;를 포함하는 금속팁의 클리닝 방법
2 2
초고진공하에서 사용되는 금속팁의 클리닝 방법으로서,a) 금속팁을 포함하는 챔버내의 압력이 10-7 mbar 이하의 진공을 유지하는 단계;b) 상기 챔버내 금속팁에 6kV 내지 11kV 범위의 양의 전압을 걸어주는 단계; 및 c) 상기 양의 전압을 걸어준 금속팁을 포함하는 챔버내에 부분압력이 10-6 mbar 내지 10-8 mbar의 범위를 갖도록 질소 가스를 도입하는 단계;를 포함하는 금속팁의 클리닝 방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 금속팁은 텅스텐, 백금, 금, 은, 니켈, 아연, 구리, 이리듐, 몰리브덴 중에서 선택되는 어느 하나 또는 이들의 합금인 것을 특징으로 하는 금속팁의 클리닝 방법
6 6
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 금속팁의 직경은 500 um 이하로서 말단의 곡률 반경은 300 nm 이하인 것을 특징으로 하는 금속팁의 클리닝 방법
7 7
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 질소 가스에 이미징 가스로서 헬륨, 네온, 아르곤, 수소 중 하나이상이 혼합되어 상기 클리닝 과정을 관찰할 수 있는 것을 특징으로 하는 금속팁의 클리닝 방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 질소가스와 이미징 가스의 혼합비는 1:10 내지 1:1000 것을 특징으로 하는 금속팁의 클리닝 방법
9 9
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 금속팁은 전자빔 소스, 이온빔 소스, 또는 주사탐침 현미경용 프루브의 용도로 사용되는 것을 특징으로 하는 금속팁의 클리닝 방법
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 b) 단계와 c) 단계는 동시에 실행되는 것을 특징으로 하는 금속팁의 클리닝 방법
11 11
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 b) 단계 내지 c) 단계의 공정은 복수 회 반복되는 것을 특징으로 하는 금속팁의 클리닝 방법
12 12
내부에 클리닝 공정이 수행될 금속팁과 연결되어 양의 전압이 인가될 전극을 포함하는 진공 챔버;상기 진공챔버의 외부에 구비되며, 상기 진공챔버에 부분압력이 10-6 mbar 내지 10-8 mbar의 범위를 갖도록 질소 가스를 공급할 질소가스 공급부; 및상기 진공챔버내 금속팁에 연결된 전극에 6kV 내지 11kV 범위의 양의 전압을 공급할 전압 공급장치;를 포함하여 이루어지는 금속팁의 클리닝 장치
13 13
제 12 항에 있어서,상기 금속팁의 클리닝 장치는 헬륨, 네온, 아르곤, 수소 중 하나이상의 이미징 가스 공급부가 구비되며, 상기 이미징 가스 공급부로부터 이미징 가스가 상기 질소가스와 혼합되어 진공챔버로 공급되거나 또는 상기 질소가스와 이미징 가스가 각각 공급되어 진공챔버내에서 혼합됨으로써, 상기 클리닝 과정을 관찰할 수 있는 것을 특징으로 하는 금속팁의 클리닝 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국표준과학연구원 나노-소재기술개발사업 1nm 이하 분해능 헬륨이온현미경 원천기술 개발
2 미래창조과학부 한국표준과학연구원 한국표준과학연구원 주요사업 첨단 측정장비 요소기술 개발