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평면 받침유닛(10)의 상단 전방에 이격 설치된 다수의 X축 가이드레일(21)을 따라 X축 방향으로 이동가능하게 설치되고, 상단에 다수의 제1 연결레일(23)이 이격 설치된 된 메인 스테이지(20)와;상기 평면 받침유닛(10)의 상단 후방에 설치된 베이스판(31)에 상기 X축 가이드레일(21)과 직교상태로 이격 설치된 다수의 제2 연결레일(33)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 다수의 로딩 스테이지(30)와;상기 로딩 스테이지(30)의 상단에 제2 연결레일(33)과 평행하게 이격 설치된 다수의 Y축 가이드레일(41)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 다수의 서브 스테이지(40)로 이루어진 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치
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평면 받침유닛(10)의 상단 전방에 이격 설치된 다수의 X축 가이드레일(21)을 따라 X축 방향으로 이동가능하게 설치되고, 상단에 다수의 제1 연결레일(23)이 이격 설치된 된 메인 스테이지(20)와;상기 평면 받침유닛(10)의 상단 후방에 설치된 베이스판(31)에 상기 X축 가이드레일(21)과 직교상태로 이격 설치된 다수의 제2 연결레일(33)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 다수의 서브 스테이지(40)로 이루어진 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치
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제 1항에 있어서,상기 로딩 스테이지(30)의 상부면 중앙에는 Y축 모터(63)의 작동에 따라 회전하는 볼스크류(62)가 설치되고, 상기 볼스크류(62)의 외측에는 서브 스테이지(40)의 저면에 부착된 이동블럭(64)이 나사결합 설치된 구성을 갖는 Y축 자동이동장치(60)가 추가로 구비된 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,메인 스테이지(20)는 리니어 모터(25)의 작동에 따라 X축 방향으로 자유롭게 이동하는 한편;상기 리니어 모터(25)는 메인 스테이지(20)의 저면에 부착되는 자석판(25a)과, 상기 자석판(25a)과 밀착된 상태로 평면 받침유닛(10)의 상단에 설치된 코일부(25b)로 이루어진 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,평면 받침유닛(10)은 베이스프레임(11) 및 상기 베이스프레임(11)의 상부에 안착되는 석정반(12)으로 이루어지며, 상기 석정반(12)의 상단에 X축 가이드레일(21) 및 베이스판(31)이 설치되는 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,메인 스테이지(20)의 전면에는 전자석 락(51)이 부착되고, 상기 전자석 락(51)의 자력에 의해 붙으면서 상기 메인 스테이지(20)의 상부에 로딩 되는 로딩 스테이지(30)의 고정상태를 유지하는 피자성체(51)가 상기 로딩 스테이지(30)의 전면에 설치된 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,제1 연결레일(23)은 선택적으로 상기 제2 연결레일(33)과 동일 선상에 위치하면서 상호 연계된 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치
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제 1항에 있어서,평면 받침유닛(10)의 저면에는 다수의 리니어 슬라이더(14)가 등간격으로 설치되고, 상기 리니어 슬라이더(14)는 고정레일(15)의 상단에 일체화 안착된 리니어 가이드(16)를 따라 Y축 방향으로 이동하면서 스테이지 이동제어장치(S)를 전체적으로 Y축 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치
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평면 받침유닛(10)의 상단 전방에 이격 설치된 다수의 X축 가이드레일(21)을 따라 X축 방향으로 이동가능하게 설치되고, 상단에 다수의 제1 연결레일(23)이 이격 설치된 된 메인 스테이지(20)와;상기 평면 받침유닛(10)의 상단 후방에 설치된 베이스판(31)에 상기 X축 가이드레일(21)과 직교상태로 이격 설치된 다수의 제2 연결레일(33)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 다수의 로딩 스테이지(30)와;상기 로딩 스테이지(30)의 상단에 제2 연결레일(33)과 평행하게 이격 설치된 다수의 Y축 가이드레일(41)을 따라 Y축 방향으로 이동가능하게 설치된 수평베이스(71)와;상기 수평베이스(71)의 상단에 직립 설치된 수직베이스(72)의 전면 양측에 이격 설치된 다수의 Z축 가이드레일(73)을 따라 Z축 방향으로 이동가능하게 설치된 서브 스테이지(70)와;상기 수직베이스(72)의 전면 중앙에 Z축 모터(81)의 작동에 따라 회전하는 볼스크류(82)가 설치되고, 상기 볼스크류(82)의 외측에는 서브 스테이지(70)의 후면에 부착된 이동블럭(84)이 나사결합 설치된 구성을 갖는 Z축 자동이동장치(80)로 이루어진 것을 특징으로 하는 방사선조사 스테이지 이동제어장치
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