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그래핀 식각장치 및 이를 이용한 식각방법

  • 기술번호 : KST2015179991
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 그래핀 식각장치가 개시된다. 이 그래핀 식각장치는 진공챔버; 상기 진공챔버 내부에 배치되고 그래핀 패턴 층이 안착되는 스테이지; 및 상기 그래핀 패턴 층에 전원을 인가하기 위한 전원공급부를 포함한다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01) B01J 19/24 (2006.01)
CPC B01J 19/2415(2013.01) B01J 19/2415(2013.01)
출원번호/일자 1020130113913 (2013.09.25)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1502556-0000 (2015.03.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150316) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.09.25)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 배명호 대한민국 대전 유성구
2 이태호 대한민국 경상남도 함양군
3 김남 대한민국 대전 유성구
4 하동한 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0869042-41
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.08.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2014-0074927-06
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0654231-79
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-1139453-94
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.11.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1139452-48
8 등록결정서
Decision to grant
2015.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0123247-23
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공챔버;반응가스가 상기 진공챔버 내부로 유입되는 통로를 제공하는 반응가스 유입구;상기 진공챔버 내부에 배치되고 그래핀 패턴 층이 안착되는 스테이지;상기 그래핀 패턴 층의 온도를 감지하는 그래핀 온도센서; 및 상기 그래핀 패턴 층에 전원을 인가하기 위한 전원공급부를 포함하고,상기 스테이지에 상기 그래핀 패턴 층이 안착된 상태에서 상기 전원공급부는 상기 그래핀 패턴 층에 전원을 인가하고, 상기 그래핀 온도센서가 일정한 온도 이상이면 상기 반응가스 유입구가 개방되어 상기 반응가스가 상기 진공챔버로 유입되는 그래핀 식각장치
2 2
제1항에 있어서,상기 반응가스는 산소와 암모니아의 혼합가스 또는 산소와 아르곤의 혼합가스이고,상기 일정한 온도는 섭씨 800도 이상인 그래핀 식각장치
3 3
20 내지 30nm의 폭을 가지는 그래핀 패턴 층을 형성하는 단계;상기 그래핀 패턴 층을 진공챔버의 스테이지에 안착시키는 단계;상기 스테이지에 안착된 상기 그래핀 패턴 층에 전원을 인가하는 단계; 및상기 그래핀 패턴 층의 온도가 일정한 온도 이상이면 상기 진공챔버 내부로 반응가스를 유입시키는 단계를 포함하는 그래핀 식각장치를 이용한 식각방법
4 4
제3항에 있어서,상기 일정한 온도는 섭씨 800도인 그래핀 식각장치를 이용한 식각방법
5 5
제3항에 있어서,상기 반응가스는 산소와 암모니아의 혼합가스 또는 산소와 아르곤의 혼합가스인 그래핀 식각장치를 이용한 식각방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 한국표준과학연구원 연구운영비 지원 나노기반 융합측정기술 개발
2 미래창조과학부 한국표준과학연구원 기반형 융합연구사업 NBIT 융합기반 유해물질 멀티모드 센싱시스템 개발