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전자총으로 샘플에 전자빔을 주사하여 샘플에서 방출된 광을 검출하는 광검출기에 있어서,샘플에서 방출된 상기 광이 투과되어 투과광을 방출하는 BaF2로 구성된 윈도우;상기 윈도우에서 방출된 상기 투과광이 입사되어 펄스형태의 2차 전자를 방출시키는 마이크로 채널판;상기 마이크로 채널판에서 방출된 펄스형태의 상기 2차 전자를 검출하는 검출수단; 및상기 투과광이 입사되는 상기 마이크로 채널판의 일측면에 구비되어 2차 전자의 방출을 유도하며, KBr로 구성된 코팅층을 포함하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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청구항 1에서,상기 코팅층은, 두께가 500Å~3500Å인 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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3
청구항 1에서,상기 마이크로 채널판에 전압을 인가하여 상기 2차 전자를 가속시키는 전압인가부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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청구항 3에서,상기 전압인가부에 의해 상기 마이크로 채널판에 인가되는 전압은 1700 ~ 2500V인 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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5
청구항 1에서,상기 마이크로 채널판에는 쉐브론 패턴이 구비된 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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청구항 1에서,상기 윈도우의 두께는 1
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7 |
7
청구항 1에서,중공관 형태로 내부에 상기 윈도우와 상기 마이크로 채널판을 구비하는 쉴드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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8
청구항 7에서,상기 쉴드의 재질은 비철금속으로 구성되고, 상기 쉴드의 두께는 0
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9
청구항 1에서,상기 광이 주사되는 상기 윈도우의 일측과 소정간격으로 이격되게 구비되어 상기 윈도우가 양극 또는 음극이 되지 않도록 주사되는 상기 광을 제어하는 그리드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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10
청구항 3에서,상기 검출수단과 연결되어 상기 전압인가부에 의해 인가되는 전압에 의해 가속된 상기 2차 전자가 증폭되어 펄스파 형태의 상기 2차 전자를 수렴시켜 방출하는 양극판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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11
청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항의 광검출기를 이용한 샘플분석시스템에 있어서,상기 광검출기에 포함된 검출수단과 연결되어 상기 검출수단에서 검출된 펄스파 형태의 2차 전자를 전송받아 샘플 정보를 분석하는 분석수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 이용한 샘플분석시스템
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12
청구항 11에서,상기 분석수단은 상기 2차 전자를 분석하여 샘플의 전자상태, 샘플의 오비탈 상태, 상기 샘플의 전자 점유 상태 및 샘플의 비전자 점유 상태 중 적어도 어느 하나의 정보를 얻는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 이용한 샘플분석시스템
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13
청구항 1 내지 청구항 10중 어느 한 항의 광검출기를 사용한 광검출방법에 있어서, 전자총에 의해 전자빔을 샘플에 주사하여 샘플에서 특정 광자 에너지를 갖는 광이 방출되는 단계;방출된 상기 광이 BaF2로 구성된 원도우에 투과되어 투과광이 방출되는 단계;상기 투과광이 마이크로 채널판에 입사되어 펄스파 형태의 2차 전자가 방출되는 단계; 및검출수단에서 의해 상기 2차 전자를 검출하는 단계;를 포함하고,상기 2차 전자 방출단계는,상기 마이크로 채널판의 일측면 구비된 KBr로 구성되는 코팅층에 의해 상기 2차 전자의 방출을 유도하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 사용한 광검출방법
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14
청구항 13에서,상기 2차 전자 방출단계는,전압인가부에 의해 상기 마이크로 채널판에 전압을 인가하여 상기 2차 전자를 가속시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 사용한 광검출방법
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청구항 13에서,상기 투과광 방출 단계 전에,상기 광이 주사되는 상기 윈도우의 일측면에 소정간격으로 이격되어 구비되는 그리드에 의해 상기 윈도우가 양극 또는 음극이 되지 않도록 상기 광을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 사용한 광검출방법
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청구항 14에서,상기 전압인가부에 의해 전압이 인가되어 가속된 상기 2차 전자가 양극판으로 증폭되어 펄스파 형태의 상기 2차 전자를 상기 검출수단에 전송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 사용한 광검출방법
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17
청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항의 광검출기를 사용한 광검출 방법에 있어서,전자총에 의해 전자빔을 샘플에 주사하여 샘플에서 특정 광자 에너지를 갖는 광이 방출되는 단계;방출된 상기 광이 BaF2로 구성된 원도우에 투과되어 투과광이 방출되는 단계;마이크로 채널판의 일측면 구비된 KBr로 구성되는 코팅층에 의해 상기 2차 전자의 방출을 유도하고, 상기 투과광이 마이크로 채널판에 입사되어 펄스파 형태의 2차 전자가 방출되는 단계;검출수단에서 의해 상기 2차 전자를 검출하는 단계; 및검출된 펄스파형 상기 2차 전자를 검출수단과 연결된 분석수단에서 분석하여 샘플에 대한 정보를 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광검출기를 사용한 광검출방법을 이용한 샘플분석방법
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