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일면에 초전도체 박막을 가지고 탄성을 제공하는 시험 질량 구조체;기판에 패터닝되고 상기 시험 질량체 구조체의 상기 일면에 대향하여 배치되고 상기 시험 질량체 구조체와 자기적으로 결합하는 측정용 초전도체 코일;상기 기판에 패터닝되고 상기 측정용 초전도체 코일에 연결된 초전도 1차 코일 및 상기 초전도 1차 코일과 자기 결합하는 초전도 2차 코일을 포함하는 변압기;상기 기판에 패터닝되고 상기 변압기의 초전도 2차 코일에 연결된 입력 코일; 및상기 기판에 패터닝되고 상기 입력 코일과 자기적 결합하는 SQUID를 포함하고,상기 측정용 초전도체 코일, 상기 변압기, 상기 입력 코일, 및 상기 SQUID는 일체형으로 상기 기판에 패터닝되는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 시험 질량 구조체는 중심축에서 반경 반향으로 진행함에 따라 적어도 하나의 슬릿을 포함하고,상기 슬릿은 일정한 폭을 가지고,상기 슬릿의 시작점과 슬릿의 끝 점 사이의 각도는 상기 시험 질량체의 중심을 기준으로 90도 이상인 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제2 항에 있어서,상기 시험 질량 구조체는 서로 90도 회전하여 배치된 제1 내지 제 4 슬릿을 포함하고,상기 제1 슬릿은:제1 사분면에 제1 반경을 가지고 방위각 방향으로 연장되는 제1 브랜치; 상기 제2 사분면에 제1 반경보다 큰 제2 반경을 가지고 방위각 방향으로 연장되는 제2 브랜치; 및상기 제1 브랜치의 일단과 상기 제2 브랜치의 일단을 연결하도록 반경 방향으로 연장되는 직선 브랜치를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제3 항에 있어서,상기 시험 질량 구조체는:상기 슬릿의 내측에 배치되는 시험 질량체;상기 상기 슬릿의 외측에 배치되는 지지부; 및상기 내측 영역과 상기 외측 영역 사이의 멤브레인 스프링(membrane spring)을 포함하고,상기 멤브레인 스프링의 두께는 상기 시험 질량체의 두께 및 상기 지지부의 두께보다 작고,상기 초전도 박막은 상기 시험 질량체의 하부면에 배치되는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제4 항에 있어서,상기 시험 질량체의 하부면은 함몰된 것을 특징으로 가속도 측정 장치
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제2 항에 있어서,상기 시험 질량체는 서로 90도 회전하여 배치된 제1 내지 제 4 슬릿을 포함하고,상기 제1 슬릿은:제1 사분면에 제1 반경을 가지고 방위각 방향으로 연장되는 제1 브랜치; 상기 제2 사분면에 제1 반경보다 큰 제2 반경을 가지고 방위각 방향으로 연장되는 제2 브랜치;상기 제1 사분면에 제2 반경보다 큰 제3 반경을 가지고 방위각 방향으로 연장되는 제3 브랜체; 및상기 제1 브랜치의 일단, 상기 제2 브랜치의 일단, 및 상기 제3 브랜치의 일단을 연결하도록 반경 방향으로 연장되는 직선 브랜치를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 기판의 하부면에 배치된 배면 초전도 박막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 측정용 초전도체 코일의 주위에 배치되는 가이드 링을 더 포함하고,상기 가이드 링은 상기 시험 질량체와 상기 측정용 초전도체 코일을 정렬시키는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 시험 질량 구조체는 멤브레인 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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하부면에 초전도 박막을 가지는 시험 질량체 및 상기 시험 질량체에 탄성을 제공하는 멤브레인 스프링(membrane spring)을 포함하고 일체형으로 형성된 시험 질량 구조체; 및측정용 초전도체 코일, 변압기, 입력 코일, 및 SQUID를 포함하고, 상기 시험 질량체와 상기 측정용 초전도체 코일 사이의 변위에 따른 영구 전류의 변화를 측정하는 초전도 SQUID 센서 모듈을 포함하고,상기 측정용 초전도체 코일, 변압기, 입력 코일, 및 SQUID은 일체형으로 기판에 패터닝되는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제 10 항에 있어서,상기 시험 질량 구조체와 상기 SQUID 센서 모듈을 수납하는 초전도 케이스;상기 초전도 케이스를 수납하고 헬륨 가스로 채워진 진공 캔;상기 진공 캔을 수납하는 내부는 진공으로 유지되는 외부 용기; 상기 초전도 케이스와 열 접촉하여 냉각하는 열전달 매체; 및상기 열전달 매체와 열접촉하고 상기 외부 용기의 외부에 배치된 극저온 냉동기; 중에서 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제 10 항에 있어서,상기 시험 질량 구조체와 상기 SQUID 센서 모듈을 수납하는 초전도 케이스;상기 초전도 케이스를 수납하고 헬륨 가스로 채워진 진공 캔;상기 진공 캔을 수납하고 냉매로 채워지는 내부 용기; 및상기 내부 용기를 수납하고 진공으로 유지되는 외부 용기; 중에서 적어도 하나를 더 를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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기판에 패터닝되고 외부의 측정체와 자기적으로 결합하는 측정용 초전도체 코일;상기 기판에 패터닝되고 상기 측정용 초전도체 코일에 연결된 초전도 1차 코일 및 상기 초전도 1차 코일과 자기 결합하는 초전도 2차 코일을 포함하는 변압기;상기 기판에 패터닝되고 상기 변압기의 초전도 2차 코일에 연결된 입력 코일; 및상기 기판에 패터닝되고 상기 입력 코일과 자기적 결합하는 SQUID를 포함하고,상기 측정용 초전도체 코일, 상기 변압기, 상기 입력 코일, 및 상기 SQUID는 일체형으로 상기 기판에 패터닝되는 것을 특징으로 하는 SQUID 센서 모듈
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제 13 항에 있어서,상기 초전도 1차 코일과 상기 측정용 초전도체 코일을 연결하는 배선 상에 배치된 영구 전류 주입 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 SQUID 센서 모듈
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제 13 항에 있어서,상기 초전도 1차 코일과 상기 측정용 초전도체 코일을 연결하는 배선 상에 배치된 제1 저항 패턴; 및상기 제1 저항 패턴 상에 형성된 제1 열-스위치 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 SQUID 센서 모듈
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제 13 항에 있어서,상기 초전도 2차 코일과 입력 코일을 연결하는 배선 상에 배치된 제2 저항 패턴; 및상기 제2 저항 패턴 상에 형성된 제2 열-스위치 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 SQUID 센서 모듈
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제 13 항에 있어서,상기 초전도 1차 코일과 측정용 초전도체 코일의 하부에 배치되고 비아를 통하여 연결되는 제1 배선; 상기 측정용 초전도체 코일과 상기 초전도 1차 코일을 연결하는 제2 배선;초전도 2차 코일과 입력 코일을 연결하는 제3 배선; 및초전도 2차 코일과 입력 코일을 비아를 통하여 연결하는 제4 배선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 SQUID 센서 모듈
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기판 상에 SQUID를 패터닝하는 단계;상기 기판 상에 상기 SQUID와 이격되어 배치되고 초전도체로 형성된 측정용 초전도체 코일을 패터닝하는 단계;상기 기판 상에 상기 측정용 초전도체 코일에 연결된 변압기의 초전도 1차 코일을 패터닝하는 단계; 상기 기판 상에 상기 초전도 1차 코일과 자기 결합하는 상기 변압기의 초전도 2차 코일을 패터닝하는 단계; 및상기 기판 상에 상기 SQUID와 자기 결합하고 상기 변압기의 초전도 2차 코일에 연결된 입력 코일을 패터닝하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 SQUID 센서의 제조 방법
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제 18 항에 있어서,상기 측정용 초전도체 코일과 상기 초전도 1차 코일은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 초전도 SQUID 센서의 제조 방법
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제 18 항에 있어서,상기 초전도 2차 코일과 상기 입력 코일은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 초전도 SQUID 센서의 제조 방법
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