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회전 엔코더 링(110) 및 적어도 두 쌍 이상의 판독 헤드(120)를 포함하여 이루어지는 회전 엔코더 장치(100)의 각변위(Φ) 측정에 대한 표준 불확도(ur(Φ))가 산출되어 상기 회전 엔코더 장치(100)가 교정되는 회전 엔코더 장치 교정 단계(S10)와,상기 회전 엔코더 장치 교정 단계(S10)를 수행하여 교정된 상기 회전 엔코더 장치(100)에 피교정 대상인 각가속도계(500)가 배치되는 단계(S21);회전 진동이 가해지는 단계(S22);상기 회전 엔코더 장치(100)로부터 각변위(ΦENC) 신호 및 상기 각가속도계(500)로부터 전압 출력 신호(V)가 출력되어 측정되는 단계(S23);상기 회전 엔코더 장치 교정 단계를 수행하여 산출된 상기 회전 엔코더 장치(100)의 각변위(Φ) 측정에 대한 표준 불확도(ur(Φ))를 사용하여 상기 각가속도계(500)가 교정되는 단계(S24);를 포함하여 이루어지는 각가속도계 비교 교정 단계(S20)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 엔코더를 이용한 회전 진동 교정 방법
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제 1항에 있어서, 상기 회전 엔코더 장치 교정 단계(S10)는,제1실시예(S10A)로서,피교정 대상이 놓여지는 회전축(210)에 회전 진동을 가하는 회전 가진기(220), 상기 회전축(210)에 수직한 평면 방향으로 펼쳐지는 형상으로 형성되어 상기 회전축(210)을 중심으로 회전되도록 형성되는 회전 진동 테이블(230), 상기 회전 진동 테이블(230) 상에 구비되는 앵글 프리즘(240), 상기 회전 진동 테이블(230)과 평행한 평면 형태로 형성되는 광학 테이블(250), 상기 광학 테이블(250) 상에 배치되어 상기 앵글 프리즘(240)을 향해 레이저 빔을 조사하는 레이저 헤드(260), 상기 레이저 헤드(260)로부터 조사되어 상기 앵글 프리즘(240)을 통과하여 온 레이저 빔을 반사시키는 미러(270), 상기 미러(270)에서 반사된 레이저 빔과 상기 레이저 헤드(260)로부터 조사되는 레이저 빔 간의 간섭을 측정하는 간섭계(280)를 포함하여 이루어지는 절대 교정 장치(200)에 피교정 대상인 각가속도계(500)가 배치되는 단계(S11A);상기 회전 진동 테이블(230) 상에 상기 회전축(210)이 중심축이 되도록 상기 회전 엔코더 링(110)이 배치되고, 상기 회전 엔코더 링(110)의 둘레에 적어도 두 쌍 이상의 상기 판독 헤드(120)가 배치되어, 상기 회전 엔코더 장치(100)가 상기 절대 교정 장치(200) 상에 설치되는 단계(S12A);상기 회전 가진기(220)에 의하여 상기 회전축(210)에 회전 진동이 가해지는 단계(S13A);상기 절대 교정 장치(200)로부터 기준 각변위(ΦREF) 신호, 상기 회전 엔코더 장치(100)로부터 각변위(ΦENC) 신호 및 상기 각가속도계(500)로부터 전압 출력 신호(V)가 출력되어 측정되는 단계(S14A);상기 기준 각변위(ΦREF) 신호 및 상기 각변위(ΦENC) 신호 간의 관계를 사용하여 상기 회전 엔코더 장치(100)의 각변위(Φ) 측정에 대한 표준 불확도(ur(Φ))가 산출되는 단계(S15A);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 엔코더를 이용한 회전 진동 교정 방법
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제 2항에 있어서, 상기 표준 불확도가 산출되는 단계는,상기 절대 교정 장치(200)로부터 측정되는 기준 각변위(ΦREF) 신호 및 상기 회전 엔코더 장치(100)로부터 측정되는 각변위(ΦENC) 신호는 하기의 관계식 1에 따른 관계가 이루어지며,관계식 1:(이 때, a는 상기 회전 엔코더 장치(100)의 이득율, b는 영점 각도 차이(b), τ는 시간 지연, n은 샘플 색인, △t는 샘플 측정 간격)관계식 2:상기 관계식 2에 따른 비용함수 J(τ)가 최소화되는 시간 지연(τ) 값을 산출하는 a 단계;상기 시간 지연(τ) 값만큼 보상된 기준 각변위(ΦREF) 신호 및 각변위(ΦENC) 신호에 최소제곱법을 이용하여 이득율(a) 및 영점 각도 차이(b)를 다시 산출하는 b 단계;상기 a 단계 및 상기 b 단계를 반복 수행하여 상기 이득율(a), 상기 영점 각도 차이(b), 상기 시간 지연(τ) 각각의 수렴값을 찾아내는 c 단계;상기 a, b, c 단계 이후에, 하기의 관계식 3에 의하여 상기 회전 엔코더 장치(100)의 각변위(Φ) 측정에 대한 표준 불확도(ur(Φ))가 산출되는 d 단계;관계식 3:(이 때, uAP는 상기 앵글 프리즘(240)의 교정 성적서 데이터의 선형 회귀 모델을 통해 평가된 표준 불확도, uEN은 하기의 식에 따른 선형 회귀 모델에 의해 정의된 상기 회전 엔코더 장치(100)의 표준 불확도, uQU는 상기 회전 엔코더 장치(100)의 분해능에 따라 결정되는 양자화 표준 불확도
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제 1항에 있어서, 상기 회전 엔코더 장치 교정 단계(S10)는,제2실시예(S10B)로서,상기 회전 엔코더 장치(100)의 제조 시 제공되는 교정 성적서에 기재된 오차 범위를 사용하여 상기 회전 엔코더 장치(100)의 각변위(Φ) 측정에 대한 표준 불확도(ur(Φ))가 산출되는 단계(S11B);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 엔코더를 이용한 회전 진동 교정 방법
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제 4항에 있어서, 상기 표준 불확도가 산출되는 단계는,하기의 관계식 4에 의하여 상기 표준 불확도가 산출되는 것을 특징으로 하는 회전 엔코더를 이용한 회전 진동 교정 방법
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