요약 |
본 발명은 검출한계를 개선한 가스크로마토그래프-질량분석기에 관한 것으로, 더 상세하게는 가스크로마토그래프부에서 시료가스에 전자충격을 가해 이온을 발생시키고, 이온을 질량분석부로 이송시키는 과정에서 이온화되지 않은 중성입자를 제거하여 사중극자 질량분석기에 이송함으로서 검출한계를 개선한 가스크로마토그래프-질량분석기에 관한 것이다.본 발명은 시료가스를 이온화시키고, 다극필터에 의해 불순물인 중성입자를 제거한 이온을 검출하는 가스크로마토그래프-질량분석기에 있어서, 이온원 관형몸통의 일단에 형성된 시료가스주입구와, 상기 시료가스주입구와 근접설치되고 열전자를 발생하도록 하여 유입된 시료가스와 열전자의 충돌로 이온이 형성되도록 하는 필라멘트와, 전장을 형성시키기 위한 양전극과, 발생된 이온을 추출하기위한 추출렌즈와, 추출된 이온을 집속시키기 위한 집속렌즈와, 집속된 이온빔으로부터 불순물인 중성입자를 제거하기 위한 다극필터가 동일축 상에 설치되도록 한다.상기한 구조를 갖는 가스크로마토그래프-질량분석기는 열전자와 중성입자 충돌에 의해 발생되는 이온의 이동경로를 동일축선 상에서 이루어지도록 하여 이온의 추출이 용이하게 이루어지도록하고, 집속된 이온빔에 포함되어 있는 불순물인 중성입자를 제거하기 위해 다중전극필터를 통해 전압 차에 의해 이온빔만 직각으로 꺾여 진행되도록 하여 검출기 노이즈와 사중극자 오염의 원인인 중성입자를 제거하고, 각 부의 외측으로는 관형의 자석을 장착해 열전자와 이온빔의 집속도를 향상시켜 사중극자 질량분석기로 전달되도록 함으로써 이온빔의 집속도 향상과 이온빔에 포함된 중성입자의 제거를 통해 분석의 검출한계는 낮추고 사중극자의 오염은 감소시키는 유용한 장치의 제공이 가능하게 된 것이다.가스크로마토그래프, 질량분석기, GC/MS, 다극필터, 관형자석
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