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계단형 모서리 조셉슨 접합의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015180029
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 계단형 모서리 조셉슨 접합의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 계단형 모서리 조셉슨 접합의 제조방법은 사파이어 기판 상에 금(Au)막을 형성하는 단계; 상기 금막 상에 제 1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 제 1 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 상기 금막 및 상기 사파이어 기판의 일부가 경사진 계단형상으로 되도록 식각하는 제 1 건식식각단계; 상기 제 1 포토레지스트 패턴과 금막을 제거하는 단계; 상기 계단형상을 갖는 사파이어 기판 상에 세륨옥사이드막을 형성하는 단계; 상기 세륨옥사이드막 상에 YBCO막을 형성하는 단계; 상기 YBCO막 상에 원하는 접합형상의 제 2 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 제 2 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 상기 YBCO막과 상기 세륨옥사이드막을 순차적으로 식각하는 제 2 건식식각단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.따라서, 재현성 있는 조셉슨 접합을 제조할 수 있고, 초전도 박막의 임계전류값과 정상저항값을 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다.조셉슨 접합, 계단형 모서리 조셉슨 접합, 초전도체, 임계전류, 조셉슨 소자
Int. CL H01L 39/24 (2006.01)
CPC H01L 39/2493(2013.01) H01L 39/2493(2013.01) H01L 39/2493(2013.01) H01L 39/2493(2013.01) H01L 39/2493(2013.01)
출원번호/일자 1019990033321 (1999.08.13)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0324461-0000 (2002.01.31)
공개번호/일자 10-2001-0017666 (2001.03.05) 문서열기
공고번호/일자 (20020227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.08.13)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임해용 대한민국 대구광역시 수성구
2 김인선 대한민국 대전광역시 유성구
3 김동호 대한민국 대구광역시 수성구
4 박용기 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박만순 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)
2 신동준 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1999.08.13 수리 (Accepted) 1-1-1999-0094976-16
2 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 1999.09.03 수리 (Accepted) 1-1-1999-0106490-55
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2001.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0131367-42
4 의견서
Written Opinion		 2001.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2001-5207862-38
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2001.07.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-0183153-95
6 등록결정서
Decision to grant		 2002.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0006618-43
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

고주파 스퍼터링(Radio Frequency Sputtering)방법으로 사파이어 기판 위에 100 Å 내지 300 Å 두께의 금(Au)막을 형성하는 단계;

상기 금막 위에 제 1포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;

상기 제 1포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 상기 금막 및 상기 사파이어 기판의 일부가 경사진 계단형상으로 되도록 포토레지스트 패턴의 그림자각으로 경사각을 조절하면서 식각하는 제 1 건식식각단계;

상기 제 1포토레지스트 패턴과 금막을 제거하는 단계;

상기 계단형상을 갖는 사파이어 기판 위에 세륨옥사이드막을 형성하는 단계;

상기 세륨옥사이드막 위에 YBCO막을 형성하는 단계;

상기 YBCO막 위에 원하는 접합형상의 제 2포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및

상기 제 2포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 상기 YBCO막과 상기 세륨옥사이드막의 순차적인 식각으로 YBCO막 패턴과 세륨 옥사이드막 패턴을 형성하는 제 2 건식식각단계;

를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 계단형 모서리 조셉슨 접합의 제조방법

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 금막을 제거한 후 상기 사파이어 기판은 0

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 제 2 건식식각단계 후 상기 사파이어 기판은 0

4 4

청구항4는 삭제 되었습니다

5 5

청구항5는 삭제 되었습니다

6 6

제 1 항에 있어서,

상기 제 1 및 제 2 포토레지스트 패턴은 아세톤으로 상기 금막은 요오드화 칼륨용액으로 제거함을 특징으로 하는 상기 계단형 모서리 조셉슨 접합의 제조방법

7 7

제 1 항에 있어서,

상기 제 1 건식식각단계는 상기 사파이어 기판에 형성되는 계단 높이가 1200 Å 내지 2000 Å이 되도록 식각하는 것을 특징으로 하는 상기 계단형 모서리 조셉슨 접합의 제조방법

8 8

제 7 항에 있어서,

상기 계단의 경사각은 25˚ 내지 50˚가 되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 상기 계단형 모서리 조셉슨 접합의 제조방법

9 9

제 1 항에 있어서,

상기 YBCO막은 상기 계단 높이와 YBCO막과의 두께비가 0

10 10

제 1 항에 있어서,

상기 세륨옥사이드막과 YBCO막은 펄스레이저증착법(Pulsed Laser Deposition)으로 인시튜(In-Situ)로 형성하는 것을 특징으로 하는 상기 계단형 모서리 조셉슨 접합의 제조방법

11 11

제 1 항에 있어서,

상기 세륨옥사이드막은 100 Å 내지 200 Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 상기 계단형 모서리 조셉슨 접합의 제조방법

12 12

제 1 항에 있어서,

상기 YBCO막은 1000 Å 내지 1800 Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 상기 계단형 모서리 조셉슨 접합의 제조방법

13 13

청구항13는 삭제 되었습니다

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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.