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내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10);상기 진공용기(10)의 외면에 밀착되어 상기 진공용기(10)의 내부로 초음파(62)를 발사하는 초음파 발사수단;상기 초음파 발사수단으로부터 발사된 초음파(62)가 상기 진공용기(10)에 충돌하여 반사된 반사파(64)를 수신하기 위한 초음파 수신수단;상기 초음파 수신수단으로부터 반사파(64)를 검출하는 반사파 검출수단; 및상기 반사파 검출수단으로부터 검출된 반사파(64)로부터 진폭을 분석하는 진폭 분석수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 초음파 발사수단과 상기 초음파 수신수단은 하나의 펄스-에코 타입 초음파 탐촉자(40)인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정장치
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제 2 항에 있어서, 상기 초음파 탐촉자(40)는 상기 진공용기(10)의 외벽에 밀착되거나 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 초음파 발사수단과 상기 초음파 수신수단 사이의 시간차에 기초하여 상기 초음파의 비행시간을 검출하는 시간 검출수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 진공용기(10)에는 저진공의 압력을 측정하기 위한 용량형 게이지(35)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정장치
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진공용기(10)의 내부에 소정 진공압력을 형성하는 단계(S10);상기 진공용기(10)의 외면에 초음파 탐촉자(40)를 밀착시켜 상기 진공용기(10)의 내부로 초음파(62)를 발사하는 단계(S20);상기 초음파 탐촉자(40)를 이용하여 상기 진공용기(10)에 반사되는 초음파를 수신하는 단계(S30);수신된 초음파로부터 반사된 반사파(64)를 검출하는 단계(S40);상기 검출된 반사파(64)의 진폭에 기초하여 상기 진공용기(10)의 압력을 산출하는 제 1 산출단계(S50);로 구성되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정방법
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제 6 항에 있어서, 상기 초음파 발사단계(S20)와 상기 초음파 수신단계(S30) 사이의 시간차에 기초하여 상기 초음파의 비행시간을 검출하는 단계(S60); 및상기 비행시간에 기초하여 상기 진공용기(10)의 압력을 산출하는 제 2 산출단계(S70);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정방법
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제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 진공용기(10) 내의 소정 진공압력은 1 Pa이하인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정방법
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제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 초음파 발사단계(S20)에서 발사되는 초음파(62)의 세기는 일정한 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정방법
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