요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약
본 발명은 회절격자 간격의 절대측정방법 및 그 장치에 관한 것이다.본 발명의 목적은 회절격자 간격을 측정하기 위한 종래 기술의 단점을 극복하고 나노미터 영역에 미터표준을 직접 소급시킬 수 있는 새로운 레이저 회절계를 이용한 방법을 제공하는 것이다.본 발명의 또 다른 목적은 회절격자 간격을 측정하기 위한 종래 기술의 단점을 극복하고 나노미터 영역에 미터표준을 직접 소급시킬 수 있는 새로운 레이저 회절계를 이용한 장치를 제공하는 것이다.본 발명의 방법은 회절격자 간격을 절대측정할 수 있도록 파장 인 안정화 레이저와 0차 및 1차 회절빔과 정밀 회전각도 측정기를 이용한 방법과; 안정화 레이저의 두 파장 1 과 2 및 1차 회절빔 그리고 정밀 회전각도 측정기를 이용한 방법으로 이루어진다.
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번호
이름
국적
주소
1
한국표준과학연구원
대한민국
대전 유성구
발명자
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번호
이름
국적
주소
1
윤태현
대한민국
대전광역시 유성구
2
엄천일
대한민국
대전광역시 서구
3
정명세
대한민국
대전광역시 유성구
대리인
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번호
이름
국적
주소
1
김경식
대한민국
서울특별시 서초구 서초대로 ***, *층 (서초동, 모인터빌딩)
최종권리자
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번호
이름
국적
주소
1
재단법인 한국표준과학연구원
대한민국
대전광역시 유성구
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번호
서류명
접수/발송일자
처리상태
접수/발송번호
1
특허출원서 Patent Application
1997.04.04
수리 (Accepted)
1-1-1997-0040822-15
2
대리인선임신고서 Notification of assignment of agent
1997.04.04
수리 (Accepted)
1-1-1997-0040823-61
3
출원심사청구서 Request for Examination
1997.04.04
수리 (Accepted)
1-1-1997-0040824-17
4
출원인정보변경 (경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1997.04.21
수리 (Accepted)
1-1-1997-0040825-52
5
명세서등보정서 Amendment to Description, etc.
1997.05.15
보정승인 (Acceptance of amendment)
1-1-1997-0040826-08
6
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.01.18
수리 (Accepted)
4-1-1999-0008522-00
7
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.02.25
수리 (Accepted)
4-1-1999-0038464-97
8
등록사정서 Decision to grant
1999.04.30
발송처리완료 (Completion of Transmission)
9-5-1999-0140196-70
9
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.05.20
수리 (Accepted)
4-1-1999-0073381-61
10
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2006.02.15
수리 (Accepted)
4-1-2006-5019752-35
11
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2014.01.09
수리 (Accepted)
4-1-2014-5004381-25
12
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2018.12.27
수리 (Accepted)
4-1-2018-5266640-72
13
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2018.12.27
수리 (Accepted)
4-1-2018-5266627-88
14
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2018.12.27
수리 (Accepted)
4-1-2018-5266645-00
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번호
청구항
1
1
회절격자 간격을 측정하는 방법에 있어서,
2
회절격자 간격을 측정하는 방법에 있어서,
3
회절격자 간격을 측정하는 장치에 있어서, 단일파장의 안정화 레이저빔을 발생시키는 안정화 레이저 발생장치(1)와 회절격자(12)를 리트만(Littman)형으로 배치한 회절격자(12)와 되반사 거울(15)에 의해 같은 광경로를 4번 지나가게 하고 회절된 0차 회절빔(14) 및 1차 회절빔(13)과, 이 빔들의 회전각도를 정밀 측정하는 정밀 회전각도 측정기(16)로 구성된 것을 특징으로 하는 회절격자 간격의 절대측정장치
4
4
회절격자 간격을 측정하는 장치에 있어서, 파장이 다른 두 개의 안정화 레이저빔(
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순번
패밀리번호
국가코드
국가명
종류
1
US05973786
US
미국
FAMILY
DOCDB 패밀리 정보
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순번
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국가명
종류
1
US5973786
US
미국
DOCDBFAMILY
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특허 등록번호
10-0212948-0000
권리란
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표시번호
사항
1
출원 연월일 : 19970404
출원 번호 : 1019970012550
공고 연월일 : 19990802
공고 번호 :
특허결정(심결)연월일 : 19990430
청구범위의 항수 : 4
유별 : G01B 11/14
발명의 명칭 : 회절격자 간격의 절대측정방법 및 그 장치
존속기간(예정)만료일 : 20050513
특허권자란
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