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내부가 진공으로 유지되며, 적외선 광이 진출입 되는 입사창과 출사창이 측벽에 동축 배치되는 반응기;상기 반응기의 상부면에 결합되며, 내부 공간부가 진공으로 유지되는 플라즈마 장치;상기 반응기와 플라즈마 장치 사이에 개재되며, 상기 플라즈마 장치와 마주보는 면을 분석대상 물질이 통과하는 크리스털;상기 크리스털이 중앙 부근에 결합되며, 일단은 상기 반응기의 상부면에 고정되어 주변 온도를 조절하는 크리스털 히팅 홀더;상기 크리스털 히팅 홀더와 결합되며, 상기 크리스털과 대응되는 위치에 요홈이 형성되는 홀더부재;상기 출사창에서 출력되는 적외선 빔을 검출하는 검출기; 및검출된 빔의 세기를 이용하여 시료의 정성 및 정량 분석을 수행하는 분석기;를 포함하며,상기 크리스털은,상기 플라즈마 장치와 마주보는 면의 표면에 분산 배치되는 나노 파티클을 포함하는 가스상태의 흡착종 분석장치
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제 1 항에 있어서, 상기 나노 파티클은,산화물, 질화물, 금속 중 어느 하나인 가스상태의 흡착종 분석장치
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제 1 항에 있어서, 상기 크리스털은,분석 대상물질이 통과하며, 상기 나노 파티클이 분산 배치되는 제 1 면;상기 제 1 면과 일정 거리 이격 되며, 상기 제 1 면과 평행한 제 2 면;적외선 빔이 입사하는 제 3 면; 및적외선 빔이 출사하는 제 4 면;을 포함하며,상기 제 1 면의 면적은 제 2 면의 면적보다 크게 형성되고, 상기 제 3 면과 제 4 면은 크리스털의 중심에 대해 서로 대칭인 가스상태의 흡착종 분석장치 및 이를 이용한 분석장치
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제 1 항에 있어서, 상기 크리스털은,게르마늄, 실리콘, AMTIR, ZnSe, 다이아몬드 재질 중 어느 하나인 가스상태의 흡착종 분석장치
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제 1 항에 있어서, 상기 홀더부재는,상기 플라즈마 장치와 맞물리는 면에 실링부재가 설치되는 가스상태의 흡착종 분석장치
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제 1 항에 있어서, 분석 대상물질의 이동 방향은 상기 크리스털에 입사 및 출사되는 적외선의 이동 방향과 평행한 가스상태의 흡착종 분석장치
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제 1 항에 있어서, 상기 나노 파티클은,상기 크리스털 표면에 최대한 분산 배치될 수 있도록 용제에 적정량 희석하여 분산 배치되는 가스상태의 흡착종 분석장치
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제 7 항에 있어서, 상기 용제는,탈 이온수 또는 에탄올 등 균일 분포를 향상시킬 수 있는 물질인 가스상태의 흡착종 분석장치
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제 1 항에 있어서, 상기 나노 파티클은,스프레이 법을 이용하여 상기 크리스털 표면에 얇고 균일하게 분포되는 가스상태의 흡착종 분석장치
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제 9 항에 있어서, 상기 용제물질은,상기 히팅 홀더에 의해 가열 건조되는 가스상태의 흡착종 분석장치
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