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탐침현미경, 이를 이용한 탐침현미경의 정렬방법, 기록매체 및 정렬 시스템

  • 기술번호 : KST2015180058
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 캔틸레버와 대물렌즈 사이에 반사판인 스크린을 삽입하여 광학빔을 대물렌즈로 직접 확인하는 방법으로 광학빔 정렬을 용이하게 하기 위한 탐침현미경, 이를 이용한 탐침현미경의 광학빔 정렬방법, 기록매체 및 탐침현미경의 광학빔 자동정렬 시스템에 관한 것이다. 이를 위하여 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나의 정밀한 측정을 위하여, 캔틸레버의 상부면 종단에 설정되고, 광학빔이 입사되는 목표위치; 목표위치가 포함된 캔틸레버를 확대하여 표시하는 확대수단; 확대수단에 의해 확대표시된 캔틸레버를 영상으로 표시하는 영상표시부; 및 캔틸레버의 연직상부에 구비되고, 광학빔의 반사광에 의해 광학빔의 입사위치가 영상표시부에 의해 영상으로 표시되도록 구성되는 스크린;을 포함하고, 스크린의 영상에 캔틸레버의 영상이 오버랩되도록 하고, 스크린에서 반사되는 광학빔의 반사광에 의한 입사위치을 이용하여, 광학빔을 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경이 제공될 수 있다. 이에 따르면, 캔틸레버의 상부면에 정밀한 광학빔을 정밀하게 정렬하여 탐침현미경의 정밀도를 향상시키고, 분석결과의 오차가 최소화되는 효과가 있다.
Int. CL G01Q 20/02 (2010.01) G01Q 10/00 (2010.01)
CPC G01Q 20/02(2013.01) G01Q 20/02(2013.01) G01Q 20/02(2013.01)
출원번호/일자 1020130139831 (2013.11.18)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1529607-0000 (2015.06.11)
공개번호/일자 10-2015-0058596 (2015.05.29) 문서열기
공고번호/일자 (20150619) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.11.18)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한철수 대한민국 경기도 수원시 팔달구
2 안상정 대한민국 대전 유성구
3 박창준 대한민국 세종 금남면
4 박병천 대한민국 대전 유성구
5 조복래 대한민국 대전광역시 유성구
6 박인용 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 아이퍼스 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-1046740-00
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-1094086-17
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0274634-16
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0066255-90
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0695032-95
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-1201962-11
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.12.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1201963-56
10 등록결정서
Decision to grant		 2015.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0261801-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
1 1
일단은 분석 대상인 샘플의 표면 특성과 연동되는 팁이 구비되고 상기 샘플의 원자와의 힘에 의해 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나가 변화하는 캔틸레버, 상기 캔틸레버에 입사되는 광학빔을 생성하는 광원, 및 상기 캔틸레버에 입사한 상기 광학빔의 반사광을 측정하여 상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나를 검출하기 위한 검출부를 포함하는 탐침현미경에 있어서,상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나의 정밀한 측정을 위하여, 상기 캔틸레버의 상부면 종단에 설정되고, 상기 광학빔이 입사되는 목표위치;상기 목표위치가 포함된 상기 캔틸레버를 확대하여 표시하는 확대수단; 및상기 캔틸레버의 연직상부에 구비되어 상기 광학빔을 상기 확대수단으로 반사시키고, 상기 광학빔의 반사광에 의한 상기 광학빔의 입사위치가 상기 확대수단에 의해 표시되도록 구성되는 스크린;을 포함하고,상기 스크린에서 반사되는 상기 광학빔의 반사광에 의한 상기 입사위치를 이용하여, 상기 광학빔을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경
2 2
제1항에 있어서,상기 확대수단에 의해 확대표시된 상기 캔틸레버의 영상을 취득하는 영상정보 취득장치; 및상기 영상정보 취득장치에 의해 취득된 상기 캔틸레버의 영상을 표시하는 영상표시부;를 더 포함하고,상기 스크린은, 상기 광학빔의 반사광에 의한 상기 광학빔의 입사위치가 상기 영상표시부에 의해 영상으로 표시되도록 구성되며,상기 스크린의 영상에 상기 캔틸레버의 영상이 오버랩되도록 하고, 상기 스크린에서 반사되는 상기 광학빔의 반사광에 의한 상기 입사위치을 이용하여, 상기 광학빔을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경
3 3
제1항에 있어서,상기 확대수단의 관측축과 상기 캔틸레버에 입사되는 상기 광학빔의 광축이 일치되는 것을 특징으로 하는 탐침현미경
4 4
제1항에 있어서,상기 광원의 위치 또는 방향을 조정하여, 상기 광학빔이 상기 캔틸레버에 입사되는 입사위치를 조정하는 광학빔 조절부;를 더 포함하고,상기 광학빔 조절부는, 구동모터를 더 포함하여, 상기 확대수단에 의해 표시되는 상기 목표위치와 상기 광학빔의 반사광의 위치를 기초로, 자동으로 상기 광학빔을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경
5 5
제1항에 있어서,상기 스크린은, 일측에 기설정된 넓이의 개구부가 구성되고,상기 확대수단에 의해 표시되는 영상에서, 상기 개구부 내에 표시되는 상기 목표위치 및 상기 스크린에서 반사되는 상기 광학빔의 반사광에 의한 상기 입사위치를 이용하여, 상기 광학빔을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경
6 6
제5항에 있어서,상기 스크린은, 상기 목표위치가 상기 개구부 내의 기설정된 위치에 위치되도록 삽입 또는 고정되고, 상기 스크린의 기설정된 위치에 설정되어, 상기 목표위치와 기설정된 위치로 구비되는 가목표위치;를 더 포함하며,상기 가목표위치와 상기 입사위치를 일치시키고, 상기 가목표위치와 상기 목표위치의 기설정된 위치를 기초로 상기 광학빔을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경
7 7
제5항에 있어서,상기 스크린에 구현되고, 직교좌표를 표시하는 눈금;을 더 포함하고,상기 눈금을 기초로 상기 광학빔을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경
8 8
제5항에 있어서,상기 확대수단에 의해 확대표시된 상기 캔틸레버의 영상을 취득하는 영상정보 취득장치; 및상기 영상정보 취득장치에 의해 취득된 상기 캔틸레버의 영상을 표시하는 영상표시부;를 더 포함하고,상기 스크린은, 상기 광학빔의 반사광에 의한 상기 광학빔의 입사위치가 상기 영상표시부에 의해 영상으로 표시되도록 구성되며, 상기 영상표시부에 의해 표시되는 상기 스크린의 영상에 직교좌표를 표시하는 눈금이 구현되고,상기 눈금을 기초로 상기 광학빔을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경
9 9
일단은 분석대상인 샘플의 표면 특성과 연동되는 팁이 구비되고 상기 샘플의 원자와의 힘에 의해 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나가 변화하는 캔틸레버, 상기 캔틸레버에 입사되는 광학빔을 생성하는 광원, 및 상기 캔틸레버에 입사한 상기 광학빔의 반사광을 측정하여 상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나를 검출하기 위한 검출부를 포함하는 탐침현미경의 광학빔 자동정렬 시스템에 있어서,상기 탐침현미경은, 상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나의 정밀한 측정을 위하여, 상기 캔틸레버의 상부면 종단에 설정되고, 상기 광학빔이 입사되는 목표위치;상기 목표위치가 포함된 상기 캔틸레버를 확대하여 표시하는 확대수단;상기 확대수단에 의해 확대표시된 상기 캔틸레버의 영상을 취득하는 영상정보 취득장치;상기 영상정보 취득장치에 의해 취득된 상기 캔틸레버의 영상을 표시하는 영상표시부;상기 캔틸레버의 연직상부에 구비되어 상기 광학빔을 상기 확대수단으로 반사시키고, 상기 광학빔의 반사광이 상기 영상표시부에 의해 영상으로 표시되도록 구성되는 스크린; 및상기 광학빔이 상기 캔틸레버에 입사되는 입사위치를 판명하는 위치판명부;를 포함하고,상기 위치판명부에 의해 판명되는 상기 입사위치 및 상기 목표위치를 토대로, 상기 광원 및 상기 캔틸레버 중 적어도 하나를 자동으로 제어하여, 상기 입사위치와 상기 목표위치가 서로 일치시키는 것을 특징으로 하는 탐침현미경 광학빔 자동정렬 시스템
10 10
제9항에 있어서,상기 스크린이 설치되기 전의 상기 목표위치의 영상을 저장하여, 상기 스크린이 설치된 후에 상기 영상표시부에 표시되는 상기 스크린의 영상에 상기 목표위치의 영상을 오버랩하도록 구성되는 영상처리부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경 광학빔 자동정렬 시스템
11 11
제9항에 있어서,상기 스크린은, 일측에 기설정된 넓이로 구성되는 개구부를 포함하고,상기 영상표시부에 의한 영상에서, 상기 개구부 내에 표시되는 상기 목표위치 및 상기 스크린에서 반사되는 상기 광학빔의 반사광에 의한 상기 입사위치를 이용하여, 상기 광학빔을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경 광학빔 자동정렬 시스템
12 12
제11항에 있어서,상기 스크린은, 상기 목표위치가 상기 개구부 내의 기설정된 위치에 위치되도록 삽입되고, 상기 스크린의 기설정된 위치에 설정되어, 상기 목표위치와 기설정된 위치로 구비되는 가목표위치;를 더 포함하며,상기 가목표위치와 상기 입사위치를 일치시키고, 상기 가목표위치와 상기 목표위치의 기설정된 위치를 기초로 상기 광학빔을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경 광학빔 자동정렬 시스템
13 13
제11항에 있어서,상기 스크린에 구현되거나 상기 스크린의 영상에 구현되고, 직교좌표를 표시하는 눈금;을 더 포함하고,상기 눈금을 기초로 상기 광학빔을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경 광학빔 자동정렬 시스템
14 14
일단은 분석대상인 샘플의 표면 특성과 연동되는 팁이 구비되고 상기 샘플의 원자와의 힘에 의해 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나가 변화하는 캔틸레버, 상기 캔틸레버에 입사되는 광학빔을 생성하는 광원, 및 상기 캔틸레버에 입사한 상기 광학빔의 반사광을 측정하여 상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나를 검출하기 위한 검출부를 포함하는 탐침현미경의 광학빔 정렬방법에 있어서,상기 탐침현미경은, 상기 광원 및 상기 캔틸레버 중 적어도 하나를 제어하는 제어부;상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나의 정밀한 측정을 위하여, 상기 캔틸레버의 상부면 종단에 설정되고, 상기 광학빔이 입사되는 목표위치;상기 목표위치가 포함된 상기 캔틸레버를 확대하여 표시하는 확대수단;상기 확대수단에 의해 확대표시된 상기 캔틸레버의 영상을 취득하는 영상정보 취득장치;상기 영상정보 취득장치에 의해 취득된 상기 캔틸레버의 영상을 표시하는 영상표시부;상기 캔틸레버의 연직상부에 구비되어 상기 광학빔을 상기 확대수단으로 반사시키고, 상기 광학빔의 반사광이 상기 영상표시부에 의해 영상으로 표시되도록 구성되는 스크린;상기 광학빔이 상기 캔틸레버에 입사되는 입사위치를 판명하는 위치판명부; 및상기 스크린이 설치되기 전의 상기 목표위치의 영상을 저장하여, 상기 스크린이 설치된 후에 상기 영상표시부에 표시되는 상기 스크린의 영상에 상기 목표위치의 영상을 오버랩하도록 구성되는 영상처리부;를 포함하고,상기 영상표시부가 상기 캔틸레버의 확대영상을 표시하고, 상기 영상처리부가 상기 캔틸레버의 확대영상을 저장하는 제1단계;상기 스크린을 상기 캔틸레버의 상단에 삽입하는 제2단계;상기 영상표시부가 상기 스크린의 영상을 표시하는 제3단계;상기 영상처리부가 상기 영상표시부에 표시된 상기 스크린의 영상에 저장된 상기 캔틸레버의 확대영상을 오버랩하는 제4단계;상기 위치판명부가 상기 입사위치를 판명하는 제5단계; 및상기 제어부가, 오버랩된 상기 캔틸레버의 확대영상을 토대로 상기 입사위치와 상기 목표위치가 일치되도록, 상기 광원 및 상기 캔틸레버 중 적어도 하나를 제어하는 제6단계;를 포함하는 탐침현미경의 광학빔 정렬방법
15 15
일단은 분석대상인 샘플의 표면 특성과 연동되는 팁이 구비되고 상기 샘플의 원자와의 힘에 의해 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나가 변화하는 캔틸레버, 상기 캔틸레버에 입사되는 광학빔을 생성하는 광원, 및 상기 캔틸레버에 입사한 상기 광학빔의 반사광을 측정하여 상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나를 검출하기 위한 검출부를 포함하는 탐침현미경의 광학빔 정렬방법에 있어서,상기 탐침현미경은, 상기 광원 및 상기 캔틸레버 중 적어도 하나를 제어하는 제어부;상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나의 정밀한 측정을 위하여, 상기 캔틸레버의 상부면 종단에 설정되고, 상기 광학빔이 입사되는 목표위치;상기 목표위치가 포함된 상기 캔틸레버를 확대하여 표시하는 확대수단;상기 확대수단에 의해 확대표시된 상기 캔틸레버의 영상을 취득하는 영상정보 취득장치;상기 영상정보 취득장치에 의해 취득된 상기 캔틸레버의 영상을 표시하는 영상표시부;상기 캔틸레버의 연직상부에 구비되어 상기 광학빔을 상기 확대수단으로 반사시키고, 일측에 기설정된 넓이로 구성되는 개구부를 포함하며, 상기 광학빔의 반사광이 상기 영상표시부에 의해 영상으로 표시되도록 구성되는 스크린;상기 광학빔이 상기 캔틸레버에 입사되는 입사위치를 판명하는 위치판명부;를 포함하고,상기 개구부가 상기 목표위치의 연직상방에 위치하도록 상기 스크린을 삽입 또는 고정하는 제1단계;상기 영상표시부가 상기 캔틸레버의 영상을 표시하는 제2단계;상기 위치판명부가 상기 입사위치를 판명하는 제3단계; 및상기 제어부가, 상기 입사위치를 토대로, 상기 입사위치와 상기 목표위치가 일치되도록, 상기 광원 및 상기 캔틸레버 중 적어도 하나를 제어하는 제4단계;를 포함하는 탐침현미경의 광학빔 정렬방법
16 16
제15항에 있어서,상기 탐침현미경은, 상기 스크린의 기설정된 위치에 설정되는 가목표위치;를 더 포함하고,상기 제1단계에서 상기 스크린은, 상기 목표위치가 상기 개구부 내의 기설정된 위치에 위치되도록 삽입 또는 고정되며,상기 제3단계 이후에, 상기 가목표위치와 상기 입사위치를 일치시키는 단계를 더 포함하며,상기 제4단계는, 상기 가목표위치와 상기 목표위치를 기초로 상기 입사위치을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경의 광학빔 정렬방법
17 17
제15항에 있어서,상기 탐침현미경은, 상기 스크린에 구현되거나 상기 스크린의 영상에 구현되고 직교좌표를 표시하는 눈금;을 더 포함하고,상기 눈금을 기초로 상기 광학빔을 상기 목표위치에 정렬하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경의 광학빔 정렬방법
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일단은 분석대상인 샘플의 표면 특성과 연동되는 팁이 구비되고 상기 샘플의 원자와의 힘에 의해 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나가 변화하는 캔틸레버, 상기 캔틸레버에 입사되는 광학빔을 생성하는 광원, 및 상기 캔틸레버에 입사한 상기 광학빔의 반사광을 측정하여 상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나를 검출하기 위한 검출부를 포함하는 탐침현미경의 광학빔 정렬방법이 저장된 기록매체에 있어서,상기 탐침현미경은, 상기 광원 및 상기 캔틸레버 중 적어도 하나를 제어하는 제어부;상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나의 정밀한 측정을 위하여, 상기 캔틸레버의 상부면 종단에 설정되고, 상기 광학빔이 입사되는 목표위치;상기 목표위치가 포함된 상기 캔틸레버를 확대하여 표시하는 확대수단;상기 확대수단에 의해 확대표시된 상기 캔틸레버의 영상을 취득하는 영상정보 취득장치;상기 영상정보 취득장치에 의해 취득된 상기 캔틸레버의 영상을 표시하는 영상표시부;상기 캔틸레버의 연직상부에 구비되어 상기 광학빔을 상기 확대수단으로 반사시키고, 상기 광학빔의 반사광이 상기 영상표시부에 의해 영상으로 표시되도록 구성되는 스크린;상기 광학빔이 상기 캔틸레버에 입사되는 입사위치를 판명하는 위치판명부; 및상기 스크린이 설치되기 전의 상기 목표위치의 영상을 저장하여, 상기 스크린이 설치된 후에 상기 영상표시부에 표시되는 상기 스크린의 영상에 상기 목표위치의 영상을 오버랩하도록 구성되는 영상처리부;를 포함하고,상기 영상표시부가 상기 캔틸레버의 확대영상을 표시하고, 상기 영상처리부가 상기 캔틸레버의 확대영상을 저장하는 제1단계;상기 스크린이 상기 캔틸레버 상단에 삽입된 후, 상기 영상표시부가 상기 스크린의 영상을 표시하는 제2단계;상기 영상처리부가 상기 영상표시부에 표시된 상기 스크린의 영상에 저장된 상기 캔틸레버의 확대영상을 오버랩하는 제3단계;상기 위치판명부가 상기 입사위치를 판명하는 제4단계; 및상기 제어부가, 오버랩된 상기 캔틸레버의 확대영상을 토대로 상기 입사위치와 상기 목표위치가 일치되도록, 상기 광원 및 상기 캔틸레버 중 적어도 하나를 제어하는 제5단계;를 실행하는 프로그램을 저장한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체
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일단은 분석대상인 샘플의 표면 특성과 연동되는 팁이 구비되고 상기 샘플의 원자와의 힘에 의해 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나가 변화하는 캔틸레버, 상기 캔틸레버에 입사되는 광학빔을 생성하는 광원, 및 상기 캔틸레버에 입사한 상기 광학빔의 반사광을 측정하여 상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나를 검출하기 위한 검출부를 포함하는 탐침현미경의 광학빔 정렬방법이 저장된 기록매체에 있어서,상기 탐침현미경은, 상기 광원 및 상기 캔틸레버 중 적어도 하나를 제어하는 제어부;상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나의 정밀한 측정을 위하여, 상기 캔틸레버의 상부면 종단에 설정되고, 상기 광학빔이 입사되는 목표위치;상기 목표위치가 포함된 상기 캔틸레버를 확대하여 표시하는 확대수단;상기 확대수단에 의해 확대표시된 상기 캔틸레버의 영상을 취득하는 영상정보 취득장치;상기 영상정보 취득장치에 의해 취득된 상기 캔틸레버의 영상을 표시하는 영상표시부;상기 캔틸레버의 연직상부에 구비되고, 일측에 기설정된 넓이로 구성되는 개구부를 포함하며, 상기 광학빔의 반사광이 상기 영상표시부에 의해 영상으로 표시되도록 구성되는 스크린; 및상기 광학빔이 상기 캔틸레버에 입사되는 입사위치를 판명하는 위치판명부;를 포함하고,상기 개구부가 상기 목표위치의 연직상방에 위치하도록 상기 스크린이 삽입 또는 고정된 후, 상기 영상표시부가 상기 캔틸레버의 영상을 표시하는 제1단계;상기 위치판명부가 상기 입사위치를 판명하는 제2단계; 및상기 제어부가, 상기 입사위치를 토대로, 상기 입사위치와 상기 목표위치가 일치되도록, 상기 광원 및 상기 캔틸레버 중 적어도 하나를 제어하는 제3단계;를 실행하는 프로그램을 저장한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체
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