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플라즈마가 생성되어 있으며 시료 용액을 이온화하는 플라즈마부, 상기 플라즈마부에서 이온화된 시료 이온빔에서 필요한 성분을 추출해내는 인터페이스, 상기 인터페이스를 통과한 시료 이온빔을 포커싱하는 이온 렌즈부, 상기 이온 렌즈부를 통과한 시료 이온 중 필요한 성분을 추출하는 사중극자부, 상기 사중극자부에서 추출된 시료 이온을 검출하는 이온 검출부를 포함하는 질량 분석기에 있어서, 상기 인터페이스는 상기 시료 이온빔을 단속하는 단속 수단을 포함함을 특징으로 하는 플라즈마 질량 분석기
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제1항에 있어서, 상기 이온 렌즈부 쪽의 상기 인터페이스는 오목부가 형성되어 있고, 상기 인터페이스에는 상기 플라즈마부를 통과한 이온빔이 상기 이온 렌즈부 쪽으로 이동하는 통로인 관통공의 출구가 상기 오목부에 형성되어 있고, 상기 단속 수단은 상기 오목부에 삽입되어 미끄러져 오르내릴 수 있으며 중앙에 구멍을 가진 차단판을 포함하며, 상기 인터페이스에 형성되어 있는 상기 관통공의 출구 둘레에는 이중으로 오링이 형성되어 있음을 특징으로 하는 플라즈마 분석기
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플라즈마가 생성되어 있으며 시료 용액을 이온화하는 플라즈마부, 상기 플라즈마부에서 이온화된 시료 이온빔에서 필요한 성분을 추출해내는 인터페이스, 상기 인터페이스를 통과한 시료 이온빔을 포커싱하는 이온 렌즈부, 상기 이온 렌즈부를 통과한 시료 이온 중 필요한 성분을 추출하는 사중극자부, 상기 사중극자부에서 추출된 시료 이온을 검출하는 이온 검출부를 포함하며, 상기 인터페이스는 몸체, 상기 플라즈마부로부터의 이온빔을 거르는 샘플러콘, 상기 샘플러콘을 지지하며 상기 몸체에 부착되는 샘플러콘 지지대, 상기 샘플러콘과 유사하게 가운데에 구멍이 나 있어 상기 샘플러콘을 통과한 이온을 다시 거르며 상기 몸체에 고정되어 있는 스키머콘을 포함하는 플라즈마 질량 분석기에 있어서, 상기 인터테이스의 몸체와 샘플러콘 지지대는 일체로 형성되어 있음을 특징으로 하는 플라즈마 질량 분석기
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제4항에 있어서, 상기 샘플러콘의 부착부는 상기 스키머콘의 부착부보다 커서 상기 스키머콘의 부착이 용이하도록 되어 있음을 특징으로 하는 플라즈마 질량 분석기
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플라즈마가 생성되어 있으며 시료 용액을 이온화하는 플라즈마부, 상기 플라즈마부에서 이온화된 시료 이온빔에서 필요한 성분을 추출해내는 인터페이스, 상기 인터페이스를 통과한 시료 이온빔을 포커싱하는 이온 렌즈부, 상기 이온 렌즈부를 통과한 시료 이온 중 필요한 성분을 추출하는 사중극자부, 상기 사중극자부에서 추출된 시료 이온을 검출하는 이온 검출부를 포함하며, 상기 이온 렌즈부 및 상기 사중극자부는 진공 체임버 속에 위치하고 있는 플라즈마 질량 분석기의 제조 방법에 있어서, 상기 진공 체임버는 알루미늄 기둥을 깎아 만듦을 특징으로 하는 플라즈마 질량 분석기의 제조방법
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플라즈마가 생성되어 있으며 시료 용액을 이온화하는 플라즈마부, 상기 플라즈마부에서 이온화된 시료 이온빔에서 필요한 성분을 추출해내는 인터페이스, 상기 인터페이스를 통과한 시료 이온빔을 포커싱하는 이온 렌즈부, 상기 이온 렌즈부를 통과한 시료 이온 중 필요한 성분을 추출하는 사중극자부, 상기 사중극자부에서 추출된 시료 이온을 검출하는 이온 검출부를 포함하며, 상기 플라즈마부는 세 개의 동심 튜브로 구성되는 토치, 상기 토치의 입구 부근에 감겨 있는 로드 코일, 상기 로드 코일에 RF 전류를 공급하는 RF 생성기를 포함하는 플라즈마 질량 분석기의 제조 방법에 있어서, 상기 로드 코일은 금도금한 구리 코일을 나선형의 홈이 파져 있는 막대에 홈을 따라 감음으로써 형성함을 특징으로 하는 플라즈마 질량 분석기의 제조방법
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