| 1 |
1
파장선택 및 출력경으로서의 평면회절격자(1), 출력광에서 선형편광을 얻으면서 반사경(3)을 방전관(2)과 분리하기 위하여 양쪽으로 브류스터 창(21)을 부착한 고주파 방전관(2), 기본 발진모드인 TEM0를 횡모드로 만들기 위하여 방전관(2)과 반사경(3) 사이에 설치되는 핀홀(22), 레이저 주파수를 변화시키기 위한 압전구동소자(31)를 뒷면에 부착한 전반사경(3)으로 구성된 공진기(100)와; 상기 고주파 방전관(2)에 고주파 방전을 위한 레이저 고주파 발생기(7)와; 이 고주파 발생기(7)와 레이저 공진기(100)의 사이에는 양쪽 장치 사이의 임피던스를 매칭시켜 고주파 에너지의 반사를 최소화하기 위해 설치되는 파이매칭회로(6)와; 압전구동소자(31)를 직접 구동할 수 있는 고전압 증폭기(42)와 참조 신호용 신호발생기(41)를 함께 가지고 있으며 주파수 안정을 위해 사용하는 록인안정기(4)와; 광전류 효과에 따라 입력되는 고주파 에너지의 변화를 측정하기 위하여 레이저 공진기(100)의 고주파 에너지 주입구에 연결되는 캐패시터(8)와; 이 캐패시터(8)를 통하여 유도되는 고주파 에너지의 일부를 통과시켜 고주파 신호를 제거하고 제거된 신호를 록인안정기(4)로 입력하는 검파기(5)로 구성되는 것을 특징으로 하는 광전류 효과를 이용한 고주파 여기식 레이저의 출력 및 주파수 안정화 장치
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 광전류 효과에 따라 입력되는 고주파 에너지의 변화를 측정하기 위하여 레이저 공진기의 고주파 에너지 입력선을 트로이덜 코어(9)를 통과하도록 하여 코일 양단간에 발생하는 고주파 성분을 검파기로 제거하여 광전류 효과를 측정하는 것을 특징으로 하는 광전류 효과를 이용한 고주파 여기식 레이저의 출력 및 주파수 안정화 장치
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서, 광전류 효과에 따라 입력되는 고주파 에너지의 변화를 측정하기 위하여 레이저 공진기의 고주파 에너지 입력선에 양방향 결합기(10)를 설치하여 입사되는 고주파 성분을 검파기로 제거하여 광전류 효과를 측정하는 것을 특징으로 하는 광전류 효과를 이용한 고주파 여기식 레이저의 출력 및 주파수 안정화 장치
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 광전류 효과에 따라 입력되는 고주파 에너지의 변화를 측정하기 위하여 레이저 공진기의 고주파 에너지 입력선에 양방향 결합기(10)를 설치하여 반사되는 고주파 성분을 검파기로 제거하여 광전류 효과를 측정하는 것을 특징으로 하는 광전류 효과를 이용한 고주파 여기식 레이저의 출력 및 주파수 안정화 장치
|
| 5 |
5
회절격자(1)를 움직여 임의의 발진선을 선택하고, 압전구동소자(31)에 정현파를 가함에 따라 압전구동소자(31)의 진동에 따라 변조되는 레이저의 출력변화는 광전류 효과로 인하여 방전관(2)의 임피던스를 변화시킴에 따라 방전관(2)으로 입사 또는 반사되는 고주파 에너지 값을 변화하며, 이 변화된 에너지 값을 레이저 공진기(100)의 고주파 에너지 주입구에 캐패시터(8)를 연결하여 측정한 다음, 이를 통하여 유도된 고주파 에너지를 검파기(5) 통과시켜 고주파 신호를 제거한 광전류 신호만을 구한 후, 록인안정기(4)를 사용하여 정현파를 기준으로 해서 검파하여 구한 광전류 신호를 동기 검파하여 이득곡선의 기울기에 비례하는 전압과 이득곡선의 꼭지점의 위치를 구한 다음, 동기검파된 신호를 적분한 뒤 DC전압으로 바뀌어 압전구동소자(31)에 다시 공급되고, 동기검파된 신호의 크기가 영이 될 때까지 레이저 공진기 길이를 계속 변화시켜 레이저가 이득곡선의 꼭지점에서 발진하도록 하여 공진기(100)의 길이는 일정하게 유지되도록 하는 것을 특징으로 하는 광전류 효과를 이용한 고주파 여기식 레이저의 출력 및 주파수 안정화 방법
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서, 광전류 효과에 따른 입력되는 고주파 에너지의 변화를 측정하기 위하여 트로이덜 코어(9)에 구리선을 감은 뒤 고주파 에너지 입력선을 트로이덜 코어(9)의 중앙을 통과시켜 코일 양단간에 발생하는 고주파 전원 검파기를 사용하여 고주파 성분을 제거하여 광전류 효과를 측정하는 것을 특징으로 하는 광전류 효과를 이용한 고주파 여기식 레이저의 출력 및 주파수 안정화 방법
|
| 7 |
7
제 5 항에 있어서, 광전류 효과에 따른 입력되는 고주파 에너지의 변화를 측정하기 위하여 양방향성 결합기(10)를 사용하여 입사되는 고주파 에너지의 일부(101)를 유도한 뒤, 이를 검파기를 사용하여 고주파 성분을 제거하면 광전류 효과를 측정하는 것을 특징으로 하는 광전류 효과를 이용한 고주파 여기식 레이저의 출력 및 주파수 안정화 방법
|
| 8 |
8
제 5 항에 있어서, 광전류 효과에 따른 입력되는 고주파 에너지의 변화를 측정하기 위하여 양방향성 결합기(10)를 사용하여 반사되는 고주파 에너지의 일부(102)를 유도한 뒤, 이를 검파기를 사용하여 고주파 성분을 제거하면 광전류 효과를 측정하는 것을 특징으로 하는 광전류 효과를 이용한 고주파 여기식 레이저의 출력 및 주파수 안정화 방법
|
