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다중 광로 레이저 광감쇠를 이용한 미세 입자의 밀도 측정시스템

  • 기술번호 : KST2015180078
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다중 광로 레이저 광감쇠(multi-pass laser light extinction)를 이용한 미세 입자의 밀도 측정 시스템에 대한 것으로서, 밀도 측정 대상인 미세 입자가 존재하는 챔버로 입사될 레이저 빔을 발생하기 위한 레이저빔 발생기구; 상기 레이저빔 발생기구로부터 방사된 레이저빔을 입사광과 투과광의 세기를 별개로 측정할 수 있도록 경로를 달리하는 두 개의 레이저빔으로 분리시키기 위한 빔 스플리터; 상기 빔 스플리터에서 분리된 하나의 경로의 레이저빔이 입사하여 투과광의 세기를 측정할 수 있도록 챔버 내부의 티끌 입자들을 투과하면서 다중 광로를 발생하는 다중 광로 발생기구; 상기 빔 스플리터에서 분리된 레이저빔으로부터 전기 신호를 검출하는 제1 검출기; 상기 다중 광로 발생기구에서 나온 레이저빔으로부터 전기신호를 검출하기 위한 제2 검출기; 상기 제1 및 제2 검출기에서 나온 전기 신호를 증폭하는 증폭수단; 및 인가된 전기 신호를 비교하여 두 증폭된 신호의 차이를 검출하고 이를 기초로 미세입자의 밀도를 계산하는 제어부를 구비하여 이루어진다.미세입자, 밀도, 증착, 반도체, 다중 광로, 램버트-비어식, 구면거울
Int. CL G01B 11/00 (2006.01) G01N 21/00 (2006.01)
CPC G01N 9/24(2013.01) G01N 9/24(2013.01) G01N 9/24(2013.01) G01N 9/24(2013.01)
출원번호/일자 1020060132329 (2006.12.22)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0867632-0000 (2008.11.03)
공개번호/일자 10-2008-0058543 (2008.06.26) 문서열기
공고번호/일자 (20081110) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.22)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최원호 대한민국 대전 유성구
2 선창래 대한민국 전남 고흥군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김문종 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)
2 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-0952575-58
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.06.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0042796-85
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0095699-13
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.04.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0296841-68
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0296842-14
7 등록결정서
Decision to grant		 2008.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0442900-47
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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밀도 측정 대상인 미세 입자가 존재하는 챔버로 입사될 레이저 빔을 발생하기 위한 레이저빔 발생기구(10);상기 레이저빔 발생기구로부터 방사된 레이저빔을 입사광과 투과광의 세기를 별개로 측정할 수 있도록 경로를 달리하는 두 개의 레이저빔으로 분리시키기 위한 빔 스플리터(40); 상기 빔 스플리터에서 분리된 하나의 경로의 레이저빔이 입사하여 투과광의 세기를 측정할 수 있도록 챔버 내부의 미세 먼지 입자들을 투과하면서 다중 광로를 발생하는 플라즈마 챔버(60)에 내장되고, 각각 레이저빔의 입구 및 출구 구멍이 형성되며 대면하도록 소정 거리 이격되어 배치되는 구면거울(210, 220)을 구비한 다중 광로 발생기구(200);상기 빔 스플리터에서 분리된 레이저빔으로부터 전기 신호를 검출하는 제1 검출기(50a);상기 다중광로 발생기구(200)에서 나온 레이저빔으로부터 전기신호를 검출하기 위한 제2 검출기(50b);상기 검출기들(50a, 50b)에서 나온 전류신호를 전압신호로 변환하면서 이득이 조정되는 연산증폭기인 제1 증폭수단(70);상기 제1 증폭수단(70)으로부터 나온 전압신호를 회복하고 원하는 신호만을 얻는 LIA인 제2 증폭수단(80); 및상기 증폭수단으로부터 인가된 전기신호를 비교하여 두 신호의 차이를 검출하고 이를 기초로 미세입자의 밀도를 계산하는 제어부(100)를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다중 광로 레이저 광감쇠를 이용한 미세 입자의 밀도 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 레이저빔 발생기구(10)는 HeNe 레이저를 포함하는 저전력 레이저를 발생하는 것을 특징으로 하는 다중 광로 레이저 광감쇠를 이용한 미세 입자의 밀도 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 검출기로는 광전 다이오드, 광증배관, 혹은 CCD를 사용하는 것을 특징으로 하는 다중 광로 레이저 광감쇠를 이용한 미세 입자의 밀도 측정 시스템
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.