기준 커패시터(Cr)의 정전용량에 비례하고 정전용량형 센서(CX)의 정전용량에 반비례하는 전압(B(Cr/CX+CS))을 출력하는 반전 연산증폭수단;

상기 반전 연산증폭수단의 출력전압(B(Cr/CX+CS))을 DC화하여 DC전압(D/(CX+CS))으로 변환하는 디모듈레이터;

상기 디모듈레이터의 출력전압(D/(CX+CS))으로부터 정전 용량형 센서(CX)의 정전용량과 표유 정전용량(CS)을 가산한 정전용량에 비례하는 전압(ACX+ACS)을 구하는 제1디바이더;

상기 제1디바이더의 전압(ACX+ACS)에 신호(-ACS)를 가산하여 표유 정전용량(CS)에 비례하는 신호를 제거한 후 정전용량형 센서(CX)의 정전용량에 비례하는 신호(ACX)만을 출력하는 가산기;

상기 가산기의 출력신호(ACX)를 거리의 1차항에 선형 비례하는 출력전압(XP)으로 변환하는 제2디바이더;

가 구비되는 것을 특징으로 하는 미세 거리/위치 측정용 정전 용량형 센서 콘트롤러의 비선형성 보정장치