헤테로다인 레이저 간섭계에 있어서, 3개 종모드로 발진하도록 된 레이저 발진 수단(1); 상기 레이저 발진 수단(1)으로부터 나오는 광을 투과광과 반사광으로 분리하여 반사광인 제1광속을 기준 광속으로 하여 기준 제1 광검출기(8)로 향하게 하고 투과광인 제2 광속은 비교 광속으로 하여 편광속 분할기(3)로 진행토록 하는 광속 분할기(2); 상기 기준 광속에 대해 3개 모드 주파수 사이의 기준 2차 맥놀이 주파수를 검출하기 위한 기준 제1 광검출기(8); 상기 2차 맥놀이 주파수 신호를 증폭하기 위한 제1 증폭기(10); 상기 증폭기의 출력 신호중 일정 대역의 신호만을 선택하기 위한 제1 대역통과 필터(12); 상기 비교 광속을 입력 받아 편광 방향에 따라 두가지 스펙트럼으로 분리하여 분리된 제1 스펙트럼 및 제2 스펙트럼을 각각 제1 코너 큐브 프리즘(4) 및 이동가능 제2 코너 큐브 프리즘(5)으로 향하게 하는 편광 광속 분할기(3); 상기 편광 광속 분할기(3)로부터 상기 제1 및 제2 스펙트럼을 입력받아 되돌이 반사시켜 상기 편광 광속 분할기로 재입력시키는 상기 제1 및 제2 코너 큐브 프리즘(4, 5); 상기 편광 광속 분할기에서 다시 합성되어 나오는 제1 및 제2 스펙트럼의 2차 맥놀이 주파수 신호를 검출하기 위한 제2 광검출기(9); 상기 제2 광검출기(9)의 출력측에 순차적으로 연결되며 상기 제1 증폭기(10) 및 제1 대역통과 필터(12)와 동일한 기능을 행하는 제2 증폭기(11) 및 제2 대역통과 필터(13); 상기 제1 대역통과 필터(12) 및 제2 대역통과 필터(13)의 출력 신호를 입력받아 주파수 계수를 행하는 2채널 계수기(14); 및 상기 2채널 계수기에서 계수한 값을 입력받아 상기 이동가능 제2 코너 큐브 프리즘(5)의 이동거리를 환산하고 공기 굴절율 보정 등을 수행하여 실제 이동거리를 환산하고 이동거리를 수치로 표시하는 이동길이 표시장치(15); 로 이루어지는 3주파수 헤테로다인 레이저 간섭계

제1항에 있어서, 상기 레이저 발진 수단(1)이 3주파수 헬륨-네온(He-Ne)레이저를 발진하도록 된 것을 특징으로 하는 상기 3주파수 헤테로다인 레이저 간섭계

제1항에 있어서, 상기 레이저 발진 수단(1)이 1 또는 2의 주파수로 발진되는 복수개의 레이저의 발진기들로 구성되어 전체적으로 3주파수를 이루도록 된 것을 특징으로 하는 상기 3주파수 헤테로다인 레이저 간섭계

제1항에 있어서, 상기 광속 분할기(2)와 제1 광검출기(8) 사이 및 상기 편광 광속 분할기(3)와 상기 제2 광검출기(9) 사이에 2차 맥놀이 신호 검출감도를 높이기 위해 제1 편광판(6) 및 제2 편광판(7)을 설치하는 것을 특징으로 하는 상기 3주파수 헤테로다인 레이저 간섭계

제1항의 3주파수 헤테로다인 레이저 간섭계를 이용하여, 3개 주파수로 발진되는 발진 수단(1)에 의해 인접하는 모드의 편광 방향이 다른 3개 주파수 광속을 발진시키고 상기 이동가능 제2 코너 큐브 프리즘을 측정할 거리 만큼 소정의 속도로 이동시키면서 주파수에 있어서의 도플러 편이를 발생시키고 상기 도플러 편이가 생긴 비교 광속의 2차 맥놀이 주파수 계수값과 기준 광속의 주파수 계수값의 차이를 2채널 계수기(14)에 의해 산출함으로써 일련의 연산식에 의해 상기 제2 코너 큐브 프리즘의 이동길이가 상기 길이 표시장치(15)에 표시되는 방식으로 길이 측정의 분해능이 2배로 향상되도록 한 3주파수 헤테로다인 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 방법

제5항에 이어서, 상기 발진 수단(1)으로부터 발생되는 상기 3주파수 레이저 광속이 3개 종모드로 발진하는 He-Ne 레이저로 3개 종모드들이 각각 수평편광(∥), 수직편광(┻), 수평편광(∥)이거나 수직(┻)편광, 수평편광(|), 수직편광(┻) 순으로 배열되는 것을 특징으로 하는 상기 3주파수 헤테로다인 레이저 간섭계를 이용한 길이 측정 방법