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성분가스가 공급되는 성분가스 공급라인(100);
희석가스가 공급되는 희석가스 공급라인(200);
상기 성분가스 공급라인(100) 상에 설치되어 성분가스의 유량을 조절하는 제 1 유량조절기(MFC 1)(110);
상기 희석가스 공급라인(200) 상에 설치되어 희석가스의 유량을 조절하는 제 2 유량조절기(MFC 2)(210);
상기 희석가스 공급라인(200) 상의 상기 제 2 유량조절기(210) 후단에 설치되어 희석가스를 가열하는 가열기(Heating oven)(300);
상기 가열기(300)의 후방에 설치되고, 가열된 희석가스를 공급받아, 포화된 희석가스가 되도록 가습하는 가습부(Humidifier part)(500);
상기 성분가스 공급라인(100)의 끝단과 상기 가습부(500)의 후방이 만나는 지점의 후단에 설치되어 혼합가스에 포함된 물방울을 제거하는 수분제거기(700); 및
상기 제 1, 2 유량조절기(110, 210), 상기 가열기(300) 및 상기 가습부(500)의 작동을 제어하는 제어부(800);
를 포함하되,
상기 가열기(300)는 공급된 희석가스가 지나는 경로를 작은 나선과 큰 나선을 포함하는 2개의 병렬 나선 구조로 형성하여, 희석가스를 90∼110℃까지 가열할 수 있는 것을 특징으로 하는 가스의 유량-온도-습도 조절장치
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제 1항에 있어서,
상기 가스의 유량-온도-습도 조절장치는
상기 가열기(300) 후방에 설치되어 상기 가열기(300)에 의해 가열된 희석가스를 공급하는 제 1 솔레노이드 밸브(400); 및
상기 제 1 솔레노이드 밸브(400)의 후방에 설치되고, 상기 성분가스 공급라인(200)과 연결되어 개폐에 의해, 가열된 희석가스를 성분가스 공급라인(200)으로 공급하도록 하는 합류라인(410);
을 포함하고, 상기 제 1 솔레노이드 밸브(400)의 개폐는 상기 제어부(800)에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 가스의 유량-온도-습도 조절장치
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제 2항에 있어서,
상기 가스의 유량-온도-습도 조절장치는
상기 성분가스 공급라인(200)의 끝단과 상기 가습부(500)의 후방이 만나는 지점에 설치되고, 상기 성분가스 공급라인(200)을 통해 공급된 성분가스와 상기 합류라인(410)으로부터 공급된 희석가스 또는, 상기 가습부(500)에 의해 습도가 조절된 희석가스를 혼합되도록 하여 혼합가스를 공급하는 제 2 솔레노이드 밸브(600);
를 포함하고, 상기 제 2 솔레노이드 밸브(600)의 개폐는 상기 제어부(800)에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 가스의 유량-온도-습도 조절장치
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제 1항에 있어서,
상기 가스의 유량-온도-습도 조절장치는
상기 수분제거기(700)에 장착되며, 공급된 혼합가스의 온도와 습도를 체크하기 위한 온도습도센서(710);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스의 유량-온도-습도 조절장치
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제 1항에 있어서,
상기 가습부(500)는 수분으로 인해 희석 가스의 온도가 떨어지는 것을 방지하기 위한 온도유지히터(510);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스의 유량-온도-습도 조절장치
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가습부(500)는 상기 희석가스 공급라인(200) 상에 직렬로 이웃하여 추가될 수 있는 것을 특징으로 하는 가스의 유량-온도-습도 조절장치
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