| 요약 |
본 발명의 제조 과정이 단순하며 대면적 패턴을 용이하게 할 수 있는 기판 결함 검출용 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 장치 및 그를 이용한 제조 방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 기판 결함 검출용 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 장치는, 기판의 내부 결함 검출에 이용되는 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 장치에 있어서, 광차단막을 가지는 기판이 안착되는 기판스테이지와, 상기 기판 상의 광차단막에 레이저를 공급하는 레이저 광원과, 상기 레이저 광원으로부터의 광을 안정화하는 레이저 파워 컨트롤러와, 상기 레이저 파워 컨트롤러로부터 출사된 레이저를 단속하는 셔터와, 상기 셔터를 통과한 광을 전달하는 광파이버와, 상기 광파이버를 통해 전달된 광을 외부로 전달하는 가공 헤드;상기 가공 헤드를 직교 좌표 방향으로 이동시키는 X-스테이지와, 상기 가공 헤드 하단부에 구비되는 대물렌즈 및, 상기 대물렌즈와 상기 광차단막 사이의 간격 조절을 하는 자동초점조절장치를 포함한다. 또한, 이를 위한 본 발명의 기판 결함 검출용 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 방법은, 실리콘 기판의 내부 결함 검출에 이용되는 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 방법에 있어서, 실리콘 기판 상에 실리콘 산화막을 형성하는 단계와, 상기 실리콘 산화막 상에 광차단막을 형성하는 단계와, 상기 광차단막에 직접 레이저 묘화 방식으로 광을 조사하여 광차단막의 물성을 변화시키는 단계와, 상기 광 조사에 의해 물성 변화가 발생한 광차단막에 대한 식각 공정을 진행하여 광에 노출되지 않은 광차단막을 제거하는 단계를 포함한다. 직접 레이저 묘화, 기판, 실리콘, 광차단막, 식각액
|
