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물질상태변이 유발을 통한 레이저 가공방법 및 가공장치

  • 기술번호 : KST2015180108
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기존의 뛰어난 가공 정밀도를 갖고 있는 펨토초 및 피코초등 초고속 레이저 초미세 공정 기술의 단점이었던 공정의 속도를 획기적으로 증가시키는 기술에 관한 것으로 본 발명에 의한 물질상태변이 유발을 통한 레이저 가공방법은 펄스의 폭이 피코초 이하인 초고속 레이저 빔 및 초고속 레이저 이외의 하나이상의 보조레이저의 빔을 이용하여 가공하되, 보조레이저 빔 단독으로는 공정대상 물질의 상태가 원래상태로 되돌아오는 가역적으로 변화시키며, 보조레이저 빔과 초고속 레이저의 빔이 시간상 및 공간상으로 동기화 되었을 경우에는 비가역적으로 물질의 상태를 변화시키는 것을 특징으로 한다. 아울러, 본 발명에 의한 물질상태변이 유발을 통한 레이저 가공장치는 펄스폭이 피코초 이하의 초고속 레이저 발진기와, 시간에 따른 레이저빔의 펄스를 변화시키는 동기화 전자장치를 구비한 보조 레이저 발진기와, 상기 초고속 레이저 발진기에서 발생된 초고속 레이저빔과 시간에 따른 동기화된 보조 레이저빔의 초점을 공간적으로 동기화시켜 집속하는 집속광학계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 이에 따라 본 발명은 나노초 레이저 등 기존의 상용화된 레이저와 초고속 레이저를 이용하여 공정 대상 물질의 내부 온도 등 물리적인 상태를 국소적, 과도기적으로 변화시키되, 상기 상태변화를 가역적으로 유발하고 시간-공간상으로 동기화를 함으로써 상대적으로 적은 량의 초고속 레이저 에너지를 이용하여 종래의 초고속 레이저 미세가공기술이 가지고 있는 가공속도의 한계를 극복하여 그 공정 속도를 획기적으로 증가시킬 수 있으며, 초고속 레이저 공정상 물질의 공정 표면에 발생하는 수십에서 수백 나노미터의 초미세 구조체들이 동기화 된 나노초 레이저 등에 의하여 획기적으로 감소할 수 있음으로써 표면의 거칠기를 획기적으로 감소할 수 있게 된다. 초고속 레이저 미세가공, 공정속도, 하이브리드 공정
Int. CL B23K 26/34 (2014.01) H01S 3/10 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020060020143 (2006.03.02)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0795526-0000 (2008.01.10)
공개번호/일자 10-2007-0090434 (2007.09.06) 문서열기
공고번호/일자 (20080116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.03.02)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정세채 대한민국 대전 유성구
2 양지상 대한민국 대전 유성구
3 전병혁 대한민국 대전 서구
4 최재혁 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2006-0152937-30
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2006.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2006-0157193-39
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0157480-19
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0384165-64
5 의견서
Written Opinion
2007.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2007-0384130-77
6 의견서
Written Opinion
2007.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2007-0385330-70
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.05.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0385331-15
8 보정요구서
Request for Amendment
2007.06.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2007-0074460-84
9 서지사항보정서(납부자번호)
Amendment to Bibliographic items(Payer Number)
2007.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0408955-79
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2007.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0484812-66
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2007-0684695-09
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.09.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2007-0684720-53
13 등록결정서
Decision to grant
2008.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0003755-93
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
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번호 청구항
1 1
펄스의 폭이 피코초 이하인 초고속 레이저 빔 및 초고속 레이저 이외의 하나이상의 보조레이저의 빔을 이용하여 가공하되, 보조레이저 빔 단독으로는 공정대상 물질의 상태가 원래상태로 되돌아오는 가역적으로 변화시키며, 보조레이저 빔과 초고속 레이저의 빔이 시간상 및 공간상으로 동기화 되었을 경우에는 비가역적으로 물질의 상태를 변화시키는 것을 특징으로 하는 물질상태변이 유발을 통한 초고속 레이저 가공방법
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 보조레이저빔의 펄스는 시간에 따라 변화되도록 제어되는 것을 특징으로 하는 물질상태변이 유발을 통한 레이저 가공방법
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 시간상 동기화는 보조 레이저의 빔의 파장을 초고속 레이저빔의 펄스와 보조레이저빔의 고유 펄스 사이에 상대적인 시간상의 위치가 제어되며, 상기 공간상 동기화는 상기 시간상 동기화와 동시에 초고속 레이저빔과 보조레이저빔의 초점을 공간상에 일치시키는 것을 특징으로 하는 물질상태변이 유발을 통한 레이저 가공방법
5 5
삭제
6 6
제 4 항에 있어서, 상기 보조레이저빔의 펄스의 폭은 초고속 레이저 펄스보다 긴 것을 특징으로 하는 물질상태변이 유발을 통한 레이저 가공방법
7 7
제 1 항, 제 3 항, 제 4 항 및 제 6 항에서 선택되는 어느 한 항에 있어서, 상기 물질상태변이 유발을 통한 레이저 가공방법은 커팅, 드릴링, 스크라이빙, 다이싱으로부터 선택되는 어느 하나의 반도체 제조공정에 이용되는 것을 특징으로 하는 물질상태변이 유발을 통한 레이저 가공방법
8 8
펄스폭이 피코초 이하의 초고속 레이저 발진기와, 시간에 따른 레이저빔의 펄스를 변화시키는 동기화 전자장치를 구비한 보조 레이저 발진기와, 상기 초고속 레이저 발진기에서 발생된 초고속 레이저빔과 시간에 따른 동기화된 보조 레이저빔의 초점을 공간적으로 동기화시켜 집속하는 집속광학계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 집속광학계는 집속되는 초고속 레이저빔의 내부에 보조 레이저빔이 집속되도록 하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
10 10
제 8 항에 있어서, 상기 집속광학계는 집속되는 초고속 레이저빔의 외부에 보조 레이저빔이 집속되도록 하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
11 11
제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,상기 초고속 레이저 발진기와 집속광학계 사이에는 반파장판을 스텝모터를 사용하여 각도조절함으로써 편광빔 분할기를 통과한 각 포트의 광전력을 일정하게 하는 편광조절기가 더 구비된 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN101415519 CN 중국 FAMILY
2 EP01989017 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP21528170 JP 일본 FAMILY
4 US20100032416 US 미국 FAMILY
5 WO2007100176 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN101415519 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN101415519 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 EP1989017 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 EP1989017 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
5 JP2009528170 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 JP2009528170 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 JP2009528170 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 RU2008138865 RU 러시아 DOCDBFAMILY
9 RU2401185 RU 러시아 DOCDBFAMILY
10 US2010032416 US 미국 DOCDBFAMILY
11 WO2007100176 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.