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나노입자 검출 센서에 있어서,
나노 갭을 갖도록 이격되어 형성된 한 쌍의 전극을 단위 전극으로 하여, 전기적으로 서로 독립되게 작동하는 다수개의 상기 단위 전극으로 구성된 단위 유닛을 포함하고,
상기 단위 유닛을 구성하는 모든 단위 전극에서 각각 하나씩 선택된 전극은 단일한 금속선에 연결되며,
상기 단위 유닛을 구성하는 단위 전극의 전기적 변화를 측정하여 상기 나노 갭에 포착된 나노입자에 의해 전기적 변화된 상기 단위 전극의 수로부터 나노입자를 분석하는 것을 특징으로 하는 나노입자 검출센서
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제 1항에 있어서,
상기 나노 갭의 크기를 조절하여 상기 나노입자의 크기를 분석하는 것을 특징으로 하는 나노입자 검출센서
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제 3항에 있어서,
상기 단위 유닛은 서로 다른 크기의 나노 갭을 갖는 다수개의 단위 전극으로 구성된 것을 특징으로 하는 나노입자 검출센서
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제 3항에 있어서,
상기 단위 유닛은 동일한 크기를 갖는 나노 갭을 가지며,
상기 나노입자 검출 센서는 서로 다른 크기의 나노 갭을 갖는 다수개의 단위 유닛으로 구성된 것을 특징으로 하는 나노입자 검출센서
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제 5항에 있어서,
상기 나노입자의 입도분포는 상기 다수개의 단위 유닛 각각에서 동일한 단위 유닛에 속하며 저항 또는 임피던스가 변화된 단위전극의 수에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 나노입자 검출센서
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제 1항에 있어서,
상기 나노 갭을 형성하는 표면에 특정 나노 입자와 결합하는 작용기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 나노입자 검출센서
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제 7항에 있어서,
상기 단위 유닛은 서로 다른 작용기가 형성된 나노 갭을 갖는 다수개의 단위 전극으로 구성된 것을 특징으로 하는 나노입자 검출센서
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9
제 7항에 있어서,
상기 단위 유닛은 동일한 작용기가 형성된 나노 갭을 가지며,
상기 나노입자 검출 센서는 서로 다른 작용기가 형성된 다수개의 단위 유닛으로 구성된 것을 특징으로 하는 나노입자 검출센서
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제 1항에 있어서,
상기 전기적 변화는 상기 단위전극의 저항 또는 임피던스의 변화인 것을 특징으로 하는 나노입자 검출센서
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제 1항에 있어서,
저항 또는 임피던스가 변화된 단위전극의 총 수를 상기 단위 유닛을 구성하는 단위전극의 총 수로 나눈 값으로 상기 나노입자의 농도를 산출하는 것을 특징으로 하는 나노입자 검출센서
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제 1항에 있어서,
상기 단위 전극에서 상기 단일한 금속선에 연결되지 않은 전극은 전압 인가를 위한 독립적인 금속선에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 나노입자 검출센서
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