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초정밀 가스희석교정장치에 있어서,
공기가 유입되는 에어라인에 설치되고, 공기의 질량유량을 조절하는 제1소닉노즐이 입구측에 장착된 제1소닉노즐 뱅크;
교정가스가 유입되는 가스라인에 설치되고, 교정가스의 질량유량을 조절하는 제2소닉노즐 및 층류형 질량유량조절계가 입구측에 별개의 채널로 장착된 제2소닉노즐 뱅크;
상기 제1소닉노즐 뱅크 및 제2소닉노즐 뱅크와 연결되어 교정가스를 공기로 희석하는 희석챔버를 포함하고, 상기 교정가스는 제2소닉노즐과 층류형 질량유량조절계를 통해 질량유량이 조절되고, 상기 공기는 제1소닉노즐을 통해 질량유량이 조절되며, 상기 교정가스가 공기에 의해 정량비로 희석되어 지정기준농도로 만들어지는 것을 특징으로 하는 초정밀 가스희석교정장치
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청구항 1에 있어서,
상기 에어라인 및 가스라인에 레귤레이터가 각각 설치되고, 상기 레귤레이터의 압력조절에 의해 소닉노즐 및 층류형 질량유량조절계를 통과하는 공기 및 교정가스의 질량유량이 조절되는 것을 특징으로 하는 초정밀 가스희석교정장치
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청구항 1에 있어서,
상기 제1소닉노즐 뱅크는 공기가 유입되는 입구측에 설치된 제1소닉노즐과, 상기 제1소닉노즐의 중심축에 수직방향으로 설치된 압력센서 및 온도센서와, 상기 온도센서의 반대방향으로 형성된 배출구를 포함하는 초정밀 가스희석교정장치
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청구항 1에 있어서,
상기 제2소닉노즐 뱅크는 교정가스가 유입되는 입구측에 설치된 제2소닉노즐 및 층류형 질량유량조절계와, 상기 제2소닉노즐의 중심축에 수직방향으로 설치된 압력센서 및 온도센서와, 상기 온도센서의 반대방향으로 형성된 배출구를 포함하는 초정밀 가스희석교정장치
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 제1소닉노즐의 목구경은 제2소닉노즐의 목구경보다 큰 것을 특징으로 하는 초정밀 가스희석교정장치
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청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1소닉노즐은 5L/min~10L/min의 유량범위로 조절가능한 것을 특징으로 하는 초정밀 가스희석교정장치
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7
청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2소닉노즐은 50cc/min~100cc/min의 유량범위로 조절가능한 것을 특징으로 하는 초정밀 가스희석교정장치
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8
청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 층류형 질량유량조절계는 1cc/min~3cc/min의 유량범위로 조절가능한 것을 특징으로 하는 초정밀 가스희석교정장치
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