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덮개, 팬, 시료채취구 및 시료환원구를 포함하는 챔버(100);상기 챔버(100)와 연결되어 상기 챔버(100)의 덮개와 팬을 제어하고, 온도 및 압력을 모니터링하는 챔버관리부(200);상기 시료채취구와 일측이 연결되는 제1 이송라인(150);상기 시료환원구와 일측이 연결되는 제2 이송라인(160);가스입구 및 가스출구를 포함하여 구성되며, 상기 가스입구가 상기 제1 이송라인(150)의 타측과 연결되며, 상기 제1 이송라인(150)으로부터 유입된 가스의 성분을 분석하는 가스분광분석부(300);상기 가스분광분석부(300)의 가스출구와 일측이 연결되며, 상기 가스분광분석부(300)로부터 배출된 가스의 유량을 측정하는 유량계(400);흡입부 및 토출부를 포함하며, 상기 흡입부와 상기 유량계(400)의 타측이 연결되고, 상기 토출부와 상기 제2 이송라인(160)의 타측이 연결된 펌프(500); 및상기 챔버관리부(200), 가스분광분석부(300), 상기 유량계(400), 상기 펌프와 연결되며(500), 상기 펌프를 제어하여 상기 시료채취구로부터 상기 시료환원구까지 연결된 유로상의 가스의 흐름을 제어하고, 상기 챔버관리부(200), 가스분광분석부(300) 및 유량계(400)로부터 전송된 정보를 관리하는 관리부(600);를 포함하는 다중채널 분광측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 다중채널 분광측정 장치는상기 관리부(600)와 연결되며, 상기 관리부(600)에 제어명령을 전달하고, 상기 관리부(600)로부터 전달받은 정보를 실시간 모니터링 하는 사용자 단말부(700);를 포함하는 다중채널 분광측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 다중채널 분광측정 장치는,가스분광분석부(300), 유량계(400), 펌프(500) 및 관리부(600)가 하나의 하우징(800) 안에 포함되는 것을 특징으로 하는 다중채널 분광측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 다중채널 분광측정 장치는,상기 챔버관리부(200), 가스분광분석부(300), 유량계(400), 펌프(500) 및 관리부(600)가 하나의 하우징(800) 안에 포함되는 것을 특징으로 하는 다중채널 분광측정 장치
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제2항에 있어서, 상기 다중채널 분광측정 장치는,가스분광분석부(300), 유량계(400), 펌프(500), 관리부(600) 및 사용자 단말부(700)가 하나의 하우징(800) 안에 포함되는 것을 특징으로 하는 다중채널 분광측정 장치
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제2항에 있어서, 상기 다중채널 분광측정 장치는,상기 챔버관리부(200), 가스분광분석부(300), 유량계(400), 펌프(500), 관리부(600) 및 사용자 단말부(700)가 하나의 하우징(800) 안에 포함되는 것을 특징으로 하는 다중채널 분광측정 장치
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제3항 내지 6항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서, 상기 하우징(800)은,상기 하우징(800) 일 측을 관통하여 형성되며, 일측이 상기 제1 이송라인(150)의 타측과 연결되고, 타측이 상기 가스분광분석부(300)와 연결되는 제1 이송라인 연결부(151); 및상기 하우징(800) 일 측을 관통하여 형성되며, 일측이 상기 제2 이송라인(160)의 타측과 연결되고, 타측이 상기 펌프(500)와 연결되는 제2 이송라인 연결부(161);를 포함하는 다중채널 분광측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 챔버(100)는,하나 또는 복수개로 구성되며,상기 챔버(100)의 수와 동일한 수의 상기 제1 이송라인(150), 가스분광분석부(300), 유량계(400), 펌프(500) 및 제2 이송라인(160)을 포함하여 구성되며,상기 제1 이송라인(150), 가스분광분석부(300), 유량계(400), 펌프(500) 및 제2 이송라인(160) 순으로 연결되어 형성된 하나의 가스 유동로가 하나의 챔버와 연결되는 것을 특징으로 하는 다중채널 분광측정 장치
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챔버(100), 챔버관리부(200), 제1 이송라인(150), 제2 이송라인(160), 가스분광분석부(300), 유량계(400), 펌프(500) 및 관리부(600)를 포함하는 다중채널 분광측정 장치를 이용한 챔버 내부 가스 농도 모니터링 방법에 있어서,일정 시간동안 챔버를 밀폐시킨 후 일정 시간동안 챔버를 개방시키는 것을 한 싸이클로, 챔버 내에 해당되는 정보를 수집하는 정보수집 단계(S10); 및상기 정보수집단계(S10)에서 수집된 정보를 근거로 가스배출 농도를 모니터링 하여, 가스배출 농도 산정, 챔버의 밀폐 성능 분석 및 팬의 성능 분석중 선택되는 적어도 어느 하나를 수행하는 분석 단계(S20);를 포함하는 다중채널 분광측정 장치를 이용한 챔버 내부 가스 농도 모니터링 방법
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제 9항에 있어서,상기 다중채널 분광측정 장치를 이용한 챔버 내부 가스 농도 모니터링 방법은복수개의 챔버를 다수 개의 군으로 나누어,각각의 챔버 군이 동일한 싸이클로 서로 다른 시간대에 챔버를 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 다중채널 분광측정 장치를 이용한 챔버 내부 가스 농도 모니터링 방법
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