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일단은 분석 대상인 샘플의 표면 특성과 연동되는 팁이 구비되고 상기 샘플의 원자와의 힘에 의해 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나가 변화하는 캔틸레버;상기 캔틸레버의 상부면에 입사되는 광학빔을 생성하는 광원;상기 광원, 상기 광학빔을 반사하는 반사거울 및 상기 캔틸레버 중 적어도 하나를 이동 또는 진동시켜서 상기 광학빔의 입사위치를 상기 캔틸레버의 횡방향으로 이동시키는 구동부;상기 캔틸레버에서 반사된 광학빔을 검출하여, 이동되는 상기 광학빔의 입사위치에 대응되는 제1신호를 기본 좌표인 제1좌표 상에서 생성하는 검출기; 및상기 검출기에서 검출된 제1신호의 궤적을 토대로 계산되는 보정 좌표인 제2좌표를 산출하는 좌표산출부; 를 포함하고,상기 좌표산출부에서, 상기 제2좌표의 일축은 상기 광학빔의 입사위치의 상기 캔틸레버에 대한 횡방향 궤적에 대응되는 제1신호의 궤적으로 결정되며,산출된 상기 제2좌표를 토대로 상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나를 측정하여, 상기 샘플의 표면 특성을 분석하는 것을 특징으로 하는 검출기의 좌표보정이 가능한 탐침현미경
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제1항에 따른 탐침현미경의 일구성인 구동부가 상기 탐침현미경의 일구성인 캔틸레버, 반사거울 및 광원 중 적어도 하나를 이동 또는 진동시켜서, 상기 캔틸레버의 상부면에 입사되는 광학빔의 입사위치를 상기 캔틸레버의 횡방향으로 이동시키는 구동단계;검출기에서 상기 캔틸레버에서 반사된 광학빔을 검출하여, 이동되는 상기 광학빔의 입사위치에 대응되는 제1신호를 상기 검출기의 기본 좌표인 제1좌표 상에서 생성하는 검출단계; 및상기 탐침현미경의 일구성인 좌표산출부에서, 상기 검출기에서 검출된 제1신호의 궤적을 토대로 계산되는 좌표인 제2좌표를 산출하는 좌표산출단계;를 포함하고,상기 좌표산출부에서, 상기 제2좌표의 일축은 상기 광학빔의 입사위치의 상기 캔틸레버에 대한 횡방향 궤적에 대응되는 제1신호의 궤적으로 결정되는 것을 특징으로 하는 탐침현미경에 구비된 검출기의 좌표 보정방법
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제1항에 따른 탐침현미경의 일구성인 캔틸레버를 확대하여 표시하는 확대수단의 초점과 확대영상 범위를 상기 캔틸레버에 맞추는 현미경 정렬단계;광학빔이 상기 캔틸레버의 상부면에 설정된 입사위치에 입사되도록, 상기 탐침현미경의 일구성인 광원의 위치 및 조사방향 중 적어도 하나를 정렬하는 광원 정렬단계;상기 탐침현미경의 일구성인 검출기의 기본 좌표인 제1좌표에 생성되는 제1신호를 상기 제1좌표의 원점에 위치시키는 검출기 정렬단계;상기 탐침현미경의 일구성인 구동부에서 상기 광학빔의 입사위치를 상기 캔틸레버의 횡방향으로 이동시키는 횡방향 이동단계; 및상기 탐침현미경의 일구성인 좌표산출부에서 상기 검출기에서 검출된 제1신호의 궤적을 토대로 계산되는 좌표인 제2좌표를 산출하고, 상기 제2좌표의 일축은 상기 광학빔의 입사위치의 상기 캔틸레버에 대한 횡방향 궤적에 대응되는 제1신호의 궤적으로 결정되는 검출기 보정단계;를 포함하는 탐침현미경 초기화 방법
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제1항에 따른 탐침현미경의 일구성인 구동부가 상기 탐침현미경의 일구성인 캔틸레버, 반사거울 및 광원 중 적어도 하나를 이동 또는 진동시켜서, 상기 캔틸레버의 상부면에 입사되는 광학빔의 입사위치를 상기 캔틸레버의 횡방향으로 이동시키는 구동단계;검출기에서 상기 캔틸레버에서 반사된 광학빔을 검출하여, 이동되는 상기 광학빔의 입사위치에 대응되는 제1신호를 상기 검출기의 기본 좌표인 제1좌표 상에서 생성하는 검출단계; 및상기 탐침현미경의 일구성인 좌표산출부에서, 상기 검출기에서 검출된 제1신호의 궤적을 토대로 계산되는 좌표인 제2좌표를 산출하는 좌표산출단계;를 컴퓨터 상에서 실행하고,상기 좌표산출부에서, 상기 제2좌표의 일축은 상기 광학빔의 입사위치의 상기 캔틸레버에 대한 횡방향 궤적에 대응되는 제1신호의 궤적으로 결정되는, 프로그램을 저장한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체
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제1항에 따른 탐침현미경의 일구성인 캔틸레버를 확대하여 표시하는 확대수단의 초점과 확대영상 범위를 상기 캔틸레버에 맞추는 현미경 정렬단계;광학빔이 상기 캔틸레버의 상부면에 설정된 입사위치에 입사되도록, 상기 탐침현미경의 일구성인 광원의 위치 및 조사방향 중 적어도 하나를 정렬하는 광원 정렬단계;상기 탐침현미경의 일구성인 검출기의 기본 좌표인 제1좌표에 생성되는 제1신호를 상기 제1좌표의 원점에 위치시키는 검출기 정렬단계;상기 탐침현미경의 일구성인 구동부에서 상기 광학빔의 입사위치를 상기 캔틸레버의 횡방향으로 이동시키는 횡방향 이동단계; 및상기 탐침현미경의 일구성인 좌표산출부에서 상기 검출기에서 검출된 제1신호의 궤적을 토대로 계산되는 좌표인 제2좌표를 산출하고, 상기 제2좌표의 일축은 상기 광학빔의 입사위치의 상기 캔틸레버에 대한 횡방향 궤적에 대응되는 제1신호의 궤적으로 결정되는 검출기 보정단계;를 포함하고,산출된 상기 제2좌표를 토대로 상기 캔틸레버의 동작변위, 동작주파수 및 휨정도 중 적어도 하나를 측정하여, 샘플의 표면 특성을 분석하는 것을 특징으로 하는 탐침현미경 샘플 분석방법
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