| 1 |
1
삭제
|
| 2 |
2
입사되는 이온빔을 수집하는 패러데이컵;상기 패러데이컵 내부에 제공되고, 원뿔 형태를 갖는 복수개의 수집 엘리먼트들;상기 이온빔의 입사에 의해 발생된 전자들을 상기 이온빔의 입사면을 기준으로 상기 패러데이컵 내부에서 구속되도록 원형 운동시키는 적어도 두 개의 마그넷들;상기 이온빔을 수집하기 위한 콜리메이터;상기 콜리메이터와 상기 패러데이컵 사이에 위치하고, 포텐셜 우물을 형성하는 바이어스 전극; 및상기 패러데이컵 외부에 위치하고, 상기 패러데이컵 외부의 전하 유입을 차단하며, 측면에 신호선 유입을 위한 홀이 위치한 돌출부가 형성되는 금속 실드; 및상기 돌출부에 결합되고, 상기 금속 실드 내부의 상기 패러데이컵으로 연결되는 신호선과 상기 바이어스 전극으로 연결되는 전선을 보호하고, 상기 콜리메이터에 의해 발생된 열이 발산하기 위한 통로의 기능을 갖는 금속 지지봉을 포함하고,상기 수집 엘리먼트들 각각은 상기 이온빔의 입사 방향에 가까울수록 단면적이 감소되도록 형성되고, 상기 수집 엘리먼트들의 원형 단면은 상기 이온빔이 충돌하는 상기 패러데이컵의 뒷판에 결합되고, 상기 바이어스 전극은 상기 포텐셜 우물의 형성을 통해 상기 콜리메이터에서 생성된 이차 전자의 패러데이컵 내부로의 유입을 방지하고, 상기 패러데이컵 내부로부터 방출되는 전자를 상기 패러데이컵 내부로 되돌려보내는 패러데이컵 어셈블리
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
제 2 항에 있어서,상기 적어도 두 개의 마그넷들이 상기 패러데이컵 외부의 양 측면에 위치하는 패러데이컵 어셈블리
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서,상기 마그넷들은 서로 다른 극성을 갖는 자극들이 마주하는 형태로 배치되는 패러데이컵 어셈블리
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
제 2 항에 있어서,상기 바이어스 전극은 이온빔이 통과하는 홀을 갖고, 상기 패러데이컵 입구, 상기 콜리메이터의 홀 부분은 상기 홀 방향으로 단면적이 감소되도록 기울어진 경사면을 갖고, 상기 바이어스 전극의 홀 부분은 양면에 각각 상기 홀 방향으로 단면적이 감소되도록 기울어진 경사면들을 갖고,상기 바이어스 전극에 의해 상기 이온빔의 입사방향으로 볼록한 형태를 갖도록 형성된 전기장은 상기 이온빔을 포커싱하는 렌즈의 기능을 갖는 패러데이컵 어셈블리
|
| 9 |
9
제 2 항에 있어서,상기 금속 실드와 상기 패러데이컵 사이에 위치한 절연체를 더 포함하는 패러데이컵 어셈블리
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
입사되는 이온빔을 수집하는 패러데이컵;상기 패러데이컵 내부에 제공되고, 원뿔 형태를 갖는 복수개의 수집 엘리먼트들;상기 이온빔의 입사에 의해 발생된 전자들을 상기 이온빔의 입사면을 기준으로 상기 패러데이컵 내부에서 구속되도록 원형 운동시키는 적어도 두 개의 마그넷들;상기 이온빔을 수집하기 위한 콜리메이터;상기 콜리메이터와 상기 패러데이컵 사이에서 포텐셜 우물을 형성하는 바이어스 전극;상기 패러데이컵의 외부에 위치하고, 상기 패러데이컵 외부의 전하 유입을 차단하며, 측면에 신호선 유입을 위한 홀이 위치한 돌출부가 형성되는 금속 실드;상기 돌출부에 결합되고, 상기 금속 실드 내부의 상기 패러데이컵으로 연결되는 신호선과 상기 바이어스 전극으로 연결되는 전선을 보호하고, 상기 콜리메이터에 의해 발생된 열이 발산하기 위한 통로의 기능을 갖는 금속 지지봉; 및상기 금속 실드와 상기 패러데이컵 사이에 위치한 절연체를 포함하고,상기 수집 엘리먼트들 각각은 상기 이온빔이 입사 방향에 가까울수록 단면적이 감소되도록 형성되고, 상기 수집 엘리먼트들의 원형 단면은 상기 이온빔이 충돌하는 상기 패러데이컵의 뒷판에 결합되고, 상기 바이어스 전극은 상기 포텐셜 우물의 형성을 통해 상기 콜리메이터에서 생성된 이차 전자의 패러데이컵 내부로의 유입을 방지하고, 상기 패러데이컵 내부로부터 방출되는 전자를 상기 패러데이컵 내부로 되돌려보내는 패러데이컵 어셈블리
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
삭제
|
| 15 |
15
제 12 항에 있어서,상기 마그넷들은 상기 절연체에 형성된 마그넷 홈들에 각각 위치하는 패러데이컵 어셈블리
|
| 16 |
16
제 15 항에 있어서,상기 마그넷들은 서로 다른 극성을 갖는 자극들이 마주하는 형태로 배치되는 패러데이컵 어셈블리
|
| 17 |
17
제 12 항에 있어서,상기 패러데이컵 입구, 상기 콜리메이터, 및 상기 바이어스 전극 각각은 이온빔이 통과하는 홀을 가지며, 상기 패러데이컵 입구와 상기 콜리메이터의 홀 부분은 상기 홀 방향으로 단면적이 감소되도록 기울어진 경사면을 갖고, 상기 바이어스 전극의 홀 부분은 양면에 각각 상기 홀 방향으로 단면적이 감소되도록 기울어진 경사면들을 갖고,상기 바이어스 전극에 의해 상기 이온빔의 입사 방향으로 볼록한 형태를 갖도록 형성된 전기장은 상기 이온빔을 포커싱하는 패러데이컵 어셈블리
|
| 18 |
18
삭제
|
