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판상으로 둘레 중 일부가 직선으로 되는 엣지부가 형성되는 웨이퍼의 토포그래피 측정 홀더에 있어서,내부에 마운트 공간이 형성된 환형의 메인홀더;내부에 웨이퍼가 고정되는 제1 웨이퍼 공간이 형성되며, 타면 둘레가 상기 메인홀더의 마운트 공간 일면 둘레에 맞닿아 결합되는 환형의 마운트;내부에 웨이퍼가 고정되는 제2 웨이퍼 공간이 형성되며, 타면 둘레가 상기 제1 웨이퍼 공간의 일면 둘레에 맞닿아 결합되는 환형의 커버; 를 포함하되,상기 마운트 및 상기 커버는,상기 제1 웨이퍼 공간과 상기 제2 웨이퍼 공간의 직경이 동일하도록 구성되며,상기 마운트 및 상기 커버는, 각각 복수 개가 구비되되, 서로 다른 제1 웨이퍼 공간 및 상기 제2 웨이퍼 공간의 직경을 갖도록 구비되어 서로 다른 사이즈의 웨이퍼가 고정 가능한, 토포그래피 측정용 웨이퍼 홀더
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판상으로 둘레 중 일부가 직선으로 되는 엣지부가 형성되는 웨이퍼의 토포그래피 측정 홀더에 있어서,내부에 마운트 공간이 형성된 환형의 메인홀더;내부에 웨이퍼가 고정되는 제1 웨이퍼 공간이 형성되며, 타면 둘레가 상기 메인홀더의 마운트 공간 일면 둘레에 맞닿아 결합되는 환형의 마운트;내부에 웨이퍼가 고정되는 제2 웨이퍼 공간이 형성되며, 타면 둘레가 상기 제1 웨이퍼 공간의 일면 둘레에 맞닿아 결합되는 환형의 커버; 를 포함하되,상기 메인 홀더는,일측 내주연에서 내측으로 돌출되는 단수 또는 복수 개의 마운트 고정돌기; 를 포함하며,상기 마운트는,타면이 상기 메인 홀더의 일면 내측에 맞닿는 외측마운트; 및상기 외측마운트의 내측에 형성되되 타측으로 함몰 형성되며, 일면에 상기 커버가 안착되는, 내측마운트; 를 포함하고,상기 내측마운트의 타측 외주연에는 상기 마운트 고정돌기가 끼워지도록 상기 내측마운트의 외주연에서 내측으로 함몰 형성되는 단수 또는 복수 개의 마운트 고정홈; 이 형성되는, 토포그래피 측정용 웨이퍼 홀더
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제 3항에 있어서,상기 마운트는,상기 내측마운트의 타측 내주연에서 내측으로 돌출되는 단수 또는 복수 개의 제1 웨이퍼 고정돌기; 를 포함하며,상기 커버는,타면이 상기 내측마운트의 일면에 안착되며, 상기 제1 웨이퍼 고정돌기에 대응되도록 일측 내주연에서 내측으로 돌출되는 단수 또는 복수 개의 제2 웨이퍼 고정돌기; 를 포함하고,상기 웨이퍼는 둘레가 상기 제1 웨이퍼 고정돌기와 상기 제2 웨이퍼 고정돌기 사이에 끼워져 고정되는, 토포그래피 측정용 웨이퍼 홀더
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제 4항에 있어서,상기 웨이퍼 홀더는,상기 커버가 상기 마운트에 안착 시상기 커버의 일면 높이가 상기 외측 마운트의 일면 높이와 동일하도록 구성되는, 토포그래피 측정용 웨이퍼 홀더
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 웨이퍼 홀더는,상기 메인홀더의 외주연에서 외측으로 연장 형성되는 거치로드; 및상기 거치로드가 끼움 결합되어, 상기 웨이퍼 홀더를 웨이퍼 측정 장비에 고정시키는 거치대;를 포함하는, 토포그래피 측정용 웨이퍼 홀더
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