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플라즈마 측정 장치 및 측정 방법

  • 기술번호 : KST2015180183
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 측정 장치 및 플라즈마 측정 방법을 제공한다. 이 장치는 플라즈마 내부에 삽입되고 전자기파를 발산하는 송신 안테나, 플라즈마 내부에 삽입되고 송신 안테나와 나란히 배치되는 수신 안테나, 가변 주파수를 안테나에 송신 안테나에 제공하고, 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 전기적 특성을 측정하여 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 임피던스를 출력하는 네트워크 분석부, 및 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 임피던스를 분석하여 전자-중성 충돌 주파수를 산출하는 처리부를 포함한다.
Int. CL H05H 1/46 (2006.01) G01N 27/02 (2006.01) G01R 27/04 (2006.01)
CPC H01J 37/32174(2013.01) H01J 37/32174(2013.01) H01J 37/32174(2013.01) H01J 37/32174(2013.01) H01J 37/32174(2013.01)
출원번호/일자 1020110089172 (2011.09.02)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1324990-0000 (2013.10.29)
공개번호/일자 10-2013-0025698 (2013.03.12) 문서열기
공고번호/일자 (20131104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.09.02)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유신재 대한민국 대전광역시 유성구
2 김정형 대한민국 대전광역시 동구
3 유광호 대한민국 충청남도 연기군
4 성대진 대한민국 충청남도 공주시
5 신용현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0689001-33
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.12.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0001196-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0094906-64
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.03.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0262995-12
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0263021-46
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.08.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0561203-18
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.09.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0829190-63
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0829205-60
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0659693-75
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
12 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2014-0437697-05
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라즈마 내부에 삽입되고 전자기파를 발산하는 송신 안테나;플라즈마 내부에 삽입되고 상기 송신 안테나와 나란히 배치되는 수신 안테나;가변 주파수를 안테나에 상기 송신 안테나에 제공하고, 상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나 사이의 전기적 특성을 측정하여 상기 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 임피던스를 출력하는 네트워크 분석부; 및상기 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 직렬 임피던스를 분석하여 전자-중성 충돌 주파수를 산출하는 처리부를 포함하고,상기 처리부는 상기 직렬 임피던스의 허수부를 미분하여 미분한 영인 제1 미분 주파수 및 제2 미분 주파수를 추출하고, 상기 제1 미분 주파수 및 상기 제2 미분 주파수를 이용하여 전자-중성 충돌 주파수를 산출하고,상기 직렬 임피던스는:서로 직렬 연결된 플라즈마 저항 및 플라즈마 인덕터; 상기 플라즈마 저항 및 플라즈마 인덕터에 병렬 연결된 플라즈마 축전기;상기 플라즈마 축전기의 일단과 상기 플라즈마 저항 및 플라즈마 인덕터의 일단이 연결되는 제1 노드에 연결되는 송신 안테나 쉬스 축전기; 및상기 플라즈마 축전기의 타단과 상기 플라즈마 저항 및 플라즈마 인턱의 타단이 연결되는 제2 노드에 연결되는 수신 안테나 쉬스 축전기를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 측정 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 송신 안테나는:네트워크 분석부로부터 전력을 공급받는 중심 도선;상기 중심 도선을 감싸는 절연체; 및접지되고 상기 절연체를 감싸는 외부 도선을 포함하고,상기 중심 도선의 일부가 상기 플라즈마에 노출되도록 상기 절연체의 일부가 제거된 것을 특징으로 하는 플라즈마 측정 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 수신 안테나는:중심 도선;상기 중심 도선을 감싸는 절연체; 및접지되고 상기 절연체를 감싸는 외부 도선을 포함하고,상기 중심 도선의 일부가 상기 플라즈마에 노출되도록 상기 절연체의 일부가 제거된 것을 특징으로 하는 플라즈마 측정 장치
4 4
플라즈마에 노출되는 송신 안테나와 플라즈마에 노출되고 저항에 연결된 수신 안테나 사이에 주파수에 따른 투과계수 또는 스케터링 매트릭스를 측정하는 단계;상기 투과계수 또는 스케터링 매트릭스를 이용하여 상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나 사이의 직렬 임피던스를 추출하는 단계; 및상기 직렬 임피던스를 이용하여 전자-중성 충돌 주파수를 산출하는 단계를 포함하고,상기 직렬 임피던스를 이용하여 전자-중성 충돌 주파수를 산출하는 단계는:상기 직렬 임피던스의 허수부를 미분하여 미분한 영인 제1 미분 주파수 및 제2 미분 주파수를 추출하는 단계; 및상기 제1 미분 주파수 및 상기 제2 미분 주파수를 이용하여 전자-중성 충돌 주파수를 산출하는 단계를 포함하고,상기 직렬 임피던스는:서로 직렬 연결된 플라즈마 저항 및 플라즈마 인덕터; 상기 플라즈마 저항 및 플라즈마 인덕터에 병렬 연결된 플라즈마 축전기;상기 플라즈마 축전기의 일단과 상기 플라즈마 저항 및 플라즈마 인덕터의 일단이 연결되는 제1 노드에 연결되는 송신 안테나 쉬스 축전기; 및상기 플라즈마 축전기의 타단과 상기 플라즈마 저항 및 플라즈마 인턱의 타단이 연결되는 제2 노드에 연결되는 수신 안테나 쉬스 축전기를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 측정 방법
5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발
2 교육과학기술부 한국표준과학연구원 신기술융합형성장동력사업 우주 환경 모사 신소재 / 공정 기술 개발