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내부에 정밀자기센서를 갖고, 샘플을 여기시키기 위한 자기장 발생장치가 포함된 미세자기장 측정 장치에서 외부 자기장을 차폐하기 위한 차폐장치에 있어서, 내부의 측정공간을 밀폐시키도록 고전도율의 고주파 차폐성을 갖는 분할된 복수의 고전도율금속층과 상기 고전도율금속층과 소정간격 이격된 폐쇄된 고투자율연자성체층을 구비한 차폐벽을 포함하여, 상기 외부 자기장을 차폐하고, 상기 자기장 발생장치에서 발생되는 여기자기장에 의한 유도 와전류의 흐름을 차단하여 상기 와전류로부터 발생하는 자기장이 미세자기장의 측정에 간섭을 방지하고,상기 차폐벽은 다중벽으로 구성되고, 최외곽 차폐벽을 구성하는 고전도율금속층은 모든 면이 폐쇄되어 구성되며,상기 차폐벽은 상기 샘플의 투입 및 기타 장치의 입출을 위해 개폐가 가능한 도어를 포함하고, 상기 도어가 닫힌 상태에서 최외곽 차폐벽의 고전도율금속층이 모든 면을 폐쇄하고,상기 최외곽 차폐벽의 고전도율금속층이 모든 면을 폐쇄되어 있고, 안쪽의 차폐벽으로 갈수록 상기 측정공간을 둘러싸는 상기 고전도율금속층의 분할정도가 증가하여 상기 고전도율금속층의 크기가 감소하는 것을 특징으로 하는 미세자기장 측정을 위한 차폐장치
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제 1항에 있어서, 상기 고전도율금속층은 알루미늄, 구리, 황동, 은 및 금 중 적어도 어느 하나로 구성된 것을 특징으로 하는 미세자기장 측정을 위한 차폐장치
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제 1항에 있어서, 상기 고투자율연자성체층은 뮤메탈, 퍼멀로이, 하이퍼놈, 페라이트 및 마그네피어 7904 중 적어도 어느 하나로 구성된 것을 특징으로 하는 미세자기장 측정을 위한 차폐장치
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제1항의 차폐장치를 이용한 미세자기장 측정을 위한 차폐방법에 있어서, 내부의 측정공간을 밀폐시키도록 고전도율의 고주파 차폐성을 갖는 분할된 복수의 고전도율금속층과 상기 고전도율금속층과 소정간격 이격되어 폐쇄된 고투자율연자성체층을 구비한 차폐벽의 상기 측정공간으로 샘플을 투입하는 단계; 상기 차폐벽에 의해 외부 자기장이 차폐되는 단계; 상기 측정공간에 구비되어 상기 샘플을 여기시키기 위한 자기장 발생장치에서 여기자기장이 발생되는 단계; 및상기 측정공간에 구비된 정밀자기센서가 상기 샘플에서 발생되는 미세자기장을 측정하는 단계;를 포함하여 상기 발생단계와 측정단계에서, 복수의 분활된 상기 고전도율금속층 끝단면이 서로 특정간격으로 이격되어 있어 상기 자기장 발생장치에서 발생된 여기 자기장에 의해 상기 고전도율금속층을 타고 흐르는 와전류의 흐름을 차단하여, 상기 정밀자기센서가 불필요한 유도자기장을 측정하는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 미세자기장 측정을 위한 차폐방법
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제 7항에 있어서, 상기 차폐벽은 다중벽으로 형성되고, 최외곽 차폐벽의 고전도율금속층은 모든 면이 폐쇄되어 있고, 안쪽의 차폐벽으로 갈수록 상기 측정공간을 둘러싸는 고전도율금속층의 분할정도가 증가하여 상기 고전도율금속층의 크기가 감소하는 것을 특징으로 하는 미세자기장 측정을 위한 차폐방법
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내부에 정밀자기센서를 구비하여, 샘플의 미세자기장 측정을 위한 장치에서 외부 자기장을 차폐하기 위한 차폐장치에 있어서, 고전도율의 고주파 차폐성을 갖는 고전도율금속층과 상기 고전도율금속층의 내측으로 소정간격 이격되어 구비된 고투자율의 저주파 자기장 차폐성을 갖는 고투자율연자성체층을 갖는 차폐벽과 내부에 측정공간을 구비한 밀폐된 차폐실;상기 고투자율연자성체층의 꼭지점 각각에 형성된 복수의 홀; 상기 홀 및 상기 홀과 인접한 또 다른 홀에 코일이 삽입되어 상기 고투자율연자성체층의 모서리 각각에 상기 코일이 권취되어 형성된 복수의 코일부; 및상기 코일부에 전류를 인가하도록 구성된 전원인가부를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세자기장 측정을 위한 차폐장치
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제 9항에 있어서, 상기 코일부는육면체의 고투자율연자성체층의 가로, 세로 및 높이 방향의 독립된 세 축 방향 각각을 기준으로 서로 평행하도록 권취된 4개 코일을 하나의 코일군으로 하여 상기 코일군을 직렬 또는 병렬로 연결하여 독립된 세 개의 코일군을 이루는 전기배선을 갖고, 특정 코일군에 전류를 흘렸을 때, 고투자율연자성체층을 구성하는 상기 육면체의 네 면을 따라 같은 방향의 자속폐회로가 생성되는 것을 특징으로 하는 미세자기장 측정을 위한 차폐장치
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제 9항에 있어서,상기 고투자율연자성체층은 뮤메탈, 퍼멀로이, 페라이트, 하이퍼놈 및 마그네피어 7904 중 적어도 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 미세자기장 측정을 위한 차폐장치
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제 10항에 있어서, 상기 고투자율연자성체층이 자화된 경우, 상기 전원인가부가 상기 코일군을 이루는 전기배선으로 시간에 따라 연속적으로 감소하는 진폭의 교류 전류를 인가하여 자화된 상기 고투자율연자성체층에 유도 자기장을 형성시켜 상기 고투자율연자성체층을 탈자화하는 것을 특징으로 하는 미세자기장 측정을 위한 차폐장치
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제9항의 차폐장치를 이용한 미세자기장 측정을 위한 차폐방법에 있어서, 꼭지점 각각에 형성된 복수의 홀과 고투자율의 저주파수 차폐성을 갖는 고투자율연자성체층과 고전도율의 고주파 차폐성을 갖는 고전도율금속층을 구비한 밀폐된 차폐실의 측정공간으로 샘플을 투입하는 단계; 상기 차폐실에 의해 외부 자기장이 차폐되는 단계; 상기 샘플을 여기시키기위해 설치된 자기장 발생장치에서 여기자기장이 발생되는 단계; 상기 측정공간에 구비된 정밀자기센서가 상기 샘플에서 발생되는 미세자기장을 측정하는 단계; 및상기 여기자기장에 의해 상기 고투자율연자성체층에 형성된 자화가, 상기 홀 및 상기 홀과 인접한 또 다른 홀에 코일이 삽입되어 모서리 각각에 권취되어 형성된 복수의 코일부를 흐르는 연속적으로 감소하는 진폭의 교류 전류에 의해 탈자화되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세자기장 측정을 위한 차폐방법
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제12항의 차폐장치를 이용한 미세자기장 측정을 위한 탈자화방법에 있어서, 밀폐된 차폐실을 구성하는 고투자율의 자주파 차폐성을 갖는 고투자율연자성체층이 자화된 경우, 상기 고투자율연자성체층의 꼭지점에 구비된 복수의 홀 및 상기 홀과 상기 홀에 인접한 또 다른 홀에 코일이 삽입되어 상기 고투자율연자성체층의 모서리 각각에 권취되어 형성된 복수의 코일부로 전원 인가부가 특정 전류를 인가하는 단계; 상기 특정전류에 의해 상기 고투자율연자성체층에 자속폐회로가 생성되는 단계; 및 상기 특정전류 값을 변화시키면서 상기 고투자율연자성체층이 탈자화되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세자기장 측정을 위한 탈자화방법
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