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시료에 광을 조사하여 상기 시료의 미세한 부분을 확대하여 관찰하기 위한 광학 장치에 있어서, 상기 장치는: 제거형(depletion) 광을 생성하기 위한 제 1 광학장치; 반스토크스 광을 발생하기 위한 제 2 광학장치;상기 반스토크스 광과 상기 제거형 광을 혼합하여 상기 시료에 조사하기 위한 광학계; 및 상기 시료로부터 반사된 광을 검출하기 위한 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 제거형 가간섭성 반스토크스 라만 분광법을 이용한 광학 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 광학 장치는: 제거형 광을 발생하기 위한 제거형 광원; 상기 제거형 광의 가우시안 모드를 통과시키는 제 1 공간 필터; 상기 제 1 공간 필터를 통과한 가우시안 모드의 제거형 광의 선형 편광만을 통과시키는 제 1 선형 편광기; 및 상기 제 1 선형 편광기를 통과한 선형 편광된 제거형 광을 도우넛 모드로 변환하기 위한 모드 발생장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 제거형 가간섭성 반스토크스 라만 분광법을 이용한 광학 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 제 1 광학 장치는 상기 선형 편광된 제거형 광을 상기 모드 발생장치로 반사하기 위한 제 1 거울을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제거형 가간섭성 반스토크스 라만 분광법을 이용한 광학 장치
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제 2 항에 있어서,상기 도우넛 모드는 TEM*01또는 TEM01인 것을 특징으로 하는 제거형 가간섭성 반스토크스 라만 분광법을 이용한 광학 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 제 2 광학 장치는: 펌핑 광을 발생하기 위한 펌핑 광원; 스토크스 광을 발생하기 위한 스토크스 광원; 상기 펌핑 광의 가우시안 모드를 통과시키는 제 2 공간 필터; 상기 펌핑 광의 가우시안 모드를 통과시키기 위한 제 3 공간 필터; 상기 제 2 공간 필터를 통과한 가우시안 모드의 스토크스 광의 선형 편광만을 통과시키는 제 2 선형 편광기; 상기 제 3 공간 필터를 통과한 가우시안 모드의 펌핑 광의 선형 편광만을 통과시키는 제 3 선형 편광기; 상기 제 2 선형 편광기를 통과한 선형 편광된 스토크스 광과 상기 제 3 선형 편광기를 통과한 선형 편광된 펌핑 광을 혼합하기 위한 광학 디바이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 제거형 가간섭성 반스토크스 라만 분광법을 이용한 광학 장치
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제 5 항에 있어서, 상기 광학 디바이스가:상기 제 2 선형 편광기를 통과한 선형 편광된 스토크스 광을 반사시키기 위한 거울; 및상기 제 3 선형 편광기를 통과한 선형 편광된 펌핑 광을 통과시키고 상기 선형 편광된 스토크스 광을 반사시키기 위한 제 1 이색성 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 제거형 가간섭성 반스토크스 라만 분광법을 이용한 광학 장치
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제 6 항에 있어서, 상기 광학계는:상기 모드 발생장치로부터 변조된 도우넛 모드의 제거형 광을 반사시키고 상기 제 1 이색성 필터로부터 반사된 광을 통과시키는 제 2 이색성 필터; 및 상기 제 2 이색성 필터를 통과한 광을 상기 시료로 반사하기 위한 제 3 거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 제거형 가간섭성 반스토크스 라만 분광법을 이용한 광학 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 제 3 거울과 상기 시료 사이에 상기 제 3 거울로부터 반사된 광을 집속시키기 위한 제 1 대물렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 제거형 가간섭성 반스토크스 라만 분광법을 이용한 광학 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 시료와 상기 검출기 사이에 상기 검출기로부터 반사된 광을 집속시키기 위한 제 2 대물렌즈; 및 상기 제 2 대물렌즈로부터 집속된 광에서 반스토크스 라만 분광 신호만을 통과시키기 위한 간섭 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 제거형 가간섭성 반스토크스 라만 분광법을 이용한 광학 장치
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