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저진공 및 고진공게이지의 통합교정 장치에 있어서,내부가 격판(320)에 의해 교정용기(340)와 배기용기(350)로 구획되고, 상기 격판(320)에 오리피스(330)가 형성된 압력용기(100);상기 압력용기(100)중 교정용기(340)측에 각각 부착되어 내부 진공압력을 측정할 수 있는 저진공 기준게이지(110), 고진공 기준게이지(120) 및 피교정 게이지(160);상기 압력용기(100)중 배기용기(350)측에 부착되어 내부의 압력과 온도를 각각 측정할 수 있는 이온게이지(170) 및 온도계(130);상기 압력용기(100)중 상기 배기용기(350)의 일측에 위치하여 내부 가스를 배출하거나 차단하는 게이트 밸브(140);상기 게이트 밸브(140)의 배출측에 연결되는 펌프수단;상기 압력용기(100)에 부착되어 상기 압력용기(100)를 소정 온도로 가열하는 가열수단;상기 압력용기(100)중 상기 교정용기(340)측에 설치되어 상기 교정용기(340)의 내부로 가스를 주입하는 가스주입수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 저진공 기준게이지(110)는 용량형 게이지(CDG)이고, 상기 고진공 기준게이지(120)는 스피닝 로터 게이지(SRG)인 것을 특징으로 하는 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가열수단은 전열 히터이고, 상기 압력용기(100)가 100 ℃ ~ 200 ℃ 범위가 되도록 가열하는 것을 특징으로 하는 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 압력용기(100)는 스테인레스 재질로 제작되는 것을 특징으로 하는 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 펌프수단은,상기 게이트 밸브(140)에 연결되는 터보펌프(300); 및상기 터보펌프(300)에 직렬로 연결되는 로터리 펌프(310)인 것을 특징으로 하는 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치
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제 5 항에 있어서,상기 터보펌프(300)는 상기 압력용기(100)의 내부압력을 1×10-5 Pa 이하까지 유지할 수 있고, 상기 로터리 펌프(310)는 상기 압력용기(100)의 내부압력을 1 Pa 이하까지 유지할 수 있는 용량인 것을 특징으로 하는 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가스주입수단은,교정 가스를 저장하는 가스 저장고(200);상기 가스 저장고(200)에 연결된 리크 밸브(210); 및일단이 상기 리크 밸브(210)에 연결되고, 타단이 상기 압력용기(100)의 교정용기(340)측 내부까지 연장된 가스주입관(220)을 포함하는 것을 특징으로 하는 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치
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제 7 항에 있어서, 상기 교정 가스는 질소인 것을 특징으로 하는 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치
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제 7 항에 있어서, 상기 리크 밸브(210)는 마이크로 리크 밸브인 것을 특징으로 하는 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 압력용기(100)의 직경이 250 mm 일 때, 상기 오리피스(330)의 내경은 10 mm의 비율인 것을 특징으로 하는 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 압력용기(100)의 내부는 상부에 교정용기(340)가 위치하고, 하부에 배기용기(350)가 위치하도록 구획된 것을 특징으로 하는 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치
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