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나노갭 전극의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 나노갭소자
- 기술번호 : KST2015180245
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 나노갭 금속 전극의 제조방법 및 이를 이용한 나노갭 소자에 관한 것으로, 본 발명에 따른 제조방법은 소정 형상으로 형성된 금속 패턴의 표면에 용액 중의 금속 이온으로부터 환원 반응에 의하여 환원된 금속을 성장시키는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 나노갭 금속 전극의 제조방법은 종래의 방법으로는 제조하기가 어려운 1 내지 100 nm의 갭을 갖는 나노갭 전극을 용이하게 제조할 수 있는 장점이 있다.나노갭, 나노, 전극, 환원, 금, 표면, 성장, 협소화 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 29/40 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020060039528 (2006.05.02) |
| 출원인 | 한국표준과학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-0762258-0000 (2007.09.20) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20071001) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2006.05.02) |
| 심사청구항수 | 11 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 아칠성 | 대한민국 | 대전 서구 |
| 2 | 윤용주 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 3 | 이준성 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 4 | 박형주 | 대한민국 | 부산 연제구 |
| 5 | 하동한 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 6 | 윤완수 | 대한민국 | 대전 서구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김종관 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
| 2 | 박창희 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
| 3 | 권오식 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2006.05.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0310259-55 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2006.12.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2007.01.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2007-0000413-41 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2007.01.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0034324-10 |
| 5 | 의견서 Written Opinion |
2007.03.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0185896-53 |
| 6 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2007.03.07 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0185901-05 |
| 7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2007.04.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0235477-90 |
| 8 | 지정기간연장신청서 Request for Extension of Designated Period |
2007.06.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0475741-65 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2007.07.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0547001-19 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2007.07.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0546981-59 |
| 11 | 등록결정서 Decision to grant |
2007.09.06 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0485169-84 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 금속이온이 포함된 용액에 금속 패턴이 형성된 기판을 침치하여, 상기 용액 중에 포함된 환원제에 의해 상기 용액 중의 금속이온으로부터 금속패턴의 표면에 환원된 금속을 성장시키는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극의 제조방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 금속 패턴은 전자빔 리소그라피, 광 리소그라피, X-ray 리소그라피 및 인쇄법으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극의 제조방법 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서,상기 금속 패턴과 성장된 상기 금속 패턴에 성장된 금속은 동일한 것임을 특징으로 하는 나노갭 전극의 제조방법 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서,상기 용액은 물 또는 물과 유기용매의 혼합용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극의 제조방법 |
| 5 |
5 제 4 항에 있어서,상기 용액의 금속이온의 농도는 1 μM 내지 1 mM 인 것을 특징으로 하는 나노갭 전극의 제조방법 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서,상기 형성된 나노갭 전극의 거리는 1 내지 100 nm인 것을 특징으로 하는 나노갭 전극의 제조방법 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서,상기 금속 패턴은 Au, Ag, Al, Cu 및 Pt로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극의 제조방법 |
| 8 |
8 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,금속이온이 포함된 용액에 금속 패턴이 형성된 기판을 침치한 후에, 상기 용액에 환원제를 가하는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극의 제조방법 |
| 9 |
9 제 1 항에 있어서,상기 환원제는 하이드록실 아민(NH4OH), 아스코르브 산, 포도당, 로셀염, 포름알데히드 및 그 혼합물로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극의 제조방법 |
| 10 |
10 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 금속이온은 HAuCl4, AgNO3, AuCl, AuCl2, AuCl3, AuCl4, Au(CO)Cl, NaAuCl4 및 그 혼합물로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 나노갭 전극의 제조방법 |
| 11 |
11 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 따른 제조방법에 의하여 제조된 나노갭 전극 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | JP21535837 | JP | 일본 | FAMILY |
| 2 | US20100098966 | US | 미국 | FAMILY |
| 3 | WO2007126177 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | JP2009535837 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 2 | JP2009535837 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 3 | JP2009535837 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 4 | US2010098966 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 5 | WO2007126177 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
| 공개전문 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0762258-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20060502 출원 번호 : 1020060039528 공고 연월일 : 20071001 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20070906 청구범위의 항수 : 11 유별 : H01L 29/40 발명의 명칭 : 나노갭 전극의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 나노갭소자 존속기간(예정)만료일 : 20120921 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국표준과학연구원 대전 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 337,500 원 | 2007년 09월 21일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 282,000 원 | 2010년 07월 01일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 282,000 원 | 2011년 07월 11일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2006.05.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0310259-55 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2006.12.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2007.01.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2007-0000413-41 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2007.01.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0034324-10 |
| 5 | 의견서 | 2007.03.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0185896-53 |
| 6 | 명세서등보정서 | 2007.03.07 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0185901-05 |
| 7 | 의견제출통지서 | 2007.04.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0235477-90 |
| 8 | 지정기간연장신청서 | 2007.06.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0475741-65 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2007.07.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0547001-19 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2007.07.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0546981-59 |
| 11 | 등록결정서 | 2007.09.06 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0485169-84 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1415076917 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10027883 |
| 연구과제명 | 나노갭응용항원-항체검출기술개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가원 |
| 연구주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 성과제출연도 | 2007 |
| 연구기간 | 200604~201303 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
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