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단일파장의 레이저 빔을 갖는 광원;
측정물의 표면에 부착되며, 상기 광원으로부터 입사되어 복수의 회절빔을 발생시키는 회절격자;
상기 회절격자의 Z축 방향 변위를 측정하기 위한 Z축 변위측정수단;
상기 회절격자의 X축 방향 변위를 측정하기 위한 X축 변위측정수단;
상기 회절격자의 Y축 방향 변위를 측정하기 위한 Y축 변위측정수단;
상기 회절격자의 X,Y,Z축 회전각도를 측정하기 위한 3축 회전각도측정수단을 포함하는 6 자유도 변위 측정 장치
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청구항 1에 있어서,
상기 Z축 변위측정수단은 광원과 회절격자 사이에 배치되고, 상기 광원에서 나온 빛 중 일부를 반사하고 나머지 일부를 투과시키는 Z축 광분할기;
상기 광분할기에서 투과된 빛 중 일부를 반사시키고 나머지 일부를 투과시키는 편광분할기;
상기 Z축 광분할기 및 편광분할기에 의해 반사된 빔의 위상차를 검출하는 기준빔 광검출기 및 Z축방향 광검출기를 포함하고, 상기 광검출기에 의해 검출된 위상차를 통해 Z축 방향의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 6 자유도 변위 측정 장치
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청구항 2에 있어서,
상기 X축 변위측정수단은 회절격자에 의해 반사된 X축방향 회절빔의 경로에 배치되어 상기 회절빔을 반사시키는 미러;
상기 미러에 의해 반사된 회절빔의 일부를 반사시키고 나머지 일부를 투과시키는 X축 편광분할기;
상기 X축 편광분할기를 통해 반사된 회절빔과 투과된 빔의 위상차를 검출하는 제1 및 제2광검출기를 포함하고, 상기 광검출기에 의해 검출된 위상차를 통해 X축 방향의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 6 자유도 변위 측정 장치
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청구항 3에 있어서,
상기 Y축 변위측정수단은 회절격자에 의해 반사된 Y축방향 회절빔의 경로에 배치되어 상기 회절빔의 일부를 반사시키는 Y축 광분할기;
상기 Y축 광분할기에 의해 반사된 회절빔의 일부를 반사시키고 나머지 일부를 투과시키는 Y축 편광분할기;
상기 Y축 편광분할기를 통해 반사된 회절빔과 투과된 빔의 위상차를 검출하는 제3 및 제4광검출기를 포함하고, 상기 광검출기에 의해 검출된 위상차를 통해 Y축 방향의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 6 자유도 변위 측정 장치
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청구항 4에 있어서,
상기 3축 회전각도측정수단은 Y축 광분할기를 통해 투과된 회절빔의 위치변화를 감지하는 위치감지검출기와, 상기 Y축 광분할기와 위치감지검출기 사이에 상기 회절빔이 투과되도록 설치된 렌즈를 포함하고, 상기 위치감지검출기를 통해 감지된 위치변화로 3축의 회전각도를 계산하는 것을 특징으로 하는 6 자유도 변위 측정 장치
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